Высоковакуумный щелевой затвор с пневматическим приводом XGT
Предназначен для взаимной изоляции вакуумных объемов в транспортных системах со шлюзовой или кластерной камерами
- Идеально подходит для работы с плоскими образцами (пластинами) диаметром до 300 мм - Благодаря прямоугольной форме она имеет компактные габариты. В комбинации с вакуумным манипулятором CYV или роботом позволяет создавать оптимальные транспортно-загрузочные системы
- L-образная траектория открытия затвора предотвращает износ уплотнений и загрязнение вакуумных объемов
- Сильфонный узел защищен от повреждения из-за попадания посторонних предметов (частиц пластин и т.п.)
- Блокировка от аварийного падения давления управления или несанкционированного срабатывания
- Стандартные габаритные и присоединительные размеры по SEMI MESC*(32х222, 46х236, 50х336 мм), специальные исполнения – по запросу
- Бесконтактный опрос положения (герконовые датчики положения D-A93)
- Ресурс более 2 млн. циклов
- Кассетный и открытый типы
- По запросу: высокотемпературные исполнения, исполнения с подогревом корпуса, со сменным сильфоном, с анодированием поверхностей, контактирующих со средой, исполнения из нерж. стали
Технические характеристики
|
Номер для заказа |
XGT22*-32222 |
XGT22*-46236 |
XGT31*-50336 |
|
|
Типоразмер, мм |
200 |
300 |
||
|
Размеры окна (ВхШ), мм |
32х222 |
46х236 |
50х336 |
|
|
Количество направляющих |
2 |
1 |
||
|
Рабочее давление (Па, абс) |
От 100 до 10-6 |
|||
|
Перепад давлений на затворе (кПа) |
Не более 4 |
|||
|
Давление управления пневопривода (МПа) |
0,45-0,6 |
|||
|
Внутреннее натекание (Па∙м3/с) |
уплот. кольцо FKM |
6,5х10-10 |
||
|
Уплот. Кольцо: Kalrez® |
6,5х10-9 |
|||
|
Внутреннее натекание (Па∙м3/с) при обратном давлении ≤0,1 Мпа (абс) без учета газопроницаемости |
уплот. кольцо FKM |
6,5х10-8 |
||
|
Уплот. Кольцо: Kalrez® |
6,5х10-7 |
|||
|
Внешнее натекание, Па∙м3/с |
6,5х10-11 |
|||
|
Рабочая температура, °С1 |
Затвор |
5-150 |
||
|
Привод |
5-60 |
|||
|
Рабочая среда |
Инертные газы |
|||
|
Время цикла откр/закр, сек |
0,6-1 |
|||
|
Материалы |
Уплотнение: FKM, Kalrez®4079 (опция); сильфон: AM350; Затвор: Ф6063; Корпус, крышка: А5052; Прочее: нерж. сталь SUS304 |
|||
|
Направление откачки |
любое |
|||
|
Монтажное положение |
Любое |
|||
|
Размер порта пневмопривода |
M5 |
Rc1/8 |
||
|
Блокировки |
Блокировка затвора в открытом /закрытом положениях3 |
|||
|
Расход сжатого воздуха на цикл (л) |
|
|
|
|
|
Вес (кг) |
Бескорпусного типа |
8 |
14 |
|
|
Корпусного типа |
12 |
20 |
||
|
Корпусного типа: Half MESC |
- |
12 |
- |
|
|
Корпусного типа: Full MESC |
- |
11 |
- |
|
1.Если температура на затворе выше 60◦С (в случае прогрева и т.п.), рабочая температура на пневмоприводе может превысить указанный диапазон. В этом случае необходимо принять меры по охлаждению пневмопривода.
2. Промежуток времени с момента срабатывания пневмораспределителя до открытия/закрытия затвора.
3. Герметичность по затвору может быть потеряна.