Расходные материалы и запчасти для техпроцесса и установок Auto306 и Auto500

Лодочки, нити накала, корзинки, кристаллы для контроля толщины напыления и футеровка тиглей для электронно-лучевого напыления

Компания HHV Ltd предлагает целый ряд расходных материалов для технологического процесса, запчастей и вспомогательных устройств для вашей системы нанесения покрытий.

Номенклатура расходных материалов для технологического процесса была специально подобрана для использования вместе с оригинальными резистивными и электронно-лучевыми источниками установок E306, Auto306 и Auto500.

Поставляются дополнительные или сменные приспособления для технологического процесса, такие как держатели нитей накала, нагреватели подложек и подложкодержатели, изготовленные по оригинальным чертежам с соблюдением стандарта качества компании Edwards. Вы можете заменить изношенные приспособления новыми или усовершенствовать вашу установку, добавив дополнительные или альтернативные источники.

Каталог установок нанесения тонких пленок HHV

HHV Ltd может также предоставить расходные материалы для более старых установок Edwards, таких как S150B, E306, 12E, 19E, E610 – пожалуйста, свяжитесь с специалистами «Вакуум Техно Москва» , если у вас есть особые требования.


Вольфрамовые нити накала	Вольфрамовые корзинки	Вольфрамовые, молибденовые и танталовые лодочки

Тип	Описание	A (мм)	B (мм)	C (мм)	D (мм)	Типовой ток (A)	Номер детали	Соответствующий номер по номенклатуре Edwards
WA2	Вольфрамовая нить накала	75	4,8	25	-	40-60	100102	H01401002
WA4	Вольфрамовая нить накала	75	6	25	-	40-60	100104	H01401003
WB2	Вольфрамовая корзинка	75	4,8	12	-	40-60	100152	H01401022
WB6	Вольфрамовая корзинка	75	13	12	-	80-100	100156	H01401023
MC1	Молибденовая лодочка с углублением	50	5	1,5	6	60-70	100201	H01401040
WC1	Вольфрамовая лодочка с углублением	50	5	1,5	6	70-80	100202	-
TC1	Танталовая лодочка с углублением	50	5	1,5	6	50-60	100203	-
MC3	Молибденовая лодочка с углублением	50	9	3	10	100-120	100301	H01401041
WC3	Вольфрамовая лодочка с углублением	50	9	3	10	140-150	100302	-
TC3	Танталовая лодочка с углублением	50	9	3	10	100-120	100303	-

Футеровка тигеля электронно-лучевого источника EB3 и нити накала

napylilki

Эти футеровки тигеля электронно-лучевого источника EB3 специально подобраны для компактного электронно-лучевого источника EB3. В наличии есть футеровки из графита, молибдена, нитрида бора, интерметаллических соединений и оксида алюминия.

Мы предлагаем сменные нити накала для источника EB3. Нить накала EB3 также подходит для более старого источника Edwards EB1.

Тип	Описание	Номер детали	Соответствующий номер по номенклатуре Edwards
4CCGR	Графитовая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см	100401	E09088030
4CCMO	Молибденовая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см	100402	E09088031
4CCBN	Футеровка из нитрида бора для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см	100403	-
4CCIN	Интерметаллическая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см	100404	E09088032
4CCAO	Футеровка из оксида алюминия для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см	100405	-
EB3FIL	Нить накала для источника EB3 (также подходит для EB1)	100411	E03615005

Кварцевые кристаллы для контроля толщины напыления

Кварцевые кристаллы высокого качества, диаметром 14 мм и частотой стабилизации 6 МГц предназначены для использования в составе устройств контроля толщины пленки FTM5, FTM6 и FTM7.

Надежные и качественные кварцевые кристаллы производства HHV также используются в составе устройств контроля и контроллерах, изготовленных компаниями Sigma, Inficon и другими производителями. Компания HHV выпускает кварцевые кристаллы с покрытием из золота и серебра.

Тип	Описание	Номер детали	Соответствующий номер по номенклатуре Edwards
CRYS01	Кварцевый кристалл диаметром 14мм, с частотой 6МГц, покрытый золотом	300021	E08668000
CRYS02	Кварцевый кристалл диаметром 14мм, с частотой 6МГц, покрытый серебром	300022	-

Запасные части и вспомогательные устройства

Код оригинального изделия	Описание
D15701042	Фторопластовая прокладка Scancoat6
E00100202	Нитриловая прокладка Scancoat6
E00100234	Изолирующая втулка излучателя с фланцем
E02512000	Набор куполообразных вакуумных колпаков
E02701003	Угольный стержень 6,35 X длина 120мм
E02703004	Металлокерамический под 6-позиционный EBS, комплект из 5 шт.
E03300012	Изолирующая втулка
E03615005	Нить накала для источников EB1/EB3, комплект из 10 шт.
E03615015	Магнит для источника с отклоняющимся лучом
E03615017	Интерметаллический под футеровки
E03615018	Медный под тигля для источника с отклоняющимся лучом
E03615021	Графитная футеровка пода для источника с отклоняющимся лучом
E03619015	Нити накала для 6-позиционного EBS, комплект из 5 шт.
E04805011	Прокладка 12" Витон для камеры E306 / Auto306
E05201000	Охлаждающий палец для образца
E06900067	Закрытая защита от раздавливания E306A
E06900155	Открытая защита от раздавливания E306A
E06902002	Стеклянный цилиндр рабочей камеры 12" x 14" E306A
E08508040	Формообразующее устройство для угольного стержня размером 3mm
E08519011	Неподвижный цанговый зажим 6,35мм
E08519012	Подвижный цанговый зажим 6,35мм
E08519013	Подвижный цанговый зажим 3мм
E08519015	Пружинный графитовый источник-испаритель
E08519018	Слюдяной изолятор C Evs
E08519022	Неподвижный цанговый зажим 3мм
E08519030	Угольный стержень 3мм X 300мм, комплект из 20 шт.


Одиночный резистивный источник E09028000	Графитовый источник-испаритель E09039000

Код оригинального изделия	Описание
E08535000	Магнитный держатель сетки ПЭМ для Rotatilt3
E08569003	Кабельная оплетка в сборе
E08570011	Электромотор и коробка подач Rotatilt 3
E08571000	Держатель сетки ПЭМ размером 3mm для Rotatilt 3
E08572000	Планетарный подложкодержатель СЭМ для Rotatilt 3
E08573000	Плоский подложкодержатель для Rotatilt3
E08664000	Устройство контроля толщины пленок FTM6
E08666000	Генератор и кабель FTM5/FTM6/FTM7
E08667000	Кварцедержатель FTM5/FTM6/FTM7
E08667002	Кабельная сборка, длина 750мм
E08667018	Запасной пружинный держатель
E08668000	Запасные кристаллы FTM5/6/7, комплект из 5 шт.
E08669000	Устройство контроля толщины пленок FTM7
E08703047	Стеклянный цилиндр S150A/B ETD4 Scancoat 6
E08703048	Защита от раздавливания для S150A
E08712072	Медная мишень для Scancoat 6 и S150B
E08732000	Платиновая мишень для Scancoat 6 и S150B
E08733000	Золотая/палладиевая мишень, SC6 и S150B
E08734000	Железная мишень для Scancoat 6 и S150B
E08741000	Заслонка для Scancoat 6 и S150B
E08742000	Держатель металлургических образцов для S150B
E09020000	Подъемник куполообразных вакуумных колпаков для Auto306
E09021000	Устройство тлеющего разряда Plasmaglo
E09022000	Тренога

napylilki

Электронно-лучевой источник EB3 E09072000, запасные части и вспомогательные устройства

Код оригинального изделия	Описание
E09023000	Отражательная плита
E09024000	Кварцевый ламповый нагреватель мощностью 500Вт
E09025000	Шина постоянного тока устройства тлеющего разряда
E09026000	Радиационный нагреватель для Auto 306
E09027000	Набор стеклянных цилиндрических камер для Auto 306
E09028000	Держатель нитей накала для Auto 306
E09029000	Привод подложкодержателя Rotatilt 3
E09032000	Заслонка источника с ручным приводом
E09033000	Многопозиционный переключатель низкого напряжения
E09035000	Регулятор тока ВН/НН
E09037018	Изолятор Pvzm0300
E09037019	Изолятор Pvzm0301
E09037026	Интерметаллический под, комплект из 5 шт.
E09038000	Резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
E09038018	Изолятор, наружная часть с разъемной втулкой
E09038019	Изолятор, внутренняя часть с разъемной втулкой
E09038029	Запасная гибкая муфта
E09039000	Графитовый источник-испаритель
E09044000	Электромагнитный привод заслонки
E09045000	Контроллер электромагнитной заслонки источника
E09046000	Электронно-лучевой источник EB1
E09049000	Поворотный подложкодержатель для Auto306
E09049000	Поворотный подложкодержатель 260мм
E09052000	Блок питания ВН для Auto 306
E09058000	Кольцо подложкодержателя
E09060000	Блок питания на 3кВт для EB3, 50Гц
E09061000	Блок питания на 3кВт для EB3, 60Гц
E09062000	Противовес верхней плиты
E09063000	Трансформатор НН 100A/200A
E09064000	Трансформатор НН 10В 90A/30В 30A
E09065000	Комплект для автоматического газоотвода
E09066000	Купол подложкодержателя
E09070000	Трансформатор НН 350A


Вакуумные вводы E10014000 и E10034000	Изоляторы E09038018 и E09038019

Код оригинального изделия	Описание
E09072000	Электронно-лучевой источник-испаритель EB3
E09080000	Комплект вводов для EB3
E09081000	Датчик расхода воды для EB3
E09082000	Блок развертки луча по X-Y
E09083000	Комплект электроприводов поворотного столика для EB3
E09084000	Комплект ручных приводов для EB3
E09088030	Графитовая футеровка для тигля объемом 4куб.см
E09088031	Молибденовая футеровка для тигля объемом 4куб.см
E09088032	Интерметаллическая футеровка для тигля объемом 4куб.см
E09090000	Камера FL400 с фронтальной загрузкой
E09091000	Футеровки камер для FL400
E09092000	Вспомогательное перископное оборудование
E09093000	Комплект для бокового монтажа EB3 для камеры FL400
E09303000	Магнетронный источник EPM75
E09304000	Магнетронный источник EPM100
E09702001	Конический алюминиевый тигель объемом 2куб.см
E09702002	Конический алюминий-нитридный тигель объемом 2куб.см
E09702003	Конический бор-нитридный тигель объемом 2куб.см
E09702011	Цилиндрический алюминиевый тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой
E09702012	Цилиндрический алюминий-нитридный тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой
E09702013	Цилиндрический бор-нитридный тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой
E10001001	Заглушка NW10
E10004001	Заглушка NW25
E10014000	Вакуумный ввод НН с клеммой "земля" / "масса"
E10024000	Водоохлаждаемый вакуумный ввод
E10031000	Вакуумный ввод 7EK10
E10034000	Вакуумный ввод 6EK25
E10041040	Поворотный вакуумный ввод 4RK10
E10044040	Поворотный вакуумный ввод 8RK10
E10044120	Поворотный вакуумный ввод 12RK10
E10054000	Вакуумный ввод TL8K25
E10074000	Заземление, удлинитель вакуумного ввода 6EK25
E10074005	Удлинитель вакуумного ввода 10EK25