Криогенные (криосорбционные) вакуумные насосы
Наша компания на правах официального представителя в России и странах СНГ предлагает криогенное вакуумное оборудование компании SHI Cryogenics - одного из мировых лидеров в области вакуумных и криогенных технологий.
Вы можете скачать подробный каталог на русском языке по полному спектру продукции SHI Cryogenics по ссылке ниже, так же для комфортного подбора оборудования Вы можете заказать данный каталог в печатном виде и мы отправим его Вам экспресс-почтой (для получателя полностью бесплатно).
Скачать каталог по вакуумному и криогенному оборудованию SHI Cryoqenics
Marathon® CP Cryopumps
Крионасосы серии Marathon были специально разработаны для высоковакуумных применений. Эти универсальные системы находят свое применение как в небольших научных лабораториях, так и на массовом производстве. В таких отраслях как производство полупроводниковых устройств, плоских дисплеев, испытательного оборудования, солнечных батарей, а также различных напылительных установок, предъявляют высокие требования к эффективности и надежности оборудования, при этом эксплуатационные затраты должны быть минимальные. Крионасосы Marathon CP имеют успех в любых областях применений.
Модельный ряд крионасосов Marathon CP – это 8 вариантов исполнений с диаметром фланца от 200 до 500мм. Стандартный модельный ряд и насосы с малой производительностью имеют следующие типоразмер фланцев - это ANSI, ISO и CF. Проектируя вакуумную систему, Вы также имеете возможность выбрать ручное или полностью автоматическое управление.
Насосы Marathon просты в обслуживании, проведение работ осуществляется без разрыва вакуума и демонтажа насоса с вакуумной камеры. В результате, бесперебойная работа насоса максимизирует время продуктивной работы, и уменьшают эксплуатационную стоимость.
Для откачки больших потоков ксенона наша компания предлагает специализированные решения на базе встраиваемых криогенных насосов высокой производительности. Охлаждение насосов осуществляется мощной одноступенчатой криомашиной. Быстрота действия по ксенону таких насосов может достигать 100 000 л/c и более. В тоже время насос очень прост для установки на практически любую вакуумную систему, для установки требуется фланец DN200 и возможность доступа внуть вакуумной камеры для монтажа сорбирующей пластины. Крионасосы данного типа превосходят все известные аналоги по показателю стоимости на единицу быстроты действия и обладают целым рядом других важных преимуществ, например, позволяют регенирировать ксенон, что особенно важно для длительных экспериментов. Для получения более подробной информации обращайтесь к специалистам нашей компании.
Marathon® Cryopump Controller
Контроллеры MCC позволяют полностью автоматизировать работу насосов Marathon, используя хост-компьютер и протокол, стандартизованный в промышленности. Если на вашем предприятии нет хост-компьютера, дополнительное программное обеспечение позволит использовать обычный компьютер с операционной системой Windows. Использование крионасосов Marathon с контроллерами MCC позволяет значительно сократить время простоя оборудования между производственными циклами, улучшить длительность производственного цикла и существенно повысить общую эффективность процесса откачки.
SICERA™ Cryopump
При мощности всего 0,9кВт, благодаря запатентованной инверторной технологии, насосы серии SICERA меняют определение «низкое потребление энергии», уменьшая Ваши затраты на электроэнергию на 20-30%. Качественно новая система позволяет одновременно использовать до шести насосов (200мм) на одном компрессоре без уменьшения производительности.
Насосы серии SICERA доступны с размерами фланцев 200 и 300 мм, обе модели имеют полностью автоматический цикл регенерации, что позволяет максимизировать время продуктивной работы. В результате, экономия электроэнергии и увеличенная производственная эффективность делают насосы данной серии идеальными для таких применений как массовое производство полупроводниковых пластин, плоскопанельных дисплеев и прочих схожих производств.
В отличие от насосов, полностью готовые к работе системы SICERA включают в себя компрессор и переносной контроллер. Все компоненты системы проходят всесторонние испытания, чтобы соответствовать требованиям самых сложных вакуумных применений. Один контроллер может одновременно управлять работой десяти (10) крионасосов и двух (2) компрессоров, входящих в систему. Благодаря непрерывному контролю работы криокуллера и компрессора, системы SICERA – это значительная экономия затрат электроэнергии, непревзойденная стабильность температуры и уровня вакуума.
Технические характеристики
|
Модель |
CP-8 |
CP-8LP |
CP-250LP |
CP-12 |
CP-16 |
CP-20 |
SICERA 8" |
SICERA 12" |
|
|
Скорость откачки (л/сек) |
Воздух |
1500 |
1800 |
3060 |
3600 |
4800 |
9700 |
1500 |
3300 |
|
Вода |
4200 |
4200 |
6300 |
9560 |
17300 |
29100 |
4000 |
9500 |
|
|
Аргон |
1250 |
1500 |
2500 |
3100 |
4100 |
8300 |
1200 |
2700 |
|
|
Водород |
2300 |
3000 |
5000 |
7300 |
12000 |
14000 |
2200 |
6000 |
|
|
Пропускная способность |
Аргон (тор-л/сек) |
11.0 |
11.0 |
11.0 |
12.6 |
11.4 |
11.3 |
8.9 |
8.9 |
|
Аргон(см3/ мин) |
870 |
870 |
870 |
1000 |
900 |
900 |
700 |
700 |
|
|
Емкость(стан-дартные литры) |
Аргон при 1x10-6 торp |
1200 |
1600 |
1600 |
3100 |
5500 |
6000 |
1000 |
2000 |
|
Водород при 5x10-6 торp |
25 |
25 |
25 |
50 |
50 |
33 |
12 |
30 |
|
|
Параметр включения в работу (торр-литры) |
- |
220 |
220 |
220 |
650 |
500 |
400 |
150 |
150 |
|
Время захола-живания (мин) |
- |
75 |
110 |
110 |
90 |
135 |
190 |
120 |
150 |
|
Входной фланец |
ANSI |
6" |
6" |
- |
10" |
- |
20" |
- |
- |
|
ISO |
200 мм |
200 мм |
250 мм |
320 мм |
400 мм |
500 мм |
- |
- |
|
|
Conflat |
10" |
10" |
- |
- |
- |
- |
253 |
- |
|
|
CVC |
- |
- |
- |
10" |
10" |
- |
- |
- |
|
Подробные технические описания (ENG):
Marathon® CP-8 Datasheet
Marathon® CP-8LP Datasheet
Marathon® CP-250LP Datasheet
Marathon® CP-12 Datasheet
Marathon® CP-16 Datasheet
Marathon® CP-20 Datasheet
Marathon® Cryopump Controller Datasheet
SICERA™ Cryopump Datasheet
Чертежи:
Marathon® CP-8 ISO 200 Outline Drawing
Marathon® CP-8LP ISO 200 Outline Drawing
Marathon® CP-250LP ISO 250 Outline Drawing
Marathon® CP-12 ISO 320 Outline Drawing
Marathon® CP-16 ISO 400 Outline Drawing
Marathon® CP-20 ISO 500 Outline Drawing
Подбор компрессора для криогенного насоса:
|
|
CP-8 |
CP-8LP |
CP-250LP |
CP-12 |
CP-16 |
CP-20 |
SICERA |
|
+ |
+ |
+ |
|
|
|
|
|
|
+ |
+ |
+ |
+ |
+ |
|
|
|
|
+ |
+ |
+ |
+ |
+ |
+ |
|
|
|
CSW-61D |
|
|
|
|
|
|
+ |