Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY CDG045D

Манометры SKY CDG045D компании INFICON являются наилучшим выбором для контроля и высокоточного измерения полного давления. В вакуумметрах CDG045D предусмотрен контроль температуры при нагреве до 45°C для обеспечения превосходной стабильности сигнала и повторяемости показаний. Эти вакуумметры изготавливаются в исполнениях с пределом показаний от 100 миллиторр до 1000 торр, с фланцами наиболее широко используемых типов и распространёнными интерфейсами промышленной сети, и формируют линейный сигнал давления 0-10 В, не зависящий от типа газа. В мембранно-ёмкостных манометрах компании INFICON используется коррозионностойкая мембрана из сверхчистой корундовой керамики. Преимуществами керамического датчика являются более высокая стабильность сигнала, более быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха, быстрый нагрев и очень продолжительный срок службы. Высококачественные высокорентабельные вакуумметры CDG компании INFICON для требовательных вакуумных приложений.

Преимущества манометра CDG045D

- Более низкая стоимость владения, нагрев в 2 раза быстрее, низкая потребляемая мощность
- Легкая интеграция, широкий выбор предела показаний, фланцев и интерфейсов, в стандартном исполнении предусмотрена возможность задания 2 уставок
- Лёгкая установка нуля нажатием одной кнопки или удалённой командой, настраиваемое смещение нуля
- Электрический соединитель для диагностики и быстрого техобслуживания
- Гарантия 2 года, более продолжительный срок службы, благодаря усовершенствованной концепции нагрева и защите вакуумметра
- Нет необходимости в повторной калибровке в долгосрочной перспективе, благодаря превосходной стабильности сигнала и повторяемости показаний даже в жёстких условиях приложений с плазменным процессом
- Соответствие требованиям и стандартам: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке

Области применения

- Техпроцессы производства полупроводников: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы
- Химические и коррозионные техпроцессы в вакууме
- Установки для осаждения тонких плёнок и вакуумные техпроцессы
- Эталонный датчик для мониторинга контрольно-измерительных приборов в соответствии с международными стандартами
- Эталон сравнения для единообразия измерений

Информация для заказа

Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.

a	Предел показаний (F.S.)	3 - 0.1 4 - 0.25 5 - 0.5 6 - 1 7 - 2 8 - 5 9 - 10 A - 20 B - 50 C - 100 D - 200 E - 500 F - (только Торр) 1000 G - (только мбар) 1100
b	Единица измерения	5 - Торр (× 1.33 мбар; × 133 Pa) 6 - мбар (× 100 Pa)
c	Фланец	1 - DN 16 ISO-KF 3 - DN 16 CF-R 9 - Патрубок нар. диам. 1/2" E - 8 VCR с внутренней резьбой
d	Интерфейс промышленной сети	0 - Нет 1 - DeviceNet 2 - Profibus
d	Интерфейс промышленной сети	0 - Нет 1 - DeviceNet 2 - Profibus
e	Исполнение	0 - Стандартное исполнение B - Контроль давления(1)

1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления
Жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства
По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.)

Технические характеристики

Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1)	Торр, Па, Мбар	1000 133,322 1333	100 13,332 133	10 1,333 13,3	1 133 1,3	0,1 13 0.13
Точность	% от показания	0,15
Тепловой эффект Нуль	% F.S./°C	0,0025				0,005
Тепловой эффект Диапазон	% от показания/°C	0,01
Давление, макс.	кПа (абс.)	400	260	260	260	130
Разрешающая способность	% F.S.	0,003	0,003	0,003	0,003	0,003
Время отклика(2)	мс	30	30	30	30	130/30(3)
Наименьшее показание	% F.S.	0,01
Наименьшее рекомендуемое показание	% F.S.	0,05
Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление	% F.S.	0,5
Температура Эксплуатация (окружающая среда) Прогрев (фланец) Хранение	°C	+10 ... +40 ≤110 –40 ... +65
Напряжение питания	14 ... 30 В, пост. Ток или ±15 В (±5%)
Потребляемая мощность Во время нагрева При рабочей температуре	Вт	≤12 ≤8
Выходной сигнал (аналоговый)	В, пост. ток	0 ... +10
Уставка Контакт реле Гистерезис	В/А, пост. Ток % F.S.	2 уставки (SP1, SP2) ≤30 / ≤0.5 1
Степень защиты	IP 40
Стандарты	EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, SEMI S-2
Электрическое подключение	D-sub, 15-контактный, вилка
Электрический соединитель для диагностики
Протокол	RS232-C
Считывание	давление, состояние, ИД
Задание	уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума	Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L4))

Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)

Диапазон измерения F.S. (предел показаний)	торр Па мбар	500 66,661 666,61	200 26,664 267	50 6,666.1 66,67	20 2,666 26,7	5 666.61 6,6661	2 266.66 2,67	0.5 66.66 0,67	0.25 33,3 0,33
Точность(1)	% от показания
Тепловой эффект, Нуль	% F.S./°C	0,0025							0,005
Тепловой эффект, Диапазон	% от показания/°C	0,01
Давление, макс.	кПа (абс.)	400	260	260	260	260	260	260	130
Время отклика	мс	30	30	30	30	30	30	30	130

1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
Другие характеристики см. в таблице выше

Технические характеристики (приборы с отображением показаний в мбар)

Диапазон измерения F.S. (предел показаний)	Мбар Па	1100 110,000	100 10,000	10 1,000	1 100	0,1 10
Точность(1)	% от показания	0,15
Тепловой эффект, Нуль	% F.S./°C	0,0025				0,005
Тепловой эффект, Диапазон	% от показания/°C	0,01
Давление, макс.	кПа (абс.)	400	260	260	260	130
Время отклика(2)	мс	30	30	30	30	130/30(3)

1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25 °C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
Другие характеристики см. в таблицах «Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)» и «Технические характеристики (другие приборы с отображением показаний в торрах)»

Технические характеристики (DeviceNet™)

	CDG045D DeviceNet™
Протокол
Скорость передачи данных
Длина кабеля 125 Кбит/с, м (фут) 250 Кбит/с, м (фут) 500 Кбит/с, м (фут)	500 (1650) 250 (825) 100 (330)
MAC-адрес	адрес 00-63, выбор переключателем или по сети, используя программу
Цифровые функции: считывание	давление, состояние, ИД
Цифровые функции: задание	уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей
Спецификация	DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) (Профиль вакуумметра)
Тип прибора	вакуумметр "VG"
Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод)	только последовательный опрос
Напряжение питания для вакуумметра через эл. соединитель D-sub	+14 … +30 В, пост. ток или ±15 В/ !12 Вт
Напряжение питания для приёмопередатчика DeviceNet через эл. соединитель microstyle	24 В, ном./ <2 Вт (11 … 25 В)
Электрический соединитель для DeviceNet™	microstyle, 5-контактный, вилка
Электрический соединитель для CDG (аналоговый вывод, напряжение питания CDG, уставки)	D-sub, 15-контактный, вилка
Скорости передачи Кбод Мбод	9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12
Адрес	адрес 00-125, выбор переключателем или по сети, используя программу
Цифровые функции: считывание	давление, состояние, ИД
Цифровые функции: задание	уставки, фильтр, настройка нуля, возврат заводских настроек, смещение постоянной составляющей