Мембранно-ёмкостный вакуумметр SKY® CDG025D-X3


CDG025D_inficon.jpgМембранно-ёмкостные вакуумметры модельного ряда SKY CDG025D компании INFICON являются высокоточными манометрами с компенсацией температурных воздействий и сконструированы для стабильной работы в жестких условиях среды производственного оборудования. Усовершенствованная цифровая электроника улучшает эксплуатационные характеристики вакуумметра и упрощает управление им, например путем задания уставки и установки нуля нажатием одной кнопки. Конструкция датчика из коррозионностойкой сверхчистой керамики обеспечивает превосходную стабильность нуля на протяжении длительного срока службы – не менее 7 миллионов циклов изменения давления, допуская даже прорыв атмосферного воздуха. Уникальное экранирование датчика (подана заявка на патент) защищает вакуумметр от загрязнения технологической средой. Надёжная механическая конструкция и цифровая электроника улучшают электромагнитную совместимость, долговременную стабильность и компенсацию температурных воздействий. Модель CDG025D задаёт новые стандарты быстроты для установления стабильного режима после подачи питания и восстановления после прорыва атмосферного воздуха.


Преимущества мембранно-ёмкостного вакуумметра


Предел показаний от 100 миллиторр до 1000 торр

- Быстрое установление стабильного состояния после подачи питания
- Быстрое восстановление после прорыва атмосферного воздуха
- Коррозионностойкий керамический датчик
- Превосходная долговременная стабильность сигнала
- Компенсация температурных воздействий
- Двойная защита датчика от загрязнения
- Установка нуля нажатием одной кнопки
- Широкий диапазон источников питания
- 2 уставки
- Интерфейс RS232
- Пригоден для эксплуатации в чистом помещении


Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке


Области применения мембранно-ёмкостного вакуумметра


Точное и быстрое измерение давления для требовательных приложений:
- Оборудование для производства полупроводников, в котором используются следующие техпроцессы: травление, химическое осаждение из газовой фазы, осаждение из паровой фазы, атомно-слоевое осаждение
- Оборудование для производства устройств хранения данных и экранов
- Промышленное вакуумное оборудование
- Высокоточное измерение давления


Информация для заказа


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.


3


C


B


1


-


a


b


c


-


2


3


0


d



a

Предел показаний (F.S.)

3 - 0.1

4 - 0.25

5 - 0.5

6 - 1

7 - 2

8 - 5

9 - 10

A - 20

B - 50

C - 100

D - 200

E - 500

F - (только Торр) 1000

G - (только мбар) 1100

b

Единица измерения

5 - Торр (× 1.33 мбар; × 133 Pa)

6 - мбар (× 100 Pa)

c

Фланец

1 - DN 16 ISO-KF

3 - DN 16 CF-R

9 - Патрубок нар. диам. 1/2"

E - 8 VCR с внутренней резьбой

d

Исполнение

0 - Стандартное исполнение

B - Контроль давления(1)


1) Оптимальная настройка фильтра сигналов для контроля давления
Жирным шрифтом выделены варианты стандартного исполнения устройства
По запросу возможно изготовление с фланцем другого типа и другим измерительным диапазоном (F.S.)


Технические характеристики (приборы в стандартном исполнении с отображением показаний в торрах)


Диапазон измерения F.S. (предел показаний)(1)

Торр,

Па,

Мбар

1000

133,322

1333

100

13,332

133

10

1,333

13,3

1

133

1,3

0,1

13

0.13

Точность

% от показания

0,2

0,2

0,2

0,2

0,5

Тепловой эффект

Нуль

Диапазон

% F.S./°C

% от показания/°C

0,005

0,01

0,005

0,01

0,005

0,01

0,015

0,01

0,02

0,03

Разрешающая способность

% F.S.

0,003

0,003

0,003

0,003

0,003

Давление, макс.

кПа (абс.)

400

260

260

260

130

Время отклика(2)

мс

30

30

30

30

130/30(3)

Наименьшее показание

% F.S.

0,01

Наименьшее рекомендуемое показание

% F.S.

0,05

Наименьшее рекомендуемое контролируемое давление

% F.S.

0,5

Температура

Эксплуатация (окружающая среда)

Прогрев (фланец)3

Хранение

°C

+5 ... +50

<110

–40 ... +65

Напряжение питания

В, пост. ток

14 ... 30

Потребляемая мощность

Вт

≤1

Выходной сигнал (аналоговый)

В, пост. ток

0 ... +10

Уставка(4)

Контакт реле

Гистерезис

В/А, пост. Ток

% F.S.

2 уставки (SP1, SP2)

30 / ≤0.5

1

Степень защиты

IP 30

Стандарты

EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010, UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1, RoHS

Электрическое подключение

D-sub, 15-контактный, вилка

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

Корундовая керамика (AI2O3), нержавеющая сталь (AISI 316L(5))


1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 … 90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
4) Не во время работы
5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe


Технические характеристики (приборы с отображением показаний в торрах и другими диапазонами)


Диапазон измерения

F.S. (предел показаний)

торр

Па

мбар

-

110,000

1100

200

26,664

267

-

10,000

100

20

2,666

26,7

-

1,000

10

-

100

1

0,25

33,3

0,33

-

10

0,1

Точность(1)

% от показания

0,2

0,25

0,5

Тепловой эффект

Нуль

% F.S./°C

0,005

0,015

0,2

0,2

Диапазон

% от показания/°C

0,01

0,01

0,03

0,03

Давление, макс.

кПа (абс.)

236

260

260

260

260

260

130

130

Разрешающая способность

% F.S.

0,003

Время отклика(2)

мс

30

130

130 / 30 (3)


1) Нелинейность с гистерезисом, повторяемость при рабочей температуре окружающей среды 25°C без тепловых эффектов через 2 ч эксплуатации
2) Увеличение 10 … 90% F.S.
3) Только для типа «контроль давления»
Другие характеристики см. в таблице выше