Шкаф для сушки/задубливания фоторезиста Cee® 10 (для подложек 300 мм)
Шкаф для сушки/задубливания фоторезиста Brewer Science Cee ® 10 предназначен для технологов и инженеров-исследователей, которым необходим нагрев и сушка подложек для различных применений. Максимальный размер обрабатываемых в шкафе подложек, составляет 300 мм для круглых подложек и 355 мм для квадратных подложек. Шкаф обеспечивает пользователю воспроизводимые тепловые характеристики и надежность на протяжении долгого срока службы прибора.
Возможности программирования
- Двойной 4-значный буквенно-цифровой светодиодный дисплей
- Полное ПИД управление
- Автонастройка температуры
- Безопасность: опция защиты паролем доступна бесплатно
- Опция изменения скорости (8 заданных значений)
Точность регулировки шкафа для сушки/задубливания фоторезиста
- Размеры подложек: 300 мм круглая, 355 мм x355 мм квадратная
- Разрешение по температуре: 0,1°C
- Диапазон температур: от комнатной до 300°C (400 °C как опция)
- Однородность температуры: ± 0,3% по всей рабочей поверхности
Конструкция вытяжного зонта (опция)
- Конструкция полностью из нержавеющей стали
- Вытяжной зонт для удаления технологических химикатов
- Продувка азотом для инертной среды в качестве опции
Надежность шкафа для сушки/задубливания фоторезиста
- Исключительная надежность и ресурс работы
- 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
- Бесплатная удаленная техническая поддержка (по телефону) в течение срока эксплуатации установки
- Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки
Управление установкой для сушки/задубливания фоторезиста
- Пневматический подъемник (загрузка / выгрузка) поставляется стандартно
- Съемные стойки с фиксированным расстоянием 0,5 мм (0,02 дюйма) поставляются стандартно
- Нагревание контактным или бесконтактным методом поставляется стандартно
- Вакуумный шкаф и бесконтактный нагрев для 200 и 300-мм подложек поставляется опционально
- Дополнительные нагревательные платформы предоставляется по запросу
Общие характеристики установки
- Потребляемая мощность: 208-240 В переменного тока, мощность от 3005 до 4005 Вт
- Полная токовая нагрузка: от 14,4 до 16,7 А
- Входной предохранитель: 20 А
-Дополнительный вытяжной фланец на крышку: 5,08 см (2 дюйма) наружный диаметр
- Дополнительная вытяжная крышка (опция): от 282 до 849 литров в минуту
Массогабаритные характеристики
- Вес нетто: 35 кг
- Вес брутто: 95,5 кг
- Размеры шкафа: длина 47,7 см, ширина 47,7 см, высота 24,2 см