Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O
Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O - это многоканальный измеритель на основе кристалла кварца.
Прибор SQM160 использует апробированную технологию INFICON датчика на основе кристалла кварца для измерения скорости напыления и толщины слоя в процессах напыления тонких плёнок. Этот прибор в стандартном исполнении имеет вводы для двух датчиков, предусмотрена возможность использования дополнительных вводов для четырёх датчиков. Через два вывода для устройства регистрации передаётся аналоговый сигнал, характеризующий скорость напыления и толщину плёнки.
Измерительные вводы можно назначить разным материалам, настроить для двухкристального датчика или усреднить сигналы для контроля напыления с более высокой точностью в больших системах. Режим выборки скорости позволяет продлить срок службы датчика с затвором в процессах напыления плёнок с высокой скоростью. Оператор может выбрать отображение значений скорости напыления в следующих единицах: 0,1 Ä/с или 0,01 Ä/с. Кроме того, можно выбрать отображение значений массы (Mass) или частоты (Frequency). Наличие четырёх выводов реле позволяет прибору SQM160 контролировать затворы детектора и источника, передавать установки толщины плёнки и времени, а также сообщать о неработоспособности кристалла. Дискретные вводы позволяют осуществлять пуск/останов и обнуление показаний внешними сигналами.
Прибор SQM160 в стандартном исполнении имеет электрический соединитель для передачи данных по стандарту RS-232 и ПО под Windows®, позволяющие настраивать прибор с ПК. ПО служит для настройки и сохранения всех параметров, управления прибором и сохранения данных процесса в XLS-файле. Для расширения возможностей передачи данных по стандартам USB и Ethernet можно воспользоваться соответствующими дополнительными электрическими соединителями.
Простая эксплуатация
Для начала измерения толщины и скорости напыления нажмите кнопку Zero, чтобы обнулить последнее показание толщины, затем кнопку Shutter, чтобы открыть затвор датчика или источника. Большие яркие светодиодные индикаторы одновременно отображают результаты измерений скорости напыления и толщины плёнки, которые видны на значительном удалении от прибора. После достижения нужного значения толщины или истечения заданного периода, затвор закрывается, и загораются соответствующие сигнализаторы на передней панели. В любой момент можно нажать кнопку Xtal Life, чтобы узнать оставшийся срок службы кристалла.
Чтобы настроить прибор для хранящихся в памяти 99 плёнок используются два меню. Для доступа к меню нажмите кнопку Program. Выбор и изменение значений параметров осуществляется вращением установочной ручки. На главном индикаторе отображаются подсказки меню, а значения отображаются на вспомогательном индикаторе (Time).
Высокая точность, низкая стоимость
Стандартная разрешающая способность по частоте составляет 0,12 Гц при четырёх показаниях в секунду. Режим высокой точности повышает разрешение до 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду. Температурная стабильность составляет 2 ppm во всём рабочем диапазоне. Ни один другой прибор в данной ценовой категории не обладает такой комбинацией высокой точности и высокой стабильности!
Преимущества SQM16O
- В стандартном исполнении – два измерительных канала с возможностью четырёх дополнительных
- Аналоговые выводы для регистрации скорости напыления и толщины плёнки
- Режим высокой точности: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду
- Электрический соединитель стандарта RS-232 (дополнительно USB или Ethernet)
- Контроллеры, измерители и принадлежности для технологии напыления тонких плёнок
Усовершенствованное ПО обеспечивает наглядное отображение данных процесса напыления тонких плёнок для облегчения документирования и анализа процесса. Резервное копирование настроек SQM160 обеспечивает согласованность процессов.
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Информация для заказа
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c нужные цифры и буквы.
S |
Q |
M |
1 |
6 |
0 |
- |
a |
b |
c |
a |
Базовая модель контроллера |
b |
Число каналов |
c |
Интерфейс |
Типичная система измерения напыления тонких плёнок SQM160
В составе типичной системы измерения напыления тонких плёнок SQM: измеритель SQM160 и, по меньшей мере, один датчик и один вакуумный ввод (для каждого датчика).
Принадлежности
782-900-008 |
Комплект для установки одного прибора SQM160 в 19" стойку |
782-900-014 |
Комплект для установки двух приборов SQM160 в 19" стойку |
782-502-062 |
Дополнительная плата для 4 датчиков (преобразует 2-канальный SQM160 в 6-канальный) |
782-900-042 |
Комплект для высокого разрешения (повышает стандартную разрешающую способность SQM160 – устанавливается изготовителем) |
782-900-040 |
Дополнительная плата для передачи данных по стандарту USB |
782-900-041 |
Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet |
Дополнительные принадлежности и запасные части
Принадлежности
782-900-017 |
Ручной пульт регулирования мощности, витой кабель 3 м |
782-900-007 |
Расширитель стойки: установка одного прибора 5 ¼ в 19-дюймовую стойку |
782-900-016 |
Переходник для стойки: установка двух приборов 5 ¼ в 19-дюймовую стойку |
782-900-008 |
Расширитель с форм-фактором «31/2" Full Rack» стойки: для установки одного прибора SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку |
782-900-014 |
Переходник с форм-фактором «31/2" Half Rack» для стойки: для установки двух приборов SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку |
782-900-026 |
Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet |
Генераторы и кабели
782-934-003-10 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011, 782-902-012-10 |
782-934-003-25 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-25 |
782-934-003-50 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-50 |
782-934-003-99 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-99 |
782-900-010 |
Дистанционный генератор |
782-902-011 |
Кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка |
782-902-012-10 |
Кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
782-902-012-25 |
Кабель 7,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
782-902-012-50 |
Кабель 15,4 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
782-902-012-99 |
Кабель 30,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
782-902-022 |
Согласующий кабель 150 мм с электрическими соединителями типа BNC и Microdot |
782-932-022 |
Обжимная переходная муфта с 1/8" на 3/16" |
782-932-020 |
Обжимная муфта 1/8" |
782-932-021 |
Обжимная муфта 3/16" |
Технические характеристики
Вводы QCM для датчиков |
В стандартном исполнении: 2; |
Диапазон частот |
1-6,5 МГц |
Разрешающая способность по частоте |
В стандартном исполнении: ±0,12 Гц при 4 показаниях в секунду |
Стабильность частоты |
общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50 °C |
Выбираемый период измерения |
0,10-2 с (с шагом 0,05 с) |
Фильтр измерений |
1-20 показаний |
Количество плёнок в памяти |
99 |
Аналоговые выводы |
два: 0-5 В постоянного тока, значения скорости напыления и толщины |
Дискретные вводы/выводы |
Два ввода и четыре вывода реле |
Цифровой интерфейс |
В стандартном исполнении: RS-232 |
Электропитание |
100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт |
Соответствие требованиям СЕ |
Оборудование класса 1, |
Установка |
½ стойка, высота 3 ½, 89 x 213 x 197 мм |
Масса |
2,7 кг |
ПО под Windows® (в комплекте) |
Обеспечивает дистанционную настройку и управление, функции регистрации данных – см. снимки экрана ниже |