Устройство шагового перемещения тиглей

Устройство шагового перемещения тиглей CI-100 - экономичный, надёжный контроль электронно-лучевых источников с несколькими тиглями. Устройство шагового перемещения тиглей CI-100 используется для вращения электронно-лучевых источников с несколькими тиглями через вращательный вакуумный ввод. В состав устройства входят контроллер, вращательный электропривод, монтажный кронштейн и соединительный кабель. Гибкая конфигурация позволяет подстроиться к конкретной системе и техпроцессу. CI-100 совместим практически со всеми источниками электронных пучков, а дискретные вводы-выводы совместимы с существующими устройствами шагового перемещения.

Простая, интуитивно понятная настройка и эксплуатация

Органы управления на передней панели обеспечивают простое управление процессом: Установка вращательного электропривода.png

- Индикация выбранного круглого тигля или скорости переключения при использовании бананообразного тигля
- Выбор способа управления: с передней панели или внешними сигналами ввода-вывода
- Шаговое перемещение устройством по часовой стрелке или против
- Переключение устройства шагового перемещения к следующему круглому тиглю или переходы с шагом 1,8°
- Калибровка позиции или задание скорости
- Индикация выбранного круглого тигля
- Индикация соответствия позиции устройства выбранному тиглю
- Индикация состояния выполнения перемещения устройством

Преимущества

- Прямой привод – отсутствует необходимость настройки или регулировки шкивов
- Электронная калибровка позиции – нет механических регулировок
- Компактный вращательный электропривод с большим моментом 200 унций на дюйм и режимом холодной работы
- Устанавливается на стандартный вакуумный ввод с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 3/4-дюймовым фланцем CF
- Возможность самостоятельного конфигурирования любого расположения круглых и бананообразных тиглей
- Включено 8 предопределённых конфигураций расположения круглых и бананообразных тиглей
- Дискретные вводы-выводы совместимы с существующими устройствами шагового перемещения

Настройка конфигурации системы.jpg

Настройка конфигурации системы – Пользователь может легко настроить нужную конфигурацию, используя прилагаемую простую программу под Windows.

Технические характеристики

Вращательный электропривод

Тип электродвигателя

Mикрошаговый

Вращательный момент

1,4 Н х м

Скорость (частота вращения)

низкая: 0,05; 0,06; 0,08; 0,10; 0,12; 0,15; 0,19; 0,24; 0,30; 0,37
высокая: 0,5; 0,6; 0,8; 1,0; 1,2; 1,5; 1,9; 2,4; 3,0; 3,7

Разрешающая способность

1,8°

Воспроизводимость

0,25°

Габаритные размеры (В х Ш х Г)

89 х 89 х 122 мм

Масса

1,5 кг

Электропитание

12 Вт (подаётся от контроллера)

Контроллер

Тигли

Не более 8

Дискретные вводы

Двоичная или двоично-десятичная кодировка
низкий: 0-2 В пост. тока; высокий: 4-24 В пост. тока;
незамкнутые

Передача данных

RS-232 или Ethernet

Габаритные размеры (В х Ш х Г)

88 х 213 х 197 мм

Масса

2,7 кг

Электропитание

100-120/200-240 В, 50/60 Гц, 20 Вт

Соответствие требованиям

CE (LVD и ECD)

Соединительный кабель

3 м, стандартный соединитель DB25