Системы MFE входного контроля
Полные решения для чистых производственных помещений класса 1
Измерительные системы серии MFE (метрологический входной контроль) 
специально предназначены для производителей структурированных п/п пластин, шаблонов, MEMS и аналогичных изделий. Учитывая очень высокие требования к чистоте, технологическому процессу и готовым изделиям в этих областях применения, все приборы специально сконструированы для эксплуатации в чистых помещениях.
Системы MFE измеряют допуски на размеры и покрытия, а также 3D топографию или толщину пленки. Все приборы являются метрологическими и соответствуют требуемым отраслевым стандартам, например SECS II / GEM в отношении программных интерфейсов. Кроме того система полностью автоматизирована и оснащена кассетами для п/п пластин и держателями для деталей.
EFEM (модуль интерфейсного оборудования) и мини-среда для чистых помещений класса 1 дополняют верхний сегмент приборов серии MFE.
Особенности:
- полностью герметичный
- сертифицирован для использования в чистом помещении класса 1
- перемещение из кассеты в кассету
- предварительная юстировка
- OCR
- системы для 200 мм, 300 мм*
* другие системы по заказу.
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)
Описания примеров конкретного применения приборов в некоторых отраслях промышленности см. на веб-сайте www.frt-gmbh.com..