Газоанализатор Transpector HPR
Достаточная чувствительность для оптимального контроля загрязнения
Газоанализатор Transpector® HPR компании INFICON имеет высокую производительность анализатора остаточных газов Transpector и использует калибровочный эталон для автоматизации работы прибора и выполнения мониторинга и самодиагностики. Дополненный мощными возможностями системы анализа и интеграции датчиков FabGuard Sensor Integration and Analysis System компании INFICON прибор Transpector HPR способен осуществлять самодиагностику, а также мониторинг оборудования на наличие отклонений и дефектов в техпроцессе.
Техническая информация
Эталонная газовая смесь для калибровки Transpector CPM
Распространённые приложения
- гелиевое течеискание для проверки герметичности различных модулей оборудования
- мониторинг состояния модулей с целью профилактического техобслуживания
- регистрация данных после профилактического техобслуживания
- измерение скорости повышения
- мониторинг состава фона
Особенности и возможности газоанализатора Transpector HPR
- газоанализатор Transpector HPR имеет различные диапазоны а.е.м. с комбинацией цилиндра Фарадея и ВЭУ
- автоматическая настройка коэффициента усиления ВЭУ
- динамический диапазон 9 декад
- автонастройка разрешающей способности и позиции на шкале масс
- регулируемое время выдержки для превосходного отношения сигнал/шум
- минимальное регистрируемое парциальное давление 5 х 10-15 торр (модель с диапазоном 100 а.е.м.)
Технические характеристики газоанализатора Transpector HPR
Диапазон масс |
100, 200 или 300 а.е.м. |
Тип детектора |
ВЭУ/ЦФ |
Разрешающая способность |
менее 1 а.е.м на уровне 10% от высоты пика во всём диапазоне масс |
Температурный коэффициент |
менее 1% от высоты пика на 1ºС |
Чувствительность: ЦФ ВЭУ |
1E-4 А/торр 500 А/торр |
Минимальное измеряемое парциальное давление |
5 х 10-15 торр (модель с диапазоном 100 а.е.м.) |
Макс. рабочее давление |
5E-4 торр |
Макс. рабочая температура датчика |
250°C |
Номинальная рабочая температура датчика |
150°C с нагревателем из комплекта |
Электропитание |
24 В пост. тока (блок питания входит в комплект) |
Передача данных |
эл. соединитель для передачи данных по стандарту RS485 имеющий адрес |
Настройка коэффициента усиления ВЭУ |
автоматическая с выдержкой, определяемой пользователем |
Настройка позиции массы |
автоматическая с выдержкой, определяемой пользователем |
Настройка разрешения по массам |
автоматическая с выдержкой, определяемой пользователем |