Поставляем оборудование в ваш регион

Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O


Измеритель толщины и скорости напыления нескольких плёнок SQM16O - это многоканальныйsqm160-1.png измеритель на основе кристалла кварца.
Прибор SQM160 использует апробированную технологию INFICON датчика на основе кристалла кварца для измерения скорости напыления и толщины слоя в процессах напыления тонких плёнок. Этот прибор в стандартном исполнении имеет вводы для двух датчиков, предусмотрена возможность использования дополнительных вводов для четырёх датчиков. Через два вывода для устройства регистрации передаётся аналоговый сигнал, характеризующий скорость напыления и толщину плёнки.
Измерительные вводы можно назначить разным материалам, настроить для двухкристального датчика или усреднить сигналы для контроля напыления с более высокой точностью в больших системах. Режим выборки скорости позволяет продлить срок службы датчика с затвором в процессах напыления плёнок с высокой скоростью. Оператор может выбрать отображение значений скорости напыления в следующих единицах: 0,1 Ä/с или 0,01 Ä/с. Кроме того, можно выбрать отображение значений массы (Mass) или частоты (Frequency). Наличие четырёх выводов реле позволяет прибору SQM160 контролировать затворы детектора и источника, передавать установки толщины плёнки и времени, а также сообщать о неработоспособности кристалла. Дискретные вводы позволяют осуществлять пуск/останов и обнуление показаний внешними сигналами.
Прибор SQM160 в стандартном исполнении имеет электрический соединитель для передачи данных по стандарту RS-232 и ПО под Windows®, позволяющие настраивать прибор с ПК. ПО служит для настройки и сохранения всех параметров, управления прибором и сохранения данных процесса в XLS-файле. Для расширения возможностей передачи данных по стандартам USB и Ethernet можно воспользоваться соответствующими дополнительными электрическими соединителями.


Простая эксплуатация


Для начала измерения толщины и скорости напыления нажмите кнопку Zero, чтобы обнулить последнее показание толщины, затем кнопку Shutter, чтобы открыть затвор датчика или источника. Большие яркие светодиодные индикаторы одновременно отображают результаты измерений скорости напыления и толщины плёнки, которые видны на значительном удалении от прибора. После достижения нужного значения толщины или истечения заданного периода, затвор закрывается, и загораются соответствующие сигнализаторы на передней панели. В любой момент можно нажать кнопку Xtal Life, чтобы узнать оставшийся срок службы кристалла.
Чтобы настроить прибор для хранящихся в памяти 99 плёнок используются два меню. Для доступа к меню нажмите кнопку Program. Выбор и изменение значений параметров осуществляется вращением установочной ручки. На главном индикаторе отображаются подсказки меню, а значения отображаются на вспомогательном индикаторе (Time).


Высокая точность, низкая стоимость


Стандартная разрешающая способность по частоте составляет 0,12 Гц при четырёх показаниях в секунду. Режим высокой точности повышает разрешение до 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду. Температурная стабильность составляет 2 ppm во всём рабочем диапазоне. Ни один другой прибор в данной ценовой категории не обладает такой комбинацией высокой точности и высокой стабильности!


Преимущества SQM16O


- В стандартном исполнении – два измерительных канала с возможностью четырёх дополнительных
- Аналоговые выводы для регистрации скорости напыления и толщины плёнки
- Режим высокой точности: 0,03 Гц при 10 показаниях в секунду
- Электрический соединитель стандарта RS-232 (дополнительно USB или Ethernet)
- Контроллеры, измерители и принадлежности для технологии напыления тонких плёнок

sqm160-2.jpg


Усовершенствованное ПО обеспечивает наглядное отображение данных процесса напыления тонких плёнок для облегчения документирования и анализа процесса. Резервное копирование настроек SQM160 обеспечивает согласованность процессов.

sqm160-3.jpg


Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)

Информация для заказа


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c нужные цифры и буквы.


S


Q


M


1


6


0


-


a


b


c



a


Базовая модель контроллера
Стандартное разрешение – S
Высокое разрешение - H


b


Число каналов
В стандартном исполнении – 2
Дополнительно - 6


c


Интерфейс
В стандартном исполнении: RS-232 – R
Дополнительно: USB – U
Дополнительно: Ethernet - E



Типичная система измерения напыления тонких плёнок SQM160

sqm160-4.jpg


В составе типичной системы измерения напыления тонких плёнок SQM: измеритель SQM160 и, по меньшей мере, один датчик и один вакуумный ввод (для каждого датчика).


Принадлежности


782-900-008


Комплект для установки одного прибора SQM160 в 19" стойку


782-900-014


Комплект для установки двух приборов SQM160 в 19" стойку


782-502-062


Дополнительная плата для 4 датчиков (преобразует 2-канальный SQM160 в 6-канальный)


782-900-042


Комплект для высокого разрешения (повышает стандартную разрешающую способность SQM160 – устанавливается изготовителем)


782-900-040


Дополнительная плата для передачи данных по стандарту USB


782-900-041


Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet



Дополнительные принадлежности и запасные части


Принадлежности


782-900-017


Ручной пульт регулирования мощности, витой кабель 3 м


782-900-007


Расширитель стойки: установка одного прибора 5 ¼ в 19-дюймовую стойку


782-900-016


Переходник для стойки: установка двух приборов 5 ¼ в 19-дюймовую стойку


782-900-008


Расширитель с форм-фактором «31/2" Full Rack» стойки: для установки одного прибора SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку


782-900-014


Переходник с форм-фактором «31/2" Half Rack» для стойки: для установки двух приборов SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку


782-900-026


Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet


Генераторы и кабели


782-934-003-10


Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011, 782-902-012-10


782-934-003-25


Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-25


782-934-003-50


Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-50


782-934-003-99


Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-99


782-900-010


Дистанционный генератор


782-902-011


Кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка


782-902-012-10


Кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка


782-902-012-25


Кабель 7,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка


782-902-012-50


Кабель 15,4 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка


782-902-012-99


Кабель 30,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка


782-902-022


Согласующий кабель 150 мм с электрическими соединителями типа BNC и Microdot


782-932-022


Обжимная переходная муфта с 1/8" на 3/16"


782-932-020


Обжимная муфта 1/8"


782-932-021


Обжимная муфта 3/16"



Технические характеристики


Вводы QCM для датчиков


В стандартном исполнении: 2;
дополнительно: 4


Диапазон частот


1-6,5 МГц


Разрешающая способность по частоте


В стандартном исполнении: ±0,12 Гц при 4 показаниях в секунду
Дополнительно: ±0,03 Гц при 10 показаниях в секунду


Стабильность частоты


общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50 °C


Выбираемый период измерения


0,10-2 с (с шагом 0,05 с)


Фильтр измерений


1-20 показаний


Количество плёнок в памяти


99


Аналоговые выводы


два: 0-5 В постоянного тока, значения скорости напыления и толщины


Дискретные вводы/выводы


Два ввода и четыре вывода реле


Цифровой интерфейс


В стандартном исполнении: RS-232
Дополнительно: USB или Ethernet


Электропитание


100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт


Соответствие требованиям СЕ


Оборудование класса 1,
73/72/EEC LVD, 89/336/EEC ECD


Установка


½ стойка, высота 3 ½, 89 x 213 x 197 мм


Масса


2,7 кг


ПО под Windows® (в комплекте)


Обеспечивает дистанционную настройку и управление, функции регистрации данных – см. снимки экрана ниже