Оборудование для полупроводниковой промышленности Anda Semicoductor Technology
Компания Anda Semicoductor Technology была основана в 2002 году и специализируется на выпуске высокотехнологичного оборудования и материалов для полупроводниковой промышленности.
Заказчиками компании Anda Semicoductor Technology являются такие крупные компании, как AMD, Epson, DELL, BENQ, IBM, SAMSUNG, Oracle, Sony, Microsoft.
Опросный лист на шлифовальную/полировальную установку
Станок двусторонней шлифовки ANDA-NTSDL9B5L/TN
Особенности и преимущества станка двусторонней шлифовки:
- Высокоточная система контроля удаления с встроенной системой контроля толщины удаления
- Автоматическая система выравнивания пластины
- Ультраплавный пуск / стоп, функция помогает достичь ультра-плоских пластин
- Точная система контроля загрузки
- Высокоточная система изменения давления с высоким разрешением шагов
- Многоступенчатая система программирования с PSS-расширенные функции притирки
- Высокоэффективная система подачи суспензии для достижения наилучшей геометрии пластин (Anda – NTS ноу-хау)
- Точная система регулировки скорости (помогает достичь лучшей повторяемости результата от пластины к пластине, а также высокой равномерность обработки одной подложки)
- Полуавтоматическая система загрузки и выгрузки (опция)
- Производительность: Ø4 "× 35пластин
- Время цикла:
Первая шлифовка. ≤ 140 мин (850 → 730 нм)
Вторая шлифовка. ≤ 60 мин (730 → 700 нм)
- Стандартный выход годных: 97%
- Размеры машины: 1890 х 1750 х 2750 мм
- Вес: 5 600 кг
Установка монтажа пластин ANDA-NTS-360-i12
Особенности и преимущества установки монтажа пластин:
Конфигурация машины
- Установка предназначена для установки пластин на нагреваемые керамические блоки
Спецификация:
- Установка предназначена для использования с пластинами диаметром 2 "(Ø 50 мм) и 4"(Ø 100 мм)
- Размер керамического блока: Ø360 мм х толщина 15 мм
Спецификация для каждой части машины:
- Рама: выполнена из алюминиевого профиля, покрытого антистатическим полимерным покрытием, размер рамы 1750 мм х 2100 мм х 1800 мм
- Устройство предварительного нагрева: размер блока для предварительного нагрева Ø 360
- Устройство загрузки: Загрузка пластины осуществляется посредством цилиндра
- Устройство подъема: две стандартные кассеты емкостью 50 пластин являются стандартными и перемещаются вверх и вниз посредством двигателя переменного тока и шариковой пары винт-гайка
Перемещение пластины:
- Движение за счет цилиндра и направляющие плиты разработаны для легкого переключения
Вращающийся столик для закрепления пластин:
- Вращение посредством серводвигателя переменного тока контролируется с тремя шагами, с возможностью выбора установок. Вращающийся вал с твердым анодированным покрытием.
Поворот пластины:
- Пластина вакуумируется, затем разворачивается посредством вращающегося цилиндра
- Существует возможность корректировки положения установки пластины в зависимости от размера керамического блока
Характеристики установки пластин:
- Размер блока Ø 360 мм
- Число пластин зависит от размера блока
- Установка температуры нагрева до максимальной 150 ℃
Прижим:
- Прижим пластины осуществляется пневмоцилиндром, существует возможность корректировки положения пластины
- Прижим осуществляется специальной амортизирующей силиконовой прокладкой. Нажим осуществляется от центра
Нагрев:
- Для нагрева пластин бесконтактным способом за выбранное время
- Максимальная температура составляет 200 ℃
- Нагреватель рассчитан на пластины 4 "
Подача воска:
- Движение вперед / назад и вверх / вниз осуществляется пневмоцилиндром
- Используется выпускной клапан и напорный бак для подачи воска
Охлаждение:
- Циркуляция теплоносителя в алюминиевом блоке для охлаждения керамического блока
- Размер блока Ø 360 мм
Движение керамического блока:
- Керамический блок перемещается двигателем. Одновременно перемещаются 2 керамических блока двумя манипуляторами
- Манипулятор управляется пневмоцилиндром
Спецификация установки:
- Размеры: 1750 мм х 2100 мм х 1800В мм
- Вес: 1500 кг
- Время цикла: 18 – 22 с (установка одной пластины)
- Керамический блок: Ø 360 мм
- Подача пластин: 2 кассеты (макс. 50 пластин) (2", 4")
- Напряжение питания: 380 В, 3 фазы
- Подача воздуха: 5 - 6 бар. фильтрованный воздух
- Hapa фильтр, антистатический акрил
Спецификация составных частей:
- Пневматическое частей: SMC
- P L C: LG OTIS
- Серводвигатель: LG OTIS
- Подача воска: SAEJONG (Корея)
- Сенсор: OMRON, Autonics
- LM GUIDE: THK
- Электронные компоненты: LG, Hanyoung, Autonics