Установка напыления тонких пленок HHV Auto500 для НИОКР
Многофункциональные установки напыления тонких пленок HHV Auto500 от компании HHV – это надежность и качество по доступной цене. HHV Auto500 является универсальной установкой напыления с фронтальной загрузкой для исследований и подготовки к серийному производству. Внутри камеры можно размещать подложки большого диаметра, она допускает совместное использование метода резистивного испарения, электронно-лучевого напыления и распыления без нарушения вакуума. Дополнительные возможности насосной системы позволяют использовать диффузионный насос, стандартный или безмасляный на магнитном подвесе, турбомолекулярные насосы, а также крионасос.
Инструкция: Установка для нанесения покрытий TF500
Каталог установок нанесения тонких пленок HHV
Установка Auto500 для резистивного и электронно-лучевого напыления
Установка напыления тонких пленок Auto500 - это эффективное, но доступное по цене средство реализации методов термического осаждения.
Технологическое оборудование
- Прямоугольные камеры из нержавеющей стали размером 500 мм х 400 мм с возможностью водяного охлаждения
- Камеры со стеклянным вакуумным колпаком или стеклянным цилиндром
- Один или несколько резистивных источников, резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
- Многотигельный электронно-лучевой источник мощностью 3 кВт или 6 кВт
- Неподвижный и поворотный подложкодержатели
- Устройства высокотемпературного нагрева подложки
- Заслонки источника и подложки
- Очистка в тлеющем разряде
- Устройства измерения и контроля толщины пленки
- Возможности применения загрузочного шлюза
Камера FL400 изнутри с электронно-лучевым источником EB3, двумя резистивными источниками и кварцевым ламповым нагревателем подложки.
Компактный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3 кВт с поворотным столиком и возможностью футеровки.
Установка Auto500 распыления на постоянном и ВЧ токе
Установка Auto500 после настройки представляет собой эффективную и универсальную установку распыления для проведения исследований. Установки могут быть оснащены максимум тремя источниками распыления, а универсальная система коммутации позволяет пользователям выбирать источник питания: постоянный ток или ток высокой частоты. Возможность дополнительно использовать установки технологического газа и подложкодержатели позволяет обеспечить максимальную гибкость технологического процесса.
На выбор предлагаются:
- До трех магнетронных источников для вертикального напыления
- Источники на шарнирах для фокусированного распыления
- Возможности последовательного или совместного распыления
- Возможности использования источников питания постоянного тока или тока высокой частоты
- Реактивное распыление
- Нагреваемые подложкодержатели
- Подложкодержатели с электрическим смещением
- Возможности применения загрузочного шлюза
Камеры FL500 с тремя источниками распыления диаметром 3” с наклонными головками.
Установка напыления тонких пленок Auto500 многоцелевого назначения
Универсальную установку напыления тонких пленок Auto500 можно настроить для использования многочисленных методов. Просторная камера FL500 может вмещать компактный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3 кВт с распылительными и резистивными источниками, обеспечивая исследователей средствами формирования многослойных пленок с использованием не нарушающих вакуум методов. В установке может также размещаться система очистки в тлеющем разряде и нагрева подложки, а также устройство измерения и контроля толщины пленки.
Камера FL500 изнутри с электронно-лучевым источником EB3 и двумя источниками магнетронного распыления диаметром 75мм.
Функциональные характеристики установки Auto500
Вакуумные установки:
- Диффузионный насос производительностью 600 л/с
- Турбомолекулярный насос производительностью 500 л/с
- Безмасляный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе производительностью 450 л/с
- Крионасос производительностью 1500 л/с
- Пластинчато-роторный насос с масляным уплотнением производительностью 14,3 м3/ч и ловушка, охлаждаемая жидким азотом, в стандартной комплектации
- Возможен вариант безмасляного спирального насоса
Камеры:
- Прямоугольная камера FL400 с фронтальной загрузкой. Диаметр 400 мм x высота 500 мм со смотровым окном диаметром 100 мм и футеровкой камеры
- Прямоугольная камера FL500 с фронтальной загрузкой. Диаметр 500 мм x высота 500 мм со смотровым окном диаметром 100 мм и футеровкой камеры
- Водоохлаждаемые камеры FL400 или FL500 для использования при высокотемпературном нагреве подложек
Средства управления и обеспечения безопасности:
- Контроллер системы на базе ПЛК с сенсорным дисплеем для управления вакуумной установкой
- Автоматический высоковакуумный клапан служит для защиты насосов и технологического процесса
- Комплексные блокировочные устройства обеспечивают максимально возможную безопасность оператора
- Auto500 имеет маркировку ЕС
Планируемая модернизация:
- Функциональная особенность модульной конструкции Auto500 состоит в том, что конфигурацию этой установки можно изменить или модернизировать при помощи дополнительного оборудования, поскольку со временем требования меняются
Габаритные размеры
Габариты Auto500 в мм (дюймах)