Мембранно-ёмкостные вакуумметры SKY CDG025D, CDG025D-S
Мембранно-ёмкостные вакуумметры модельного ряда SKY CDG025D компании INFICON являются высокоточными манометрами с компенсацией температурных воздействий и сконструированы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования. Усовершенствованная цифровая электроника улучшает эксплуатационные характеристики вакуумметра и упрощает управление им, например путем задания уставки и установки нуля нажатием одной кнопки. Конструкция датчика из коррозионностойкой сверхчистой керамики обеспечивает превосходную стабильность нуля на протяжении длительного срока службы – не менее 7 миллионов циклов изменения давления, допуская даже прорыв атмосферного воздуха. Уникальное экранирование датчика (подана заявка на патент) защищает вакуумметр от загрязнения технологической средой. Надёжная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают электромагнитную совместимость, долговременную стабильность и компенсацию температурных воздействий. Модель CDG025D задаёт новые стандарты быстроты для установления стабильного режима после подачи питания и восстановления после прорыва атмосферного воздуха.
Преимущества вакуумметров CDG025D, CDG025D-S
- Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр
- Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания
- Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха
- Коррозионностойкий керамический датчик
- Превосходная долговременная стабильность сигнала
- Компенсация температурных воздействий
- Датчик защищён от загрязнения
- Установка нуля нажатием одной кнопки
- Широкий диапазон источников питания
- 2 уставки (по заказу)
- Интерфейс RS232 (по заказу)
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке
Области применения вакуумметров CDG025D, CDG025D-S
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов
- Промышленное вакуумное оборудование
- Высокоточное измерение давления
Информация для заказа CDG025D с компенсацией температурных воздействий
|
Торр |
Па |
Мбар |
патрубок 1/2" |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 CF-R |
8 VCR® |
|
1000 |
133,322 |
1333 |
375-000 |
375-001 |
375-002 |
375-003 |
|
100 |
13, 332 |
133 |
376-000 |
376-001 |
376-002 |
376-003 |
|
10 |
1,333 |
13,3 |
377-000 |
377-001 |
377-002 |
377-003 |
|
1 |
100 |
1 |
378-000 |
378-001 |
378-002 |
378-003 |
Информация для заказа CDG025D, 2 уставки, интерфейс RS232, компенсация температурных воздействий
|
Торр |
Па |
Мбар |
патрубок 1/2" |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 CF-R |
8 VCR® |
|
1000 |
133,322 |
1333 |
375-300 |
375-301 |
375-302 |
375-303 |
|
- |
110,000 |
1,100 |
375-500 |
375-501 |
375-502 |
375-503 |
|
200 |
26,664 |
267 |
382-300 |
382-301 |
382-302 |
382-303 |
|
100 |
13, 332 |
133 |
376-300 |
376-301 |
376-302 |
376-303 |
|
- |
10,000 |
100 |
376-500 |
376-501 |
376-502 |
376-503 |
|
20 |
2,666 |
26,7 |
383-300 |
383-301 |
383-302 |
383-303 |
|
10 |
1,333 |
13,3 |
377-300 |
377-301 |
377-302 |
377-303 |
|
- |
133 |
1,3 |
377-500 |
377-501 |
377-502 |
377-503 |
|
1 |
100 |
1 |
378-300 |
378-301 |
378-302 |
378-303 |
|
- |
100 |
1 |
378-500 |
378-501 |
378-502 |
378-503 |
|
0,25 |
33,3 |
0,33 |
385-300 |
385-301 |
385-302 |
385-303 |
|
0,1 |
13,3 |
0,13 |
379-300 |
379-301 |
379-302 |
379-303 |
|
- |
10 |
0,1 |
379-500 |
379-501 |
379-502 |
379-503 |
Жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства
По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном
Технические характеристики CDG025D, CDG025D-S
|
Диапазон измерения F.S. (предел показаний)1 |
Торр, Па, Мбар |
1000 133,322 1333 |
100 13,332 133 |
10 1,333 13,3 |
1 133 1,3 |
0,1 13 0.13 |
|
Точность |
% от показания |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,5 |
|
Тепловой эффект Нуль Диапазон |
% F.S./°C % от показания/°C |
0,005 0,01 |
0,005 0,01 |
0,005 0,01 |
0,015 0,01 |
0,02 0,03 |
|
Разрешающая способность |
% F.S. |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
|
Давление, макс. |
кПа (абс.) |
400 |
260 |
260 |
260 |
130 |
|
Время отклика2 |
мс |
30 |
30 |
30 |
30 |
130 |
|
Наименьшее показание |
% F.S. |
0,01 |
||||
|
Наименьшее рекомендуемое показание |
% F.S. |
0,05 |
||||
|
Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление |
% F.S. |
0,5 |
||||
|
Температура Эксплуатация (окружающая среда) Прогрев (фланец)3 Хранение |
°C |
+5 ... +50 <110 –40 ... +65 |
||||
|
Напряжение питания |
В, пост. ток |
14 ... 30 |
||||
|
Потребляемая мощность |
Вт |
≤1 |
||||
|
Выходной сигнал (аналоговый) |
В, пост. ток |
0 ... +10 |
||||
|
Уставка4 Контакт реле Гистерезис |
В/А, пост. Ток % F.S. |
2 уставки (SP1, SP2) 30 / ≤0.5 1 |
||||
|
Степень защиты |
IP 30 |
|||||
|
Стандарты |
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, RoHS |
|||||
|
Электрическое подключение |
D-sub, 15-контактный, вилка |
|||||
|
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
Корундовая керамика (AI2O3), Vacon 70(5), нержавеющая сталь (AISI 316L(6)), тугоплавкий припой AgCuTi, стеклоприпой |
|||||
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 …90% F.S.
3) Не во время работы
4) только CDG025D-S
5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe