Электронный ионизационный вакуумметр MP3DR
Диапазон измерений: 10-2 - 10-10 Торр
Конструкция датчика: миниатюрный датчик полностью состоит из металлических компонентов, в основном это нержавеющая сталь 304. Две нити накаливания имеют напыление иридия и индивидуальную поддержку для обеспечения однородного выхода и низкой погрешности в условиях перепада температур. Нити, покрытые иридием способны противостоять резкому перепаду давлений и имеют высокую устойчивостью к сбоям, невозможную при другом материале исполнения. При нормальном режиме работы срок службы нити около 10 000 часов. Точный ионный коллектор имеет диметр 0,1 мм, что уменьшает рентгеновское излучение датчика.
Диапазон измерений: MP3DR может быть использован для измерения давлений от 1х10-2 до 1х10-10 Торр.
Регулирование уровня эмиссии: пользователь MP3DR может самостоятельно выбирать уровень тока эмиссии или работать в режиме «авто эмиссии», который самостоятельно выбирает необходимый ток эмиссии для каждого диапазона давлений.
Дегазация датчика: MP3DR позволяет проводить дегазацию датчика, используя метод электронной бомбардировки. Пользователь может выбирать продолжительность дегазации – о т 10 секунд до 5 минут. 
Дисплей: вакуумметр имеет светодиодный дисплей, с четырьмя сине-зелеными цифрами. Во время настройки дисплей используется для отображения настройки тока эмиссии, настроек дегазации, настройки реле, и К фактора. Во время работы дополнительные светодиодные датчики отображают режимы работы.
Реле: имеет две настраиваемые и независимые точки срабатывания. Сигнал реле можно снять на 15 пиновом D-sub разъеме.
Цифровой выход: все вакуумметры MP3DR имеют цифровой выход RS232/485, позволяющий пользователю автоматизировать работу и снятие показаний системы. Все стандартные параметры работы, такие как давление, реле, ионный ток, работа нити, настройка эмиссии и статус процесса дегазации передаются на компьютер с помощью 6-пинового модульного соединителя. Все параметры, которые вручную настраиваются на панели вакуумметра, также могут контролироваться посредством цифровой передачи.
Инструкция: Электронный ионизационный вакуумметр MP3DR
Каталог вакуумметров и датчиков вакуума Televac (США)
Достоинства и преимущества электронного ионизационного вакуумметра MP3DR:
Показания: широкий диапазон измерений от 10-2 до 10-10 Торр.
Высокая эффективность: имеет двойную, покрытую и поддерживаемую нить накаливания для продления срока службы. Имеет низкий лимит рентгеновского излучения при давлении < 10-10 Торр. Выбор нити накаливания осуществляется нажатием кнопки на панели управления вакуумметра.
Работа при сверхвысоком вакууме: имеет фланцы стандарта CF и обеспечивает надежную работу без утечек при сверхвысоком вакууме, поток натеканий менее 10-11 ст. см3/сек (He).
Прогреваемый датчик: возможность обезгаживающего прогрева датчика до 2000С (со снятым блоком электроники)
Дисплей отображения: имеет яркий четырехзначный светодиодный дисплей.
Ток эмиссии: настраиваемый.
Время дегазации: настраиваемое.
Реле: две точки срабатывания для контроля вакуумной системы.
Цифровой выход: RS232/485.
Рабочее напряжение: 11,5 – 30В постоянного тока.
Применения:
- Исследовательское оборудование.
- Криогенная техника.
- Электронные микроскопы.
- Физика высоких энергий.
- Производство осветительного оборудования.
- Производство магнитных носителей.
- Молекулярно лучевая эпитаксия.
- Оптическое и функциональное напыление.
- Осаждение из паровой фазы.
- Производство полупроводниковых устройств.
- Анализ поверхностей.
- Термическая обработка (вакуумные печи).
- Напыление тонких пленок.
Электронный ионизационный вакуумметр MP3DR
|
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
MP3DR |
|
Рабочие характеристики |
|
|
Диапазон давлений |
1х10-2 до 1х10-10 Торр |
|
Чувствительность по N2 |
10/Торр |
|
Мощность дегазации |
5 Ватт, электронный пучок |
|
Температура прогрева (только для датчика) |
200°C |
|
Рабочая температура |
От 0 до 40 °C |
|
Предел рентгеновского излучения |
меньше 1х10-10 Торр |
|
Ток эмиссии нити |
0,01; 0,1; 1,0 мА или автоматически настраиваемый |
|
Напряжение смещения на нити |
+30 Вольт +/- 0.3% |
|
Потенциал решетки |
+180 Вольт +/- 0.3% |
|
Напряжение нагрева нити |
1,5 Вольт (2,5 В Макс.) |
|
Ток нагрева нити |
2 А (3 А Макс.) |
|
Положение при монтаже |
Любое |
|
Систем управления |
|
|
Входящее напряжение |
11,5 -30,0 В DC, 750 мА |
|
Дисплей |
Высококонтрастный, сине-зеленое |
|
Реле |
Две точки срабатывания |
|
Цифровой выход |
RS232/485 |
|
Тип соединения |
15 штырьковый D-sub |
|
Цифровой порт |
Двойной, 6 штырьковый модульный |
|
Физические характеристики |
|
|
Высота |
131 мм |
|
Диаметр |
75 мм |
|
Веc |
0,55 кг (при KF25 ) |
|
Условия эксплуатации |
|
|
Расположение |
В помещении, на высоте до 2000 м над уровнем моря |
|
Температура окружающей среды |
От 0 до 40°C |
|
Относительная влажность |
80% относительной влажности при 31°C |
|
|
|
|
MP3DR вакуумметр, KF25 |
2-7990-131 |
|
MP3DR вакуумметр, CF40 |
2-7990-152 |
|
MP3DR вакуумметр, 1'' с трубка |
2-7990-101 |
|
Датчик (отдельно), KF25 |
3451-8305-35 |
|
Датчик (отдельно), CF40 |
3451-8305-25 |
|
Датчик (отдельно), 1'' трубка |
3452-8306-05 |
|
Цифровой кабель, 2.1 м, RJ11 |
9855-07 |
|
Кабель питания и передачи сигнала, 3 м., 15 штырьковый D-sub |
2-9867-010 |
|
Кабель питания и передачи сигнала, 6 м., 15 штырьковый D-sub |
2-9867-020 |
|
Кабель питания и передачи сигнала, 10,5 м., 15 штырьковый D-sub |
2-9867-035 |
|
Кабель питания и передачи сигнала, 15 м., 15 штырьковый D-sub |
2-9867-050 |