Установка напыления тонких пленок HHV Auto500GB для использования с перчаточным боксом
Установка напыления тонких пленок Auto500GB (производство компании HHV), предназначена для использования с защитным перчаточным боксом. Установка оборудована специальной камерой, обеспечивающей непосредственное встраивание в перчаточные боксы , изготавливаемые большинством ведущих производителей. Камера оснащена передней дверцей с вертикальным открытием, которая обеспечивает доступ из защитного перчатного бокса, а задняя откидная дверца позволяет выполнять работы без риска нарушить газовую среду перчаточного бокса.
Конструкция установки напыления тонких пленок HHV Auto500GB позволяет использовать терморегулируемый эффузионный источник для нанесения органических веществ.
Каталог установок нанесения тонких пленок HHV
Технологическое оборудование
Терморегулируемый источник объемом 2 куб.см для нанесения органических веществ.
- Прямоугольные камеры из нержавеющей стали размером 500мм х 500мм с возможностью водяного охлаждения
- Один или несколько резистивных источников, резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
- Терморегулируемые источники и устройства управления для нанесения для органических веществ
- Многотигельный электронно-лучевой источник мощностью 3кВт
- Неподвижные и поворотные подложкодержатели
- Заслонки источника и подложки
- Очистка в тлеющем разряде
- Контроль толщины пленки