Система контроля плазменных процессов PPM422

PPM422.jpg

Система контроля плазменных процессов PPM422 (Plasma Process Monitor) представляет собой масс-спектрометр с дифференциальной накачкой и с интегрированным энергетическим анализатором для измерения нейтральных частиц, положительных и отрицательных ионов, а также для энергетического анализа ионов и нейтральных частиц в плазменных процессах.


Преимущества и особенности:


- Обнаружение нейтральных частиц и положительных и отрицательных ионов из плазмы
- Энергетический анализ нейтральных частиц и положительных и отрицательных ионов
- Измерение радикалов
- Определение конечной точки плазменных процессов
- Широкий динамический диапазон
- Высокая скорость измерения