Атомно-силовой микроскоп (AFM)
Исследование микромира
Атомный силовой микроскоп (AFM) – это высокочувствительная измерительная головка, в которой используется пьезосканер, обладающий высокой разрешающейспособностью. Это позволяет достичь субнанометрового диапазона. Помимо измерения топографии поверхности, различные доступные режимы измерения позволяют определять большое число других свойств поверхности. В базовой конфигурации используется контактный режим измерения.
Благодаря возможности систем MicroProf® и MicroGlider® работать с несколькими датчиками, датчик AFM можно использовать в комбинации с оптическими датчиками, что позволит расширить диапазон измерения от нескольких микрометров до 600 мм.
Режимы измерения:
- контактный режим
- бесконтактный режим
- магнитная/электростатическая сила
- режим эластичности
- режим силы трения/поперечной силы
- режим зонда Кельвина
- анализ жидкостных образцов
Технические характеристики:
Принцип измерения |
Атомно-силовая микроскопия (AFM) |
||
Диапазон измерения по осям X, Y |
20 мкм х 20 мкм |
40 мкм х 40 мкм |
80 мкм х 80 мкм |
Диапазон измерения по оси Z |
мин. 2 мкм |
мин. 4 мкм |
мин. 6 мкм |
Принцип детектирования |
волоконно-оптический интерферометр |
||
Разрешение по осям X, Y |
станд. 5 нм |
||
Разрешение по оси Z |
станд. 2 нм |
||
Скорость сканирования |
1-5 линий/с |
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)