Термо-вакуумные установки обезгаживания и заполнения чистыми газами

Термо-вакуумные установки получили широкое распространение на предприятиях, занимающихся разработкой, производством и тестированием электро-вакуумных приборов (ЭВП). Данный тип оборудования позволяет производить обезгаживание объектов при температуре до 650°С, в вакууме или в защитной атмосфере. При необходимости, системы могут быть оснащены устройством заполнения сверхчистыми газами (Ar, N², He) или насосами сверхвысоковакуумной откачки внутреннего объема ЭВП. Компания ООО «Вакуум Техно Москва», совместно с компанией Xerion (Германия), обеспечивает полный комплекс работ: по разработке, техническому сопровождению проекта и гарантийному обслуживанию.

Основные компоненты установок:

- Камера обезгаживания
- Вакуумная система
- Система нагрева и температурного регулирования
- Система управления на базе контроллеров Siemens
- Система откачки и наполнения ЭВП
- Замкнутый контур охлаждения установки (опция)
- Система принудительного охлаждения изделия (опция)
- Течеискатель, для проверки на герметичность камеры и ЭВП (опция)

- Квадрупольный масс-спектрометр для анализа газовыделений и проверки герметичности прибора (опция)

- Специальные источники питания и другие средства для тестирования работы ЭВП (опция)

Основные характеристики:

- Температура обезгаживания: до 650°С
- Вакуум в рабочей камере: до 10Е-06 мбар
- Рабочий вакуум в ЭВП: до 10Е-09 мбар
- Точка росы заполняемого газа: до -80°С (либо могут использоваться газы высокой чистоты и сверхвысокочистые газы из баллонов)
- Возможность анализа состава газовыделений приборов

- Возможность проверки приборов на герметичность

- Возможность функционального тестирования приборов (в зависимости от типов приборов)

Каталог термического оборудования XERION (Германия)