Газоанализатор QUANTUS LP100


Газоанализатор INFICON QuantusГазоанализатор QUANTUS LP100 позволяет проводить анализ газа и определение момента окончания процесса в реальном времени в агрессивных средах при низкой стоимости владения. Газоанализатор QUANTUS LP100 компании INFICON обнаруживает загрязняющие химические соединения и определяет момент окончания процесса в реальном времени в среде выполнения критически важных технологических процессов. Многие техпроцессы чувствительны к ничтожному количеству загрязняющих химических соединений, а по мере развития технологий, техпроцессы становятся ещё более чувствительными к ещё меньшей концентрации загрязняющих химических соединений, в результате чего надёжный контроль содержания таких соединений становится ещё более важным. Газоанализатор Quantus LP100 сконструирован, чтобы мгновенно реагировать на очень небольшое изменение химического состава среды, в которой выполняется чувствительный техпроцесс, что позволяет свести к минимуму брак и повысить выход годных изделий.


Анализ газа при высоком давлении без использования насосов


Основное преимущество газоанализатора с использованием плазменной ячейки состоит в том, что не требуются дорогостоящие системы откачки для анализа газа при более высоком рабочем давлении. Газоанализатор Quantus LP100 способен работать при давлении в диапазоне от 10-3 до 1 торр и совместим с большинством техпроцессов при установке либо на вакуумной камере, в которой выполняется техпроцесс, либо в линии откачки этой камеры. Способы анализа газа, используемые прибором Quantus LP100, обеспечивают высокую чувствительность обнаружения загрязняющих химических соединений, течей и момента окончания (у нижней границы диапазона PPM) для критически важных процессов. Запатентованная конструкция плоской плазменной ячейки, которая, помимо прочего, обеспечивает удобную простую замену на месте эксплуатации, позволяет прибору Quantus LP100 стабильно работать в течение длительного времени в большинстве коррозионных технологических сред.


Технологические преимущества газоанализатора QUANTUS LP100

2.1_quantus1.png

- Плоская плазменная ячейка
- Запатентованная плоская антенна
- Стойкость к коррозии
- Антенна не подвергается воздействию техпроцесса
- Поверхности, ограничивающие вакуум, из сапфира и нержавеющей стали 304
- Плоская антенна изготовлена по технологии производства печатных плат, обеспечивающей жёсткие допуски и высокие эксплуатационные характеристики


Особенности и возможности газоанализатора QUANTUS LP100


- Удобная замена плазменной ячейки на месте эксплуатации прибора
- Простая установка благодаря использованию стандартного фланца KF25 для присоединения
- Небольшой объем техобслуживания
- Пределы чувствительности находятся у нижней границы диапазона PPM
- Широкий рабочий диапазон давления от 10-3 до 1 торр
- Долговременная надёжность: насосы не требуются
- Низкая стоимость владения
- Быстрый отбор пробы (максимум 24 Гц)
- Небольшие габариты: 87 x 151 x 235 мм (В х Ш х Д)


Контроль момента окончания техпроцесса в реальном времени


Благодаря уникальной конструкции датчика, спроектированного с целью выдержать агрессивное воздействие коррозионных сред травления, масс-спектрометр Quantus LP100 способен определять момент окончания большинства процессов травления в реальном времени. Масс-спектрометр Quantus способен анализировать химический состав технологического газа и использует уникальные однофакторные и многофакторные алгоритмы для точного определения условий окончания техпроцесса. В момент окончания техпроцесса прибор способен подать локальные сигналы тревоги, отправить сигнал системе контроля более высокого уровня и даже непосредственно взаимодействовать с технологическим оборудованием. Газоанализатор Quantus в отличие от традиционных систем, определяющих момент окончания техпроцесса, наряду с определением момента окончания способен обнаруживать загрязняющие химические соединения в реальном времени (рис. 1). Помимо этого газоанализатор Quantus LP100 самостоятельно создаёт плазму, что позволяет применять его для процессов, в которых отсутствует состояние плазмы.


Контроль загрязнения в реальном времени


Возможности газоанализатора Quantus LP100 не ограничиваются контролем момента окончания техпроцесса. Прибор Quantus позволяет обнаруживать течь и контролировать присутствие загрязняющих химических соединений в реальном времени в средах критически важных процессов.


Конструкция плоской плазменной ячейки обеспечивает высокую надёжность и чувствительность у нижней границы диапазона PPM для анализа этих типов при минимальном необходимом техобслуживании и низкой стоимости владения.


Простая установка


Газоанализатор Quantus LP100 легко присоединяется к системе через отверстие со стандартным фланцем KF25. В зависимости от значений давления датчик можно установить либо на вакуумной камере, в которой выполняется техпроцесс, либо в линии откачки этой камеры. Имея небольшие габаритные размеры, всего 87 х 151 х 241 мм (В х Ш х Д), прибор Quantus LP100 не будет мешать выполнению ежедневных операций как с самим технологическим оборудованием, так и поблизости с ним.


Применения


- Контроль момента окончания процесса травления в реальном времени для очистки камер на последующих этапах техпроцесса
- Контроль загрязнения техпроцесса
- Обнаружение течи

2.1Quantus_Рис_1.png


Рис.1: Пример подачи прибором Quantus LP100 сигнала момента окончания процесса травления.


Технические характеристики


Рабочие характеристики

Технология

оптическая эмиссионная спектроскопия с использованием встроенных патентованной ячейки для индуктивно связанной микроплазмы, спектрометра и источника питания генератора ВЧ

Рабочие характеристики спектрометра

длина волны в диапазоне 200-850 нм, разрешение 16-бит во всём измерительном диапазоне, 2048 пикселов

Длительность воздействия

Мин. 1 мс

Частота отбора проб

Макс. 24 Гц

Предел чувствительности

у нижней границы диапазона PPM (зависит от приложения)

Интерфейс отбора проб газа

Среда техпроцесса

0,01-1 торр (зависит от приложения)

Соединение с вакуумной системой

KF25

Макс. температура фланца

80°C

Удобство техобслуживания

возможна замена ячейки датчика на месте эксплуатации

Приспособления

Диапазон рабочей температуры

0-50°C (без конденсации, ячейка датчика 80°C)

Требуемое электропитание

2,5 А при 24 В (пост. ток) (преобразователь переменного тока в постоянный по заказу)

Потребляемая мощность

менее 25 Вт (типичное, в установившемся режиме работы)

Газы-носители

не требуются

Способ монтажа

прямое присоединение через фланец KF25

Запорный клапан

нет в стандартной комплектации

Приблизительные габаритные размеры и масса

Габаритные размеры

87 x 151 x 241 мм (В х Ш х Д)

Масса

2,7 кг


Габаритные размеры


2.1Quantus_gabaritu.png