MicroProf® 200
MicroProf® 200 - это высокопроизводительный, широко и успешно применяемый измерительный прибор для бесконтактного неразрушающего определения параметров поверхности и слоёв всех видов. Базируется на надёжной мульти-сенсорной технике FRT и предназначен для решения многочисленных измерительных задач в одной системе. С датчиком высокого разрешения CWL можно легко и надёжно измерять топографию, шероховатость и контур. Обширный выбор дополнительных датчиков облегчает оптимальное и индивидуальное приспособление MicroProf® 200 к Вашим задачам. С модулем двустороннего контроля образцов (TTV) или модулем автоматической обработки образцов (MHU) всегда можно приспособить MicroProf 200 к новым измерительным задачам клиента. Одновременно будут удовлетворены наивысшие требования к автоматизации.
Возможности измерения
- Шероховатость, высота ступеньки
- Толщина слоя, износ
- Трёхмерные измерения, разрушение края
- Двусторонний контроль образцов, волнистость
- Топография, распознавание дефектов
- Прогиб, выгиб мембраны, слоистость структуры
- Изгиб, деформация
Системные характеристики
- Полная мультисенсорность
- Современный промышленный дизайн
- Встроенная CCD-камера с переключаемым освещением
- Управляющий и измерительный компьютер с TFT-монитором
- Быстрый XY- прецизионный стол с высокой точностью хода и позиционирования
- Индивидуальный пробоотбор
- Стабильное гранитное основание с отличными демпфирующими свойствами
- Легкое и эффективное управление измерительным прибором посредством FRT Acquire
- Интуитивно обслуживаемое ПО с многочисленными возможностями анализа и презентации согласно DIN-ISO и SEMI стандартам
Преимущества:
- Этаблированный измерительный прибор от технологического лидера на метрологическом рынке
- Метрологический прибор для наивысших запросов в промышленности и исследованиях
- Одна измерительная система для разнообразных задач и применений
- Профессиональная гарантия качества благодаря сверхточной оптической измерительной технике
- Долговечный, надёжный и легко обслуживаемый
- Клиентоориентированная консультационная поддержка и сервис опытными специалистами
Принцип измерения
MicroProf® 200 принадлежит к FRT- семейству мультисенсорных приборов для измерения поверхностных характеристик и может гибко приспосабливаться к требованиям пользователя посредством легкой смены датчиков. Среди прочих методов, может быть применён принцип хроматического измерения расстояний. Свет высокоинтенсивного светодиода через измерительную головку с фокусным расстоянием, сильно зависящим от длины волны, фокусируется на поверхности. Спектр рассеянного поверхностью света имеет характерный пик данной длины волны, определяющий высоту элемента поверхности. На основе этого принципа измерительный прибор прекрасно работает практически на всех поверхностях любых материалов: от высокоотражающих зеркал до сильнопоглощающих пластиков и многого другого.
Технические характеристики
|
Система |
|
|
Конструктив |
портал |
|
Датчики |
мультисенсор |
|
Измерительный стол |
|
|
Область перемещения |
250 мм х 200 мм |
|
Привод |
прямой |
|
Подшипник |
крестороликовый |
|
Шаговое разрешение |
50 нм |
|
Ровность |
< 2 мкм/ 100 мм |
|
Макс. скорость |
300 мм/с |
|
Нагрузка |
5 кг |
|
Ось Z |
моторизованная |
|
Вертикальное перемещение |
50 мм (100 мм опционально) |
|
Системные требования |
|
|
Общие |
чистота, постоянная температура, отсутствие вибрации |
|
Напряжение |
110 В / 220 В переменного тока, 1 фаза |
|
Размеры (длина х ширина х высота) |
1100 мм х 820 мм х 1800 мм |
|
Вес |
ок. 500 кг |
|
Параметры (измерительная головка) |
|
|
Область измерений xy |
250 мм х 200 мм |
|
Область измерений z |
600 мкм |
|
Продольное разрешение |
2 мкм |
|
Вертикальное разрешение |
6 нм |
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)