Настольная установка напыления HHV Scancoat Six для электронной микроскопии

Scancoat_Six_11.png

Компактная установка напыления тонких пленок HHV Scancoat Six позволяет подготовить образцы для их исследования методами сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Для установки характерна простота обслуживания, ее конструкция позволяет изготавливать методом напыления образцы с высококачественной проводящей металлической пленкой для СЭМ. Установка способна создавать покрытие на всей поверхности образца, включая образцы с замкнутыми поверхностями. Настольная установка напыления HHV Scancoat Six, изготовленная компанией HHV по эксклюзивной английской технологии Edwards, отличается высочайшим качеством и надежностью.


Функциональные характеристики установки напыления тонких пленок HHV Scancoat Six


- Автоматизированное напыление с цифровой регулировкой выдержки времени технологического процесса для повторяющихся операций
- Простота обслуживания
- Холодное напыление помогает избежать повреждения чувствительных образцов под воз действием высокой температуры
- Водоохлаждаемый столик образца обеспечивает дополнительную возможность теплоотвода, что еще лучше снижает нагрев хрупких образцов
- Встроенное устройство травления / очистки образца
- Универсальный подложкодержатель для образцов способен захватывать столики для образцов от большинства производителей ЭМ
- Дополнительное вспомогательное устройство термического испарения углерода для подготовки образцов к микроанализу методами ПЭМ и рентгеноскопии
- Оснащена пластинчато-роторным насосом, мишенью из золота толщиной 0,1 мм и встроенным вакуумным вводом для дополнительного устройства контроля толщины пленки


Установка Scancoat Six в стандартной комплектации поставляется с мишенью из золота. В наличие также имеются мишени из платины, золото-палладиевого сплава, меди и железа.


Устройство термического испарения углерода

Scancoat_Six_22.png

Исследователи, использующие в работе метод просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) могут дополнительно использовать устройство термического испарения углерода для нанесения тонких пленок углерода.


Источник-испаритель из углеродного волокна крепится на верхней плите камеры и снабжается модулем блока питания. Верхняя плита камеры непосредственно монтируется к камере установки Scancoat вместо верхней плиты для напыления. Штатив модуля блока питания удерживает верхнюю плиту камеры, когда она не используется, освобождая обе руки для загрузки углеродного волокна.


Работа устройства проста и состоит в регулировке мощности "дегазации" для нагрева. Для защиты образцов от излучаемой в процессе дегазации теплоты предусмотрена заслонка. Специальная кнопка обеспечивает подачу полной мощности на волокно для его "мгновенного" испарения.


К каждому устройству прилагается углеродное волокно длиной 3 м.


Каталог установок нанесения тонких пленок HHV


Технические характеристики Scancoat Six


Материал рабочей камеры

Боросиликатное стекло с акриловой защитой от раздавливания

Размер

Ø 150 мм, высота 115 мм

Водоохлаждаемый медный рабочий столик

O 100 мм

Диаметр сменного подложкодержателя

O 100 мм

Количество отверстий O 3,2 мм

6

Количество отверстий O 10 мм

6

Количество отверстий для столиков СЭМ

6

Вакуумная установка

Пластинчато-роторный насос прямого привода

Edwards RV3

Вакуумметр

Вакуумметр Пирани компании Edwards

Технологический газ

Тип

Аргон (необходима регулировка подачи)

Разъемы

Плотная насадка из нейлона для НД 6 мм

Регулировка

Многооборотный игольчатый клапан

Время откачки камеры до рабочего давления

60 сек

Скорость распыления

До 60 мкм/мин

Высоковольтное питание

1500 В постоянного тока при 50 мА

Контроль высокого напряжения

Ток

0 - 100мА с защитой от перегрузки

Напряжение

0-2,5 кВ

Цифровой регулятор выдержки времени

0 с - 100 минут, автоматическая установка на нуль

Габариты

Ширина 470 мм

Глубина 375 мм

Высота 450 мм

Вес

22 кг