Вакуумметры стандартные Пирани PSG500, PSG502-S, PSG510-S и PSG512-S
В стандартных вакуумметрах Пирани PSG500, PSG502-S, PSG510-S и PSG512-S компании INFICON используется наиболее совершенная цифровая технология датчика Пирани из предлагаемых на рынке. Прочная ячейка датчика из нержавеющей стали и компактная конструкция делают этот вакуумметр пригодным для использования в системах производства полупроводников и стандартных приложениях, например в форвакуумных линиях.
Преимущества вакуумметров Пирани
- Легкая настройка уровней атмосферного давления и высокого вакуума нажатием кнопки
- Надёжная компактная конструкция
- Алюминиевый корпус
- Установка в любом положении
- Измерительная ячейка полностью из нержавеющей стали
- Выходной логарифмический сигнал для облегчения интеграции
- Модель с резьбовым соединением допускает избыточное давление 10 бар (абс.)
- Возможно исполнение допускающее прогрев до 250°C
- Возможно исполнение с катодом из никеля для приложений с агрессивной технологической средой
- Керамический вакуумный ввод для приложений с очень агрессивной технологической средой (PSG510 и PSG512)
- Исполнение с функцией задания уставок по запросу
- Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке
Области применения стандартных вакуумметров Пирани
- Управление высоковакуумными ионизационными вакуумметрами
- Мониторинг давления в форвакуумной линии
- Контуры обеспечения безопасности в вакуумных системах
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до высокого вакуума
Информация для заказа
|
Тип Уставки Катод |
PSG500 Нет вольфрам |
PSG500-S Две уставки вольфрам |
PSG502-S Две уставки никель |
PSG510-S Две уставки вольфрам |
PSG512-S Две уставки никель |
|
DN 16 ISO-KF |
350-060 |
350-080 |
350-140 |
350-200 |
350-300 |
|
DN 16 CF-R |
350-062 |
350-082 |
350-142 |
|
|
|
1/8” NPT |
350-061 |
350-081 |
350-141 |
|
|
|
8 VCR® |
350-064 |
350-084 |
350-144 |
|
|
|
4 VCR® |
350-065 |
350-085 |
350-145 |
|
|
|
патрубок 1/2" |
350-063 |
350-083 |
350-143 |
|
|
|
7/16-20 UNF |
350-066 |
350-086 |
350-146 |
|
|
|
DN 16 ISO-KF длинная трубка |
350-067 |
350-087 |
350-147 |
|
|
|
DN 16 CF-R Длинная трубка |
350-068 |
350-088 |
350-148 |
|
|
|
Сменный датчик Катод |
вольфрам |
никель |
вольфрам |
никель |
|
|
DN 16 ISO-KF |
350-920 |
350-900 |
350-930 |
350-940 |
|
|
DN 16 CF-R |
350-922 |
350-902 |
|
|
|
|
1/8” NPT |
350-921 |
350-901 |
|
|
|
|
8 VCR® |
350-924 |
350-904 |
|
|
|
|
4 VCR® |
350-926 |
350-906 |
|
|
|
|
патрубок 1/2" |
350-923 |
350-903 |
|
|
|
|
7/16-20 UNF |
350-925 |
350-905 |
|
|
|
|
DN 16 ISO-KF длинная трубка |
350-927 |
350-907 |
|
|
|
|
DN 16 CF-R Длинная трубка |
350-928 |
350-908 |
|
|
|
Технические характеристики SG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
|
Тип Катод |
PSG500 вольфрам |
PSG500-S вольфрам |
PSG502-S никель |
PSG510-S вольфрам |
PSG512-S никель |
|
Принцип измерения |
теплопроводность согласно Пирани |
||||
|
Диапазон измерения (воздух, O2, CO, N2), мбар |
5 x 10-4 до 1000 |
||||
|
Точность (N2) |
|||||
|
1 x 10-3 … 100 мбар, % от показания |
±15% |
||||
|
5 x 10-4 … 1 x 10-3 мбар, % от показания |
±50% |
||||
|
100 … 1000 мбар, % от показания |
±50% |
||||
|
Повторяемость (воздух) 1 x 10-3 … 100 мбар, % от показания |
2% |
||||
|
Выходной сигнал (результат измерения) |
|||||
|
Диапазон напряжения, В |
0 … +10.3 |
||||
|
Диапазон измерения, В |
+1.9 … +10.0 |
||||
|
Зависимость напряжения от давления |
логарифмический 1,286 В/декаду |
||||
|
Сигнал ошибки, В |
0 … +0.5 (разрушение катода) |
||||
|
Выходное полное сопротивление, Ом |
2 x 4.7 |
||||
|
Мин. полное входное сопротивление при нормальной нагрузке, кОм |
10, защита от короткого замыкания |
||||
|
Время отклика, мс |
80 |
||||
|
Идентификация вакуумметра, кОм |
27,0; по отношению к общему выводу источника питания |
||||
|
Настройка |
одна кнопка для настройки уровней атмосферного давления и высокого вакуума |
||||
|
Уставка |
нет |
2 |
|||
|
Диапазон настройки, мбар |
нет |
2 x 10-3 … 500 |
|||
|
Гистерезис, % от показания |
нет |
10% выше нижнего порогового значения |
|||
|
Контакт реле, В/А, пост. ток |
нет |
30 / 0,5 плавающий |
|||
|
Длительность переключения, мс |
нет |
<20 |
|||
|
Напряжение питания |
|||||
|
Вакуумметр, В, пост. ток |
+14 … +30 |
||||
|
Пульсации, Vpp |
≤1 |
||||
|
Потребляемый ток, мА |
<500 (макс. ток при включении) |
||||
|
Потребляемая мощность, Вт |
≤1 |
||||
|
Электрическое подключение |
эл. соединитель FCC 68 / RJ45, 8-контактный, вилка |
||||
|
Кабель датчика |
экранированный 8-жильный |
||||
|
Длина кабеля, м |
≤100 (8 x 0.14 mm2) |
||||
|
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
Стекло, Ni, NiFe DIN 1.4301/1.4305/1.4435 |
Al2O3, Ni, DIN 1.3981/1.4305/1.4435 |
|||
|
Катод |
вольфрам |
вольфрам |
никель |
вольфрам |
никель |
|
Внутренний объём |
|||||
|
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF, см3 (дюйм3) |
1.5 (0.092) |
||||
|
DN 16 ISO-KF & DN 16 CF-R длинная трубка, см3 (дюйм3) |
10 (0.61) |
||||
|
1/8” NPT, 4 VCR, 8 VCR, патрубок 1/2", см3 (дюйм3) |
2 (0.122) |
||||
|
Допустимое давление, бар (абс.) |
10, в среде инертных газов |
||||
|
Допустимая температура |
|||||
|
Эксплуатация, °C |
+5 … +60 |
||||
|
Соединение с вакуумной системой(1), °C |
80 / 250 (2) |
||||
|
Хранение, °C |
-20 … +65 |
||||
|
Положение установки |
любое |
||||
|
Степень защиты |
IP40 |
||||
|
Вес, г |
|||||
|
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF |
80 |
||||
|
DN 16 CF-R, 4 VCR |
100 |
||||
|
1/8” NPT, патрубок 1/2" |
70 |
||||
|
8 VCR, DN 16 ISO-KF длинная трубка |
130 |
||||
|
DN 16 CF-R длинная трубка |
140 |
||||
1) при установке в горизонтальном положении
2) длинная трубка