Шкаф для сушки/задубливания фоторезиста Cee® 11 (для подложек 450 мм)
Шкаф для сушки/задубливания фоторезиста Brewer Science Cee ® 11 специально разработан для больших подложек, до 450 мм круглых подложек и до 505 мм квадратных подложек. Шкаф обеспечивает технологам и инженерам-исследователям проведение процесса с наивысшей точностью и однородностью по температуре. Установка имеет компактные размеры, поэтому она легко устанавливается в пределах существующих вытяжных шкафов в чистых комнатах или на поверхности лабораторного стола.
Возможности программирования шкафа для сушки/задубливания фоторезиста
- Двойной 4-значный буквенно-цифровой светодиодный дисплей
- Полное ПИД управление
- Автонастройка температуры
- Безопасность: опция защиты паролем доступна бесплатно
- Опция изменения скорости (8 заданных значений)
Точность регулировки установки для сушки/задубливания фоторезиста Brewer Science Cee ® 11
- Размеры подложек: от < 1см до 450 мм круглая, 508 мм x 508 мм квадратная
- Разрешение по температуре: 0,1°C
- Диапазон температур: от комнатной до 200°C (250°C как опция)
- Однородность температуры: ± 0,3% по всей рабочей поверхности
Конструкция вытяжного зонта
- Конструкция полностью из нержавеющей стали
- Вытяжной зонт для удаления технологических химикатов в качестве опции
- Продувка азотом для инертной среды в качестве опции
Надежность установки для сушки/задубливания фоторезиста
- Промышленная надежность и ресурс работы
- 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
- Бесплатная удаленная техническая поддержка (по телефону, е-майл, факсу) в течение срока эксплуатации установки
- Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки
Управление шкафом для сушки/задубливания фоторезиста
- Пневматический подъемник (загрузка / выгрузка) поставляется стандартно
- Съемные стойки с фиксированным расстоянием 0,15 мм (0,006 дюйма) поставляются стандартно
- Нагревание контактным или бесконтактным методом поставляется стандартно
- Вакуумный шкаф и бесконтактный нагрев для 300 и 450-мм подложек поставляется опционально
- Дополнительные нагревательные платформы предоставляется по запросу
Общие характеристики установки
- Потребляемая мощность: 208-240 В переменного тока, мощность от 2351 до 3130 Вт
- Полная токовая нагрузка: от 12,5 до 15,5 А
- Входной предохранитель: 20 А
- Дополнительный вытяжной фланец на крышку: 5,08 см (2 дюйма) наружный диаметр
- Дополнительная вытяжная крышка (опция): от 282 до 849 литров в минуту
Массогабаритные характеристики
- Вес нетто: 68 кг
- Вес брутто: 127 кг
- Размеры шкафа: длина 63,3 см, ширина 63,3 см, высота 24,2 см