Промышленная центрифуга для нанесения фоторезиста Cee® 300X
Промышленная центрифуга для нанесения фоторезиста Brewer Science Cee® 300X сочетает в себе интуитивную операционную систему на базе Windows ®, чрезвычайно точный контроль скорости вращения, и высокую мощность привода для эффективного ускорения. Эти особенности в совокупности обеспечивают исключение дополнительных технологических операций для большого числа химических процессов и применений. Установка Cee® 300X имеет новейший пользовательский интерфейс и была разработана специально для 300-мм и более пластин (матриц LCD дисплеев), а также фотошаблонов размерами вплоть до 355 мм × 355 мм.
Преимущества промышленной цетрифуги для нанесения фоторезиста
- Встроенный ПК на базе Windows ® для расширения возможностей интерфейса и коммутации
- Улучшенная функция подъема крышки (пневматическая пружина открывает на угол ≥ 45 °)
- Моноблочная стойка с обтекаемым дизайном для минимизации площади установки (отсек для хранение химикатов)
- Рабочая станция X-PRO объединяет моноблочную стоику с откачной системой сверху для создания собственного микроклимата
(контролирует и регистрирует данные условий окружающей среды)
- Новый компактный дизайн для минимизации занимаемой площади
- Полноцветный, 7-дюймовый сенсорный дисплей
- Система привода (непрямая передача) с максимальной мощностью в своем классе
Возможности программирования
- Управление со встроенного компьютера
- Сенсорный интерфейс и экран
- 250000 предустановленных программ
- Практически неограниченное количество пользовательских настроек и шагов программ
- Разрешение по времени до 0,1 секунды (9999,9 секунд максимальное время шага)
- Скорость вращения: от 0 до 6000 оборотов в минуту (опционально доступны на 4000 об/мин и на 3000 об/мин)
- Ускорение вращения:
от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки
от 0 до 23000 оборотов в минуту/сек для 300-мм подложек
от 0 до 3000 оборотов в минуту/сек для круглых подложек 350 мм х 6 мм установленных на патрон
от 0 до 400 оборотов в минуту/сек для фотошаблонов 355 мм х 355 мм х 1,1 мм установленных на патрон
- Интерфейсы: USB / Ethernet порт для передачи и выгрузки / загрузки параметров процесса нанесения фоторезиста со стандартной прошивкой (неограниченное количество пользовательских настроек и ступеней)
- Система способна поддерживать стороннее программное обеспечение высококачественных IDI / Cybor / Mykrolis поршневых насосов
- Возможность одновременной работы различных (до 16) автоматизированных форсунок для дозирования
- Двухсторонняя (реверсивная) регулировка скорости патрона
- Программное обеспечение с циклическим воспроизведением
- Раздельные или компонентные выводы: 50
- Безопасность: Опция защиты паролем доступна бесплатно
- Возможность управления динамической скоростью и ускорением в процессе выполнения работы
Точность регулировки
- Воспроизводимость скорости: <0,2 оборотов в минуту
- Разрешение по скорости: <0,2 оборотов в минуту
- Размеры подложек: от <1 см до 450 мм круглая, 355 мм x 355 мм квадратная
Надежность
- Непрямая передача вращения защищает двигатель от контакта с химикатами и растворителями
- Блокировка крышки и вакуума
- Лучшая в отрасли надежность и время безотказной работы
- 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
- Бесплатная удаленная техническая поддержка (телефон, электронная почта, факс) в течение срока эксплуатации установки
- Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки
Конструкция чаши и вытяжного шкафа
- Конструкция полностью выполнена из нержавеющей стали
- Дополнительно чаша, покрытая ETFE для совместимости материалов в качестве опции
- Дополнительная тефлоновая/ полиэтиленовая чаша (многоразовая прокладка для чаши)
- Закрываемая конструкция крышки центрифуги для мобильности процесса
- Дополнительное полиэтиленовое /тефлоновое кольцо от брызг в качестве опции
- Дренажный и выхлопной патрубки, расположенные в нижней части чаши
- Дополнительная продувка азотом для создания инертной атмосферы в качестве опции
Массогабаритные характеристики
- Вес установки (нетто): 52,2 кг
- Вес брутто: 113,4 кг
- Размеры установки: Ширина 70,5 см × Длина 88,3 см × Высота 51,5 см
Общие характеристики установки
- Потребление энергии: 200-240 В переменного тока, 1350 Вт, 7 А
- Дренажный фланец: 2,54 см (1 дюйм) наружный диаметр
- Фланец для вытяжки: 3,8 см (1,5 дюйма) наружный диаметр
- Вакуум: 508 - 635 мм.рт.ст.
- Вытяжка: от 566 до 1415 литров в минуту при 5 мм.водн.ст.
- Азот или CDA (для автоматизированного дозирования): 4,9 кг/см2