Генераторы газообразного озона. Озонаторы ультравысокой концентрации серии OZC.
Озонаторы работают по принципу коронарного разряда (кислород подается через электрическое поле высокого потенциала и задействует высокопроизводительное разрядное устройство), что отличает их от озонаторов, действующих по конвекционному методу. Разрядное устройство данных озонаторов имеет большую площадь и водяное охлаждение, что позволяет генерировать большую концентрацию озона к площади разрядного устройства.
Основные преимущества:
- Генерация большого объема озона ультравысокой концентрации в непрерывном режиме
- Генерация ультрачистого озона благодаря применению электродов с керамическим напылением и сапфировых диэлектриков
- Занимает значительно меньшую площадь по сравнению с аналогами благодаря повышенной производительности
- Имеет встроенный датчик утечки озона в стандартной комплектации
- Отвечает требованиям стандарту S2-93, также доступны модели в соответствие с CE
- Принцип работы: кислород проходит через разрядное устройство (электрическое поле), тем самым ионизируются молекулы кислорода, вступают в реакцию и генерируется озонированный газ. Затем полученный озонированный газ может быть использован в соответствие с Вашим применением
Применения:
- Химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении - осаждение SiO2 на основе тетраэтилортосиликата
- Травление сухого фоторезиста
- Магнетронное напыление
- Сухая и влажная чистка
- Окисление поверхностей
- Отжиг оксидных плёнок
- Обеззараживание воды высшей степени очистки
Основные характеристики
Модели |
Поток непереработанного газа, сл/мин |
Концентрация озона, объем % |
Концентрация озона, г/ м³ |
Давление газа на выходе кПа, PSI |
OZC-1 |
2,5 |
9,3 |
200 |
150 (21,7) |
OZC-4 |
10 |
9,3 |
200 |
150 (21,7) |
OZC-10 |
25 |
9,3 |
200 |
150 (21,7) |
OZC-16 |
40 |
9,3 |
200 |
150 (21,7) |
OZC-20 |
50 |
9,3 |
200 |
150 (21,7) |