Блоки питания для напылительных установок En Technologies
Компания EN Technologies - корейская компания, работающая в сфере производства электронной техники. Номенклатура выпускаемого оборудования включает в себя блоки питания, электрические распределительные устройства, устройства беспроводного интернета. Блоки питания, производимые компанией, используются в полупроводниковой технологии, производстве ЖК дисплеев, солнечных батарей и других высокотехнологичных технологиях. Оборудование компании поставляется в различные страны, например, Японию, Тайвань.
В разделе вы можете выбрать блоки питания следующих серий: EnerPulse Duo для дуального магнетронного распыления; EnerPulse HV для ионной очистки; EnerPulse для магнетронного распыления; EnerStream для магнетронного распыления; EnerWorks/IDU-200N для дугового нанесения покрытий; Forte I для ионно-лучевой обработки; Genius для атмосферного плазменного разряда; Hercules для ионной очистки; модулятор PulseGen Duo для дуального магнетронного распыления; модулятор PulseGen для магнетронного распыления.
Каталог оборудования En Technoloies на английском языке
Протокол связи: Руководство на английском языке
Биполярный импульсный блок питания для дуального магнетронного распыления EnerPulse Duo
Особенности EnerPulse Duo
Высокая надежность:
- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного дуального магнетронного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет минимизации загрязнения мишени
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и т.д.)
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка
Технические характеристики
Характеристики |
EnerPulse5 Duo |
EnerPulse10 Duo |
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
Выходное напряжение |
800 В (Max. 1200 В) |
|
Выходной ток |
12.5 А |
25 А |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
Форма сигнала |
Симметричный биполярный импульсный |
|
Частота |
20-150 кГц |
|
Время выключения |
2-6 мс |
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
Униполярный импульсный блок питания для ионной очистки EnerPulse HV
Особенности униполярного импульсного блока питания
Высокая надежность
- Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность
- Широкий рабочий диапазон
- Управление различными режимами
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Ионная бомбардировка (высоковольтная очистка)
- Pulse Bias
Технические характеристики
Характеристики |
EnerPulse5 HV |
EnerPulse10 HV |
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
Выходное напряжение |
1400 В |
|
Выходной ток |
6.5 А |
13 А (опционально до 40 А) |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
Форма сигнала |
Униполярный импульс |
|
Частота |
20-120 кГц |
|
Время выключения |
25 – 90 % |
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
Импульсный блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerPulse
Особенности импульсного блока питания постоянного тока EnerPulse
Высокая надежность:
- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Низкие затраты на владение
Применения:
- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка
Ener Pulse 5: Руководство по эксплуатации на английском языке
Технические характеристики
Характеристики |
EnerPulse5 |
EnerPulse10 |
EnerPulse10LV |
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
||
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
10 кВт |
Выходное напряжение |
800 В (Max. 1200 В) |
800 В (Max. 1200 В) |
800 В (Max. 1050 В) |
Выходной ток |
12.5 А |
25 А |
33.3 А |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
||
Форма сигнала |
Импульсный постоянный ток |
||
Частота |
20-150 кГц |
||
Время выключения |
1.5-7 мс, в режиме постоянного тока |
||
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
||
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
||
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
||
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
29.5 |
Блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerStream
Особенности блока питания постоянного тока EnerStream
Высокая надежность:
- Разработан для магнетронного распыления на постоянном токе
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
- Уменьшенные выходные пульсации
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 0,5 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Возможность параллельного использования (до 160 кВт/8 блоков)
- Постоянный контроль мощности и силы тока
- Возможность использования с источником PulseGen (импульсный модулятор), что позволяет использовать блок питания как высокоемкостной источник питания
- Дружественный пользователю интерфейс
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Напыление на полупроводниковые пластины
- Металлические и TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Напыление на автомобильные диски и производство ламп, FCCL
- Ионное азотирование
Технические характеристики
Характеристики |
EnerStream 10 |
EnerStream 15 |
EnerStream 20 |
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
||
Выходная мощность |
10 кВТ |
15 кВт |
20 кВт |
Выходное напряжение |
800 В |
||
Выходной ток |
25 А (400 В) |
37.5 А (400 В) |
50 А (400 В) |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
||
Энергия дуги |
менее чем 0.5 мДж/кВт |
||
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
||
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
||
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
29.5 |
Блок питания постоянного тока для дугового нанесения покрытий EnerWorks/IDU-200N
Особенности EnerWorks/IDU-200N
Высокая надежность:
- Оптимальное управление для дугового напыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Пониженные выходные пульсации
- Внутреннее циркуляционное охлаждение
- Компактные размеры
Превосходная производительность:
- Автоматический триггер и перезагрузка
- Самодиагностика
- Параллельная работа
Преимущества:
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Дружественный пользователю интерфейс
- Увеличенный выпуск продукции
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Упрочняющие покрытия для инструментов и металлических деталей
- Декоративные цветные покрытия
- Покрытия автомобильных и электронных компонентов
- Упрочняющие покрытия для металлических корпусов мобильных телефонов
Технические характеристики
Характеристики |
EnerWorks 100 |
IDU-200N |
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
Выходная мощность |
5 кВТ |
10 кВт |
Выходное напряжение |
50 В (Max. 70 В) |
|
Выходной ток |
100 А |
200 А |
Регулировка |
Ток |
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 543 |
В178 х Ш 483 х Г 605 |
Вес, кг |
27.5 |
31.0 |
Блок питания постоянного тока для ионно-лучевой обработки Forte I
Особенности блока питания Forte I
Высокая надежность:
- Оптимальное управление ионного луча
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Пониженные выходные пульсации
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Преимущества:
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Обработка поверхностей
- Напыление с ионно-лучевым ассистированием
- Ионно-лучевое напыление
Forte I-302 (протокол): Руководство на английском языке
Forte I-302: Руководство по эксплуатации на английском языке
Технические характеристики
Характеристики |
Forte I-302 |
Питание |
3 Ф, 208/220/380 В, 50-60 Гц |
Выходная мощность |
6 кВТ |
Выходное напряжение |
3000 В |
Выходной ток |
2000 мА |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
Время выключения |
1.5-7 мс, в режиме постоянного тока |
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 565 |
Вес, кг |
18.5 |
Квазиимпульсный блок питания для атмосферного плазменного разряда Genius
Особенности квазиимпульсного блока питания Genius
Высокая надежность:
- Управление плазмой высокой плотности
- Оптимален для процессов DBD (диэлектрический барьерный разряд)
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Превосходная производительность:
- Автоматический триггер и перезагрузка
- Самодиагностика
- Параллельная работа
- Квазиимпульсный
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота (20-60 кГц)
- Варьируемая ширина импульса (7 шагов)
Преимущества:
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Дружественный пользователю интерфейс
- Увеличенный выпуск продукции
- Низкие затраты на владение
- Принудительное воздушное охлаждение
Применения:
- Очистка поверхностей
- Активация поверхностей
- Сухое травление
- Удаление фоторезиста
Технические характеристики
Характеристики |
Genius 2 |
Genius 6 |
Genius 10 |
Питание |
3 Ф, 220В, 50-60 Гц |
||
Выходная средняя мощность |
2 кВТ |
6 кВт |
10 кВт |
Выходная пиковая мощность |
6 кВА |
18 кВА |
30 кВА |
Выходной напряжение |
4 – 10 кВ5 – 12 кВ6.5 – 15 кВ |
2 – 10 кВ2 – 12 кВ2 – 15 кВ |
2 – 10 кВ2 – 12 кВ2 – 15 кВ |
Регулировка |
Мощность/ Напряжение |
||
Форма сигнала |
Квазиимпульсный |
||
Частота |
20-150 кГц |
||
Время выключения |
1.5-7 мс, в режиме постоянного тока |
||
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
||
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
29.5 |
Блок питания постоянного тока для ионной очистки Hercules
Особенности блока питания Hercules
Высокая надежность:
- Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Параллельная работа
- Позволяет устанавливать пределы по напряжению/току/мощности
- Стабильный разряд
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- Ионная бомбардировка (Высоковольтная очистка)
- Bias
Технические характеристики:
Характеристики |
Hercules 10 |
Hercules 20 |
Питание |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
Выходная мощность |
10 кВт |
20 кВт |
Выходное напряжение |
1200 В |
|
Выходной ток |
33,3 А (300 В) |
80 А (250 В) |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
Вес, кг |
26.5 |
29.5 |
Высокоемкостной импульсный модулятор для дуального магнетронного распыления (объединение с блоком питания EnerStream) PulseGen Duo
Особенности импульсного модулятора PulseGen Duo:
Высокая надежность:
- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного дуального магнетронного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса
- Соединение с блоком питания EnerStream 20 позволяет использовать как высокоемкостной импульсный блок питания
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет минимизации загрязнения мишени
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и тд.)
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка
Технические характеристики
Характеристики |
PulseGen 20 Duo |
PulseGen 30 Duo |
Питание (AC) |
1 Ф, 220 В, 50-60 Гц |
|
Питание(DC) |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
Выходная мощность |
20 кВТ |
30 кВт |
Выходное напряжение |
800 В (Max. 1200 В) |
|
Выходной ток |
50 А |
75 А |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
Форма сигнала |
Симметричный биполярный импульсный |
|
Частота |
20-50 кГц |
20-40 кГц |
Время выключения |
2-6 мс |
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
Вес, кг |
24 |
33 |
Высокоемкостной импульсный модулятор для магнетронного распыления (объединение с блоком питания EnerStream) Pulse Gen
Особенности Pulse Gen
Высокая надежность:
- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного магнетронного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
Высоконадежная защита от дуги:
- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
Превосходная производительность:
- Широкий рабочий диапазон
- Легкая параллельная работа и импульсная синхронизация
- Регулируемая частота и длительность импульса
- Соединение с блоком питания EnerStream 20 позволяет использовать как высокоемкостной импульсный блок питания
Преимущества:
- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение
Применения:
- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и т.д.)
- Осаждение нитридов и оксидов
- Ионное азотирование
Технические характеристики
Характеристики |
PulseGen 20 |
PulseGen 40 |
Питание (AC) |
1 Ф, 220 В, 50-60 Гц |
|
Питание(DC) |
3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц |
|
Выходная мощность |
20 кВТ |
40 кВт |
Выходное напряжение |
800 В (Max. 1200 В) |
|
Выходной ток |
50 А |
100 А |
Регулировка |
Мощность/Ток/Напряжение |
|
Форма сигнала |
Импульсный DC |
|
Частота |
50 – 100 кГц |
50 – 80 кГц |
Время выключения |
1.5-7 мс, в режиме постоянного тока |
|
Энергия дуги |
менее чем 1 мДж/кВт |
|
Охлаждение |
Принудительное воздушное |
|
Размеры, мм |
В133 х Ш 483 х Г 605 |
|
Вес, кг |
24 |
32 |