Газоанализатор Transpector HPR


Достаточная чувствительность для оптимального контроля загрязнения


Газоанализатор transpector hprГазоанализатор Transpector® HPR компании INFICON имеет высокую производительность анализатора остаточных газов Transpector и использует калибровочный эталон для автоматизации работы прибора и выполнения мониторинга и самодиагностики. Дополненный мощными возможностями системы анализа и интеграции датчиков FabGuard Sensor Integration and Analysis System компании INFICON прибор Transpector HPR способен осуществлять самодиагностику, а также мониторинг оборудования на наличие отклонений и дефектов в техпроцессе.


Техническая информация


Эталонная газовая смесь для калибровки Transpector CPM

Распространённые приложения


- гелиевое течеискание для проверки герметичности различных модулей оборудования
- мониторинг состояния модулей с целью профилактического техобслуживания
- регистрация данных после профилактического техобслуживания
- измерение скорости повышения
- мониторинг состава фона


Особенности и возможности газоанализатора Transpector HPR


- газоанализатор Transpector HPR имеет различные диапазоны а.е.м. с комбинацией цилиндра Фарадея и ВЭУ
- автоматическая настройка коэффициента усиления ВЭУ
- динамический диапазон 9 декад
- автонастройка разрешающей способности и позиции на шкале масс
- регулируемое время выдержки для превосходного отношения сигнал/шум
- минимальное регистрируемое парциальное давление 5 х 10-15 торр (модель с диапазоном 100 а.е.м.)


Технические характеристики газоанализатора Transpector HPR


Диапазон масс

100, 200 или 300 а.е.м.

Тип детектора

ВЭУ/ЦФ

Разрешающая способность

менее 1 а.е.м на уровне 10% от высоты пика во всём диапазоне масс

Температурный коэффициент

менее 1% от высоты пика на 1ºС

Чувствительность:

ЦФ

ВЭУ

1E-4 А/торр

500 А/торр

Минимальное измеряемое парциальное давление

5 х 10-15 торр (модель с диапазоном 100 а.е.м.)

Макс. рабочее давление

5E-4 торр

Макс. рабочая температура датчика

250°C

Номинальная рабочая температура датчика

150°C с нагревателем из комплекта

Электропитание

24 В пост. тока (блок питания входит в комплект)

Передача данных

эл. соединитель для передачи данных по стандарту RS485 имеющий адрес

Настройка коэффициента усиления ВЭУ

автоматическая с выдержкой, определяемой пользователем

Настройка позиции массы

автоматическая с выдержкой, определяемой пользователем

Настройка разрешения по массам

автоматическая с выдержкой, определяемой пользователем