Угловые клапаны мягкой откачки XLD (V), XMD
Компания Vacuum Techno предлагает к поставке высоковакуумные угловые клапаны производства SMC (Япония). Благодаря регулярным поставкам клапаны поддерживаются в наличии на складе в Москве.
Предназначены для герметичного перекрытия вакуумных магистралей и ступенчатого управления проводимостью.
Особенности и достоинства:
- Реализуют смену двухступенчатого открытия (с регулировкой Ду малого сечения)
- Корпус из алюминия (XLD) или нержавеющей стали (XMD)
- Унифицированные присоединительные размеры ISO KF(NW), K(DN), CF от 25 до 160 мм
- Упрощают схему вакуумной магистрали из-за отказа от байпасного канала
- Снижают нагрузку на насос и риск попадания масла в объем в момент начала откачки
- Препятствуют образованию конденсата при быстрой откачке
- Снижают риск появления возмущений в камере и повышают чистоту процесса
- Ресурс более 2 млн. циклов (материал уплотнения FKM)
Технические характеристики
|
Модель |
Корпус из алюминия |
XLD(V)-25 |
XLD(V)-40 |
XLD(V)-50 |
XLD(V)-63 |
XLD(V)-80 |
XLD(V)-100 |
XLD(V)-160 |
|
Корпус из нержавеющей стали |
XMD-25 |
XMD-40 |
XMD-50 |
XMD-63 |
XMD-80 |
- |
- |
|
|
Тип клапана |
Нормально закрытый |
|||||||
|
Рабочая среда |
Вакуум; газы, совместимые с алюм. сплавом (A6063), с нерж. сталью SUS304/316L и материалом уплотнений |
|
||||||
|
Рабочая температура, 0С |
5-60 (выскотемпературное исполнение: 5-150) |
|
||||||
|
Рабочее давление, Па |
XLD(V) |
От атмосферного до 1х10-5 |
||||||
|
XMD |
От атмосферного до 1х10-6 |
|||||||
|
Проводимость в молекулярном режиме, л/с1 |
Главный клапан |
14 |
45 |
80 |
160 |
200 |
300 |
800 |
|
Клапан предварительной откачки |
0,5-3 |
2-8 |
2,5-11 |
4-18 |
6,5-31,5 |
|||
|
Натекание, Па∙м3/с |
внутреннее |
1,3х10-10 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости) |
||||||
|
Наружное |
1,3х10-11 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости) |
|||||||
|
Стандарт фланца |
XLD(V) |
KF(NW) |
KF(NW), K(DN) |
|||||
|
XMD |
KF(NW) |
KF(NW), CF |
KF(NW) |
KF(NW), K(DN), CF |
KF(NW), K(DN) |
- |
- |
|
|
Материалы |
Корпус XLD(V) – алюминиевый сплав, XMD – SCS13 (аналог SUS304), бесшовный сильфон – нерж. сталь SUS316L, уплотнения – FKM (стандарт). |
|||||||
|
Обработка поверхностей |
Внешних – твердое анодирование, внутренних – без покрытия |
|||||||
|
Управляющее давление, МПа |
0,4-0,7 |
|||||||
|
Присоединение управляющего воздуха |
XLD, XMD |
M5 |
Rc 1/8 |
|||||
|
XLDV |
M5 (порты P, R) |
|
||||||
|
Вес, кг2 |
XLD |
0,5 |
1,2 |
1,8 |
3,4 |
5,6 |
11,5 |
20 |
|
XLDV |
0,57 |
1,3 |
1,9 |
3,5 |
5,7 |
11,6 |
20,1 |
|
|
|
XMD |
0,65 |
1,5 (1,86) |
2,2 |
4,1 (5,46) |
6,8 |
- |
- |
1. Проводимость соответствует проводимости колена аналогичного сечения
2. Вес в скобках для клапана с фланцем CF