Угловые клапаны с электромагнитным управлением и корпусом из алюминия XLD(V), XMD
Компания Vacuum Techno предлагает к поставке электромагнитные угловые клапаны производства SMC (Япония). Благодаря регулярным поставкам клапаны поддерживаются в наличии на складе в Москве.
Угловые клапаны с электромагнитным управлением и корпусом из алюминия XLD(V), XMD предназначены для герметичного перекрытия вакуумных магистралей и ступенчатого управления проводимостью.
Преимущества клапанов
- Реализуют смену двухступенчатого открытия (с регулировкой Ду малого сечения)
- Корпус из алюминия (XLD) или нержавеющей стали (XMD)
- Унифицированные присоединительные размеры ISO KF(NW) и K(DN) от 16 до 160 мм
- Упрощают схему вакуумной магистрали из-за отказа от байпасного канала
- Снижают нагрузку на насос и риск попадания масла в объем в момент начала откачки
- Препятствуют образованию конденсата при быстрой откачке
- Снижают риск появления возмущений в камере и повышают чистоту процесса
- Ресурс более 2 млн. циклов (материал уплотнений FKM)
Технические характеристики
|
Модель |
Корпус из алюминия |
XLD(V)-25 |
XLD(V)-40 |
XLD(V)-50 |
XLD(V)-63 |
XLD(V)-80 |
XLD(V)-100 |
XLD(V)-160 |
|
Корпус из нержавеющей стали |
XMD-25 |
XMD-40 |
XMD-50 |
XMD-63 |
XMD-80 |
- |
- |
|
|
Тип клапана |
Н.З. |
|||||||
|
Рабочая среда |
Вакуум, газы, совместимые с алюм. Сплавом (A6063), нерж. Сталью SUS304/316 и материалом уплотнений |
|||||||
|
Рабочая температура |
XLD, XMD |
5 ~ 60 (высокотемпературное исполнение: 5~150) |
||||||
|
XLDV |
5~50 |
|||||||
|
Рабочее давление (Па) |
XLD(V) |
От атмосферного до 1х10-5 |
||||||
|
XMD |
От атмосферного до 1х10-6 |
|||||||
|
Проводимость в молекулярном режиме (л/с)(1) |
Главный клапан |
14 |
45 |
80 |
160 |
200 |
300 |
800 |
|
Клапан предварительной откачки |
0,5-3 |
2-8 |
2,5-11 |
4-18 |
6,5-31,5 |
|||
|
Натекание Па.м3/с |
Внутр. |
1,3х10-10 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости) |
||||||
|
Наруж. |
1,3х10-11 при температуре окружающей среды (без учета газопроницаемости) |
|||||||
|
Стандарт фланца |
XLD(V) |
KF(NW) |
KF(NW), K(DN) |
|||||
|
XMD |
KF(NW) |
KF(NW), CF |
KF(NW) |
KF(NW), K(DN), CF |
KF(NW), K(DN) |
- |
- |
|
|
Материалы |
Корпус – алюминиевый сплав, бесшовный сильфон – нерж. Сталь SUS316L, уплотнения – FKM(стандарт) |
|||||||
|
Обработка поверхностей |
Внешних: анодирование, внутренних: без покрытия (стандарт). |
|||||||
|
Управляющее давление (Мпа) |
0,4-0,7 |
|||||||
|
Присоединение управляющего воздуха |
XLD,XMD |
M5 |
Rc 1/8 |
|||||
|
XLDV |
M5 (порты P,R) |
|||||||
|
Вес (кг) |
XLD |
0,5 |
1,2 |
1,8 |
3,4 |
5,6 |
11,5 |
20 |
|
XLDV |
0,57 |
1,3 |
1,9 |
3,5 |
5,7 |
11,6 |
20,1 |
|
|
|
XMD |
0,65 |
1,5 (1,86) |
2,2 |
4,1 (5,46) |
6,8 |
|
|
1. Проводимость эквивалентна колену аналогичного сечения
2. При температуре окр. среды (без учета газопроницаемости) и стандартном уплотнении FKM