Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY® CDG025D-X3
Мембранно-ёмкостные вакуумметры модельного ряда SKY CDG025D компании INFICON являются высокоточными манометрами с компенсацией температурных воздействий и сконструированы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования. Усовершенствованная цифровая электроника улучшает эксплуатационные характеристики вакуумметра и упрощает управление им, например путем задания уставки и установки нуля нажатием одной кнопки. Конструкция датчика из коррозионностойкой сверхчистой керамики обеспечивает превосходную стабильность нуля на протяжении длительного срока службы – не менее 7 миллионов циклов изменения давления, допуская даже прорыв атмосферного воздуха. Уникальное экранирование датчика (подана заявка на патент) защищает вакуумметр от загрязнения технологической средой. Надёжная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают электромагнитную совместимость, долговременную стабильность и компенсацию температурных воздействий. Модель CDG025D задаёт новые стандарты быстроты для установления стабильного режима после подачи питания и восстановления после прорыва атмосферного воздуха.
Преимущества мембранно-ёмкостного вакуумметра
Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр
- Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания
- Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха
- Коррозионностойкий керамический датчик
- Превосходная долговременная стабильность сигнала
- Компенсация температурных воздействий
- Двойная защита датчика от загрязнения
- Установка нуля нажатием одной кнопки
- Широкий диапазон источников питания
- 2 уставки
- Интерфейс RS232
- Пригоден для эксплуатации в чистом помещении
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке
Области применения мембранно-ёмкостного вакуумметра
Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений:
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов
- Промышленное вакуумное оборудование
- Высокоточное измерение давления
Информация для заказа
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.
3 |
C |
B |
1 |
- |
a |
b |
c |
- |
2 |
3 |
0 |
d |
a |
Предел показаний (F.S.) |
3 - 0.1 4 - 0.25 5 - 0.5 6 - 1 7 - 2 8 - 5 9 - 10 A - 20 B - 50 C - 100 D - 200 E - 500 F - (только Торр) 1000 G - (только мбар) 1100 |
b |
Единица измерения |
5 - Торр (× 1.33 мбар; × 133 Pa) 6 - мбар (× 100 Pa) |
c |
Фланец |
1 - DN 16 ISO-KF 3 - DN 16 CF-R 9 - Патрубок нар. диам. 1/2" E - 8 VCR с внутренней резьбой |
d |
Исполнение |
0 - Стандартное исполнение B - Контроль давления(1) |
1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления
Жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства
По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.)
Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)
Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1) |
Торр, Па, Мбар |
1000 133,322 1333 |
100 13,332 133 |
10 1,333 13,3 |
1 133 1,3 |
0,1 13 0.13 |
Точность |
% от показания |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,2 |
0,5 |
Тепловой эффект Нуль Диапазон |
% F.S./°C % от показания/°C |
0,005 0,01 |
0,005 0,01 |
0,005 0,01 |
0,015 0,01 |
0,02 0,03 |
Разрешающая способность |
% F.S. |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
0,003 |
Давление, макс. |
кПа (абс.) |
400 |
260 |
260 |
260 |
130 |
Время отклика(2) |
мс |
30 |
30 |
30 |
30 |
130/30(3) |
Наименьшее показание |
% F.S. |
0,01 |
||||
Наименьшее рекомендуемое показание |
% F.S. |
0,05 |
||||
Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление |
% F.S. |
0,5 |
||||
Температура Эксплуатация (окружающая среда) Прогрев (фланец)3 Хранение |
°C |
+5 ... +50 <110 –40 ... +65 |
||||
Напряжение питания |
В, пост. ток |
14 ... 30 |
||||
Потребляемая мощность |
Вт |
≤1 |
||||
Выходной сигнал (аналоговый) |
В, пост. ток |
0 ... +10 |
||||
Уставка(4) Контакт реле Гистерезис |
В/А, пост. Ток % F.S. |
2 уставки (SP1, SP2) 30 / ≤0.5 1 |
||||
Степень защиты |
IP 30 |
|||||
Стандарты |
EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, RoHS |
|||||
Электрическое подключение |
D-sub, 15-контактный, вилка |
|||||
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L(5)) |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 … 90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
4) Не во время работы
5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)
Диапазон измерения F.S. (предел показаний) |
торр Па мбар |
- 110,000 1100 |
200 26,664 267 |
- 10,000 100 |
20 2,666 26,7 |
- 1,000 10 |
- 100 1 |
0,25 33,3 0,33 |
- 10 0,1 |
Точность(1) |
% от показания |
0,2 |
0,25 |
0,5 |
|||||
Тепловой эффект |
|||||||||
Нуль |
% F.S./°C |
0,005 |
0,015 |
0,2 |
0,2 |
||||
Диапазон |
% от показания/°C |
0,01 |
0,01 |
0,03 |
0,03 |
||||
Давление, макс. |
кПа (абс.) |
236 |
260 |
260 |
260 |
260 |
260 |
130 |
130 |
Разрешающая способность |
% F.S. |
0,003 |
|||||||
Время отклика(2) |
мс |
30 |
130 |
130 / 30 (3) |
1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 … 90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
Другие характеристики см. в таблице выше