Шкаф для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста Cee® 1300X

Шкаф для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста Brewer Science Cee ® 1300X имеет следующие преимущества: интуитивный интерфейс, компактный дизайн, а также высокую точность и однородность теплового поля.

Преимуществами шкафа для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста Brewer Science Cee ® 1300X являются: полностью программируемый и удобный интерфейс, точность и повторяемость, необходимая для устранения нестабильности процесса при важных экспериментах. С помощью удобного полноцветного сенсорного интерфейса, и встроенного ПК на базе Windows ®, технологические параметры легко вводить, отслеживать и хранить. Небольшой размер установки, интуитивно понятный дизайн и огромный опыт разработчиков, заложенный в конструкцию установки, позволяют проработать прибору долгие годы. Данный прецизионный шкаф идеально подходят для любой исследовательской лаборатории или работы с небольшим количеством испытаний.

Преимущества шкафа для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста

- Встроенный ПК на базе Windows ® для расширения возможностей интерфейса и коммутации
- Новый компактный дизайн для минимизации занимаемой площади
- Полноцветный 7-дюймовый сенсорный дисплей
- Улучшенная регистрация данных и программируемое управление высотой положения подложки над нагревателем

Возможности программирования

- Управление со встроенного компьютера
- Сенсорный интерфейс и экран
- 250000 программ нагрева
- Практически неограниченное количество шагов программы
- 0,1-сек разрешение для шага в диапазоне от 0 до 9999,9 сек/шаг
- Три автоматизированных метода нагрева: контактый, вакуумный, бесконтактный
- Нагрев пластин с автоматическим определением параметров для 75- , 100-, 125-, 150- и 200-мм подложек
- Запись данных температуры процесса Ethernet порт для передачи и выгрузки / загрузки параметров процесса
- Опция защиты паролем доступна бесплатно
- Опция изменения скорости (8 заданных значений в пределах одного процесса нагрева)
- Возможна дополнительная опция с электрическим подъемником (заменяет азот для загрузки / выгрузки подложек из сушильного модуля). Программируется 10 различных расстояний над поверхностью подложки в любой последовательности или их комбинация. Расстояние от подложки программируется с шагом 0,0254 мм при общем диапазоне от 0 до 1,27 см
- Функция энергосбережения (для контроля заданной температуры)

Точность регулировки

- Размеры подложек: от <1 см до 200 мм круглая, 203 мм x203 мм квадратная
- Разрешение по температуре: 0,1°C
- Диапазон температур: от комнатной до 300°C (400°C как опция)
- Однородность температуры: ± 0,3% по всей рабочей поверхности

Надежность шкафа для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста

- Установка для прецизионной сушки/задубливания фоторезиста Cee® 1300X отличается исключительной надежностью и ресурсом работы
- 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
- Бесплатная удаленная техническая поддержка (по телефону) в течение срока эксплуатации установки
- Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки
- Дизайн печи с вытяжным шкафом
- Конструкция полностью выполнена из нержавеющей стали
- Вытяжной шкаф для удаления химикатов
- Дополнительная продувка азотом для создания инертной атмосферы в качестве опции

Общие характеристики установки

- Диапазон напряжений: 100, 110-125, 208-240 В переменного тока
- Мощность: 1057, 1683, 1555 Вт (в зависимости от нагревателя)
- Сила тока: 16,7 А
- Вытяжной фланец: 2,54 см (1 дюйм) наружный диаметр
- Вакуум: 508 - 635 мм.рт.ст.
- Вытяжка: от 141 до 283 литров в минуту
- Азот (для бесконтактного метода нагрева): 2,45 кг/см²

Массогабаритные характеристики

- Длина 48,26 см, ширина 33,65 см, высота 30,48 см
- Вес нетто: 29,48 кг
- Вес брутто: 67,13 кг