Мембранно-ёмкостные вакуумметры CDG160D, CDG200D
Стойкие к тепловому воздействию манометры SKY CDG160D и CDG200D компании INFICON являются наилучшим выбором для контроля и точного измерения полного давления. В вакуумметрах CDG160D и CDG200D предусмотрен контроль температуры при нагреве до 160°C и 200°C соответственно для обеспечения превосходных эксплуатационных характеристик в требовательных техпроцессах производства полупроводников и плазменных процессах. Эти вакуумметры изготавливаются в исполнениях с пределом показаний от 1 торр до 1000 торр, с фланцами наиболее широко используемых типов и распространёнными интерфейсами промышленной сети, и формируют линейный сигнал давления 0-10 В, не зависящий от типа газа. В мембранно-ёмкостных манометрах компании INFICON используется коррозионностойкая мембрана из сверхчистой корундовой керамики. Преимуществами керамического датчика являются более высокая стабильность сигнала, более быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха, быстрый нагрев и очень продолжительный срок службы. Высококачественные высокорентабельные вакуумметры CDG компании INFICON для требовательных техпроцессов производства полупроводников, плазменных процессов и других вакуумных приложений.
Преимущества манометров SKY CDG160D и CDG200D
- Новый датчик 200°C
- Более низкая стоимость владения, нагрев в 2 раза быстрее, низкая потребляемая мощность
- Легкая интеграция, широкий выбор предела показаний, фланцев и интерфейсов, в стандартном исполнении предусмотрена возможность задания 2 уставок
- Лёгкая установка нуля нажатием одной кнопки или удалённой командой, настраиваемое смещение нуля
- Электрический соединитель для диагностики и быстрого техобслуживания
- Гарантия 2 года, более продолжительный срок службы, благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите вакуумметра
- Нет необходимости в повторной калибровке в долгосрочной перспективе, благодаря превосходной стабильности сигнала и повторяемости показаний даже в жёстких условиях приложений с плазменным процессом
- Соответствие требованиям и стандартам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке
Области применения мембранно-ёмкостных манометров
- Техпроцессы производства полупроводников: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, химическое осаждение из паровой [газовой] фазы при пониженном давлении и др.
- Химические и коррозионные высокотемпературные техпроцессы
- Установки для осаждения тонких плёнок и вакуумные техпроцессы, требующие контроля вакуума
Информация для заказа
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.
3 |
C |
a |
1 |
- |
b |
c |
d |
- |
2 |
3 |
e |
f |
a |
Температура датчика, 0C |
E - 160 F - 200 |
b |
Предел показаний (F.S.) |
3 - 0.1 4 - 0.25 5 - 0.5 6 - 1 7 - 2 8 - 5 9 - 10 A - 20 B - 50 C - 100 D - 200 E - 500 F - (только Торр) 1000 G - (только мбар) 1100 |
c |
Единица измерения |
5 - Торр (× 1.33 мбар; × 133 Pa) 6 - мбар (× 100 Pa) |
d |
Фланец |
1 - DN 16 ISO-KF 3 - DN 16 CF-R 9 - Патрубок нар. диам. 1/2" E - 8 VCR с внутренней резьбой |
f |
Интерфейс промышленной сети |
0 - Нет 1 - DeviceNet 2 - Profibus |
e |
Исполнение |
0 - Стандартное исполнение B - Контроль давления(1) |
1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления
Жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства
По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.)
Технические характеристики
Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1) |
Торр, Па, Мбар |
1000 133,322 1333 |
100 13,332 133 |
10 1,333 13,3 |
1 133 1,3 |
Точность |
% от показания |
0,4 |
|||
Тепловой эффект Нуль
|
% F.S./°C |
0,005 |
|||
Тепловой эффект Диапазон |
% от показания/°C |
0,02 |
|||
Давление, макс. |
кПа (абс.) |
400 |
260 |
260 |
260 |
Разрешающая способность |
% F.S. |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
Время отклика(2) |
мс |
30 |
30 |
30 |
30 |
Наименьшее показание |
% F.S. |
0,01 |
|||
Наименьшее рекомендуемое показание |
% F.S. |
0,05 |
|||
Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление |
% F.S. |
0,5 |
|||
Температура Эксплуатация (окружающая среда) Прогрев (фланец) Хранение |
°C |
+10 ... +50 ≤200 –40 ... +65 |
|||
Напряжение питания |
+21 ... +30 В, пост. Ток или ±15 В (±5%) |
||||
Потребляемая мощность во время нагрева CDG160D CDG200D |
Вт |
≤18 ≤25 |
|||
Потребляемая мощность при рабочей температуре CDG160D CDG200D |
Вт |
≤12 ≤18 |
|||
Выходной сигнал (аналоговый) |
В, пост. ток |
0 ... +10 |
|||
Уставка Контакт реле Гистерезис |
В/А, пост. Ток % F.S. |
2 уставки (SP1, SP2) ≤30 / ≤0.5 1 |
|||
Степень защиты |
IP 40 |
||||
Стандарты |
EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, SEMI S-2 |
||||
Электрическое подключение |
D-sub, 15-контактный, вилка |
||||
Электрический соединитель для диагностики |
|||||
Протокол |
RS232-C |
||||
Считывание |
давление, состояние, ИД |
||||
Задание |
уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей |
||||
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L)(3) |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)
Диапазон измерения F.S. (предел показаний) |
торр Па мбар |
500 66,661 666,61 |
200 26,664 267 |
50 6,666.1 66,67 |
20 2,666 26,7 |
5 666.61 6,6661 |
2 266.66 2,67 |
||
Точность(1) |
% от показания |
0,4 |
0,4 |
0,4 |
0,4 |
0,4 |
0,4 |
||
Тепловой эффект, Нуль
|
% F.S./°C |
0,005 |
|||||||
Тепловой эффект, Диапазон |
% от показания/°C |
0,02 |
|||||||
Давление, макс. |
кПа (абс.) |
400 |
260 |
260 |
260 |
260 |
260 |
||
Разрешающая способность
|
% F.S. |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
Другие характеристики см. в таблице выше
Технические характеристики (приборы с отображением показаний в мбар)
Диапазон измерения F.S. (предел показаний) |
Мбар Па |
1100 110,000 |
100 10,000 |
10 1,000 |
1 100 |
Точность(1) |
% от показания |
0,5 |
|||
Тепловой эффект, Нуль |
% F.S./°C |
0,005 |
|||
Тепловой эффект, Диапазон |
% от показания/°C |
0,02 |
|||
Давление, макс. |
кПа (абс.) |
400 |
260 |
260 |
260 |
Разрешающая способность |
% F.S. |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
Другие характеристики см. в таблице «Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)»
Технические характеристики (DeviceNet™)
|
CDG100D DeviceNet™ |
Протокол |
DeviceNet™, группирование только 2 ведомых |
Скорость передачи данных, Кбод |
125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу |
Длина кабеля 125 Кбит/с, м (фут) 250 Кбит/с, м (фут) 500 Кбит/с, м (фут) |
500 (1650) 250 (825) 100 (330) |
MAC-адрес |
адрес 00-63, выбор переключателем или по сети, используя программу |
Цифровые функции: считывание |
давление, состояние, ИД |
Цифровые функции: задание |
уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей |
Спецификация |
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) (Профиль вакуумметра) |
Тип прибора |
вакуумметр "VG" |
Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод) |
только последовательный опрос |
Напряжение питания для вакуумметра через эл. соединитель D-sub |
+14 … +30 В, пост. ток или ±15 В/ ?12 Вт |
Напряжение питания для приёмопередатчика DeviceNet через эл. соединитель microstyle |
24 В, ном./ <2 Вт (11 … 25 В) |
Электрический соединитель для DeviceNet™ |
microstyle, 5-контактный, вилка |
Электрический соединитель для CDG (аналоговый вывод, напряжение питания CDG, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Технические характеристики (Profibus DP)
|
CDG160D, CDG200D Profibus DP |
Скорости передачи Кбод Мбод |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 |
Адрес |
адрес 00-125, выбор переключателем или по сети, используя программу |
Цифровые функции: считывание
|
давление, состояние, ИД |
Цифровые функции: задание |
уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей |
Электрический соединитель для Profibus DP |
D-sub, 9-контактный, розетка |
Электрический соединитель для CDG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |