Центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста Cee® 200X
Установка Cee ® 200X - центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста обеспечивает высококачественное нанесение фоторезиста, тонких пленок или других покрытий для химических применений. Из-за простого в использовании интерфейса, максимальной химической совместимости и компактного дизайна, Brewer Science Cee ® 200X является оптимальной установкой для исследований, университетов, МЭМС и лабораторного использования.
Центрифуга для прецизионного нанесения фоторезиста Brewer Science Cee® 200X имеет следующие преимущества: компактный дизайн, встроенный ПК контроллер, интерфейс с цветным сенсорным дисплеем и практически неограниченную память пользовательских настроек. С помощью уникальной системы непрямой передачи вращения установка Cee® 200X практически полностью устраняет риск необратимых повреждений, связанный с контактом химикатов и растворителей с двигателем. Эта особенность гарантирует нашим клиентам промышленную надежность и безотказность работы установки.
Установка Cee® 200X имеет крышку, которая может быть подключена к откачной системе и/или продуваться N2 для улучшения контроля за чистотой процесса нанесения. Установка Cee® 200X обеспечивает нанесение фоторезиста на квадратные подложки размерами до 178 мм или на круглые подложки размерами до 200 мм и имеет высокий крутящий момент для максимального увеличения производительности. Вы также можете наносить фоторезист на подложки меньшего размера (<1 см до 200-мм) с использованием большого количества держателей. Мы предлагаем три различных варианта опций для выбора крутящего момента/числа оборотов для использования различных подложек.
Возможности программирования
- Управление со встроенного компьютера
- Сенсорный интерфейс и экран
- Полноцветный буквенно-цифровой пользовательский интерфейс
- 250000 предустановленных программ
- Практически неограниченное количество пользовательских настроек и шагов программ
- Разрешение по времени до 0,1 секунды (9999,9 секунд максимальное время шага)
- Скорость вращения: от 0 до 6000 оборотов в минуту (опция на 12000 об/мин представляется бесплатно; доступна также опция на 16000 об/мин)
- Ускорение вращения:
- от 0 до 30000 оборотов в минуту/сек без загрузки
- от 0 до 23000 оборотов в минуту/сек для 200-мм подложек
- от 0 до 3000 оборотов в минуту /сек для фотошаблонов 150 мм х 150 мм х 6 мм установленных на патрон
- Интерфейсы: USB / Ethernet порт для передачи и выгрузки / загрузки параметров процесса нанесения фоторезиста со стандартной прошивкой (неограниченное количество пользовательских настроек и ступеней)
- Система способна поддерживать стороннее программное обеспечение высококачественных IDI / Cybor / Mykrolis поршневых насосов
- Возможность одновременного двойного автоматического дозирования
- Двухсторонняя (реверсивная) регулировка скорости патрона
- Программное обеспечение с циклическим воспроизведением
- Раздельные или компонентные выводы: 50
- Безопасность: Опция защиты паролем доступна бесплатно
- Возможность управления динамической скоростью и ускорением в процессе выполнения работы
Точность регулировки
- Воспроизводимость скорости: <0,2 оборотов в минуту
- Разрешение по скорости: <0,2 оборотов в минуту
- Размеры подложек: от <1 см до 200 мм круглая, 178 мм x178 мм квадратная
Надежность
- Непрямая передача вращения защищает двигатель от контакта с химикатами и растворителями
- Блокировка крышки и вакуума
- Лучшая в отрасли надежность и время безотказной работы
- 1 год полной гарантии на установку и комплектующие
- Бесплатная удаленная техническая поддержка (телефон, электронная почта, факс) в течение срока эксплуатации установки
- Помощь в применении в течение срока эксплуатации установки
Конструкция чаши
- Чаша из тефлона для улучшения совместимости материалов
- Уплотнительное кольцо чаши для предотвращения вытекания материала
- Дополнительная чаша из нержавеющей стали (для конструкции полностью выполненной из нержавеющей стали) в качестве опции
- Дополнительная чаша из полиэтилена (образовательный пакет) в качестве опции
- Дополнительные полиэтиленовые прокладки в качестве опции
- Дополнительное полиэтиленовое /тефлоновое кольцо от брызг в качестве опции
- Закрываемая конструкция крышки центрифуги для мобильности процесса
- Дренажный и выхлопной патрубки, расположенные в нижней части чаши
- Дополнительная продувка азотом для создания инертной атмосферы в качестве опции
Массогабаритные характеристики
- Длина 48,26 см, ширина 33,65 см, высота 30,48 см
- Вес нетто: 18,14 кг
- Вес брутто: 45,36 кг
Общие характеристики установки
- Диапазон напряжений: 100, 110-125, 208-240 В переменного тока, 50/60 Гц
- Мощность: 655 Вт
- Дренажный фланец: 1,9 см (0,75 дюйма) наружный диаметр
- Фланец для вытяжки: 2,5 см (1 дюйм) наружный диаметр
- Вакуум: 508 - 635 мм.рт.ст.
- Вытяжка: от 566 до 1415 литров в минуту при 5 мм.водн.ст.
- Азот или CDA (для автоматизированного дозирования): 4,9 кг/см2