Контроллер XTC/3 напыления тонких плёнок


Контроллер XTC/3 напыления тонких плёнок обеспечивает качественный , доступный по ценеКварцевый толщиномер XTC/3 контроль скорости напыления одного или нескольких слоёв.
Этот контроллер напыления тонких плёнок предоставляет все возможности, необходимые для контроля процессов осаждения одного или нескольких слоёв. Контроллер XTC/3 с запатентованной технологией ModeLock надёжно предотвращает перескок мод и обеспечивает однородное качество напыления. Кроме того, контроллер XTC/3 напыления тонких плёнок обеспечивает высокую точность контроля скорости напыления и толщины плёнки для практически любого числа слоёв, отличается простотой установки и очень высокой надёжностью, гарантирующей высокую производительность.
Компания INFICON – мировой лидер в области контроля процессов напыления тонких плёнок, предлагает прибор, отличающийся значительно более низкой стоимостью владения по беспрецедентно низкой цене.
Контроллер XTC/3 компании INFICON – это возможность выбора модели для точного соответствия потребностям на производстве и в проектах НИОКР.

Преимущества контроллерa XTC/3


- Выпускаются модели для контроля напыления одного слоя и нескольких слоёв
- Запатентованная технология ModeLock предотвращает ошибки измерения толщины плёнки из-за перескока моды
- Поддерживает автоматическое переключение кристаллов датчика на двух кристаллах, INFICON Crystal 12®, Crystal Six®, обеспечивая максимальную производительность
- Модель XTC/3M для контроля напыления нескольких слоёв поддерживает контроль до 99 процессов, 999 слоёв, 32 плёнок, 2 датчиков и 2 источников
- Модель XTC/3S для контроля напыления одного слоя поддерживает контроль до 9 плёнок, 2 датчиков и 2 источников
- ЖК дисплей на основе технологии тонкоплёночных транзисторов (TFT) для наглядного отображения
- Плёнкам и процессам можно назначить уникальные, описательные имена, чтобы облегчить их поиск
- Возможно подключение к сети Ethernet
- Автономный (не требуется ПК) или дополнительное ПО под Windows® для управления через ПК
- Замена «подключай и эксплуатируй» для контроллеров INFICON XTC/2 (возможности ограничены набором команд и функциями XTC/2)


Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)

Информация для заказа


XTC3S – контроллер напыления одного слоя


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, нужные цифры.


X


C


3


S


-


a


b


c


d



a


Базовый модуль
XTC/3S 115 В – 1
XTC/3S 230 В - 2


b


Дополнительный модуль для связи с ПК
Нет (только RS232) – 0
Модуль Ethernet - 1


c


Ручной пульт дистанционного регулирования мощности
Нет – 0
Ручной пульт регулирования мощности - 1


d


Комплекты для монтажа в стойку
Нет -0
Комплект для установки модуля в стойку- 1
Комплект для установки модуля в стойку -2


XTC3M – контроллер напыления нескольких слоёв


Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.


X


C


3


M


-


a


b


c


d



a


Базовый модуль
XTC/3S 115 В – 1
XTC/3S 230 В - 2


b


Дополнительный модуль для связи с ПК
Нет (только RS232) – 0
Модуль Ethernet - 1


c


Ручной пульт дистанционного регулирования мощности
Нет – 0
Ручной пульт регулирования мощности - 1


d


Комплекты для монтажа в стойку
Нет -0
Комплект для установки модуля в стойку- 1
Комплект для установки модуля в стойку -2



Дополнительные принадлежности для контроллера XTC/3


780-700-G1


Модуль для связи с ПК по сети Ethernet


Подключаемый модуль Ethernet, обеспечивающий использование протоколов обмена сигналами отраслевого стандарта, с электрическими соединителями для приёма управляющих команд от удалённых терминалов.


755-262-G1


Ручной пульт регулирования мощности


Ручной пульт позволяет дистанционно регулировать мощность в процессе напыления, когда контроллер в режиме управления вручную. Ручной пульт регулирования мощности подключается на передней панели блока управления.


780-702-G1


Комплект для установки 1 модуля
в стойку


Комплект для монтажа в стойку содержит все материалы, необходимые для установки контроллера в стандартную стойку. Контроллер занимает 1/2 ширины стойки.


780-702-G2


Комплект для установки 2 модулей
в стойку – в ширину


2 модуля можно установить бок о бок в стойку стандартной ширины.


780-032-G1


Компакт-диск с ПО мониторинга/настройки для XTC/3M или XTC/3S


Прикладное ПО под Windows® позволяет в полной мере осуществлять программирование, мониторинг и регистрацию данных при работе с XTC/3M или XTC/3S.


780-038-G1


Компакт-диск с библиотекой DLL для связи с XTC/3M или XTC/3S


Содержит функции для создания программы для удалённого ПК, чтобы управлять контроллером XTC/3M или XTC/3S через интерфейс RS232 или подключение по протоколу TCP/IP.



Комплекты XIU (генератор) для IC6, XTC/3M и XTC/3S и соединительные кабели


В комплект XIU (генератор) входят все кабели, необходимые для соединений между контроллером и XIU, генератор XIU, а также кабель для соединения XIU и вакуумного ввода. Один комплект генератора XIU требуется для каждого датчика на основе кристалла кварца, подключённого к контроллеру.
Примечание. При использовании датчика на двух кристаллах кварца с контроллером XTC/3 или IC6 требуется либо один комплект XIU и один переключатель CrystalTwo (номер 779-220-G1 или -G2 для заказа), либо два комплекта XIU.


Комплекты XIU (генератор) для IC6, XTC/3M и XTC/3S


781-611-G15


Комплект XIU с кабелем 4,6 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3

781-611-G30


Комплект XIU с кабелем 9,1 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3

781-611-G50


Комплект XIU с кабелем 15,3 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3

781-611-G100


Комплект XIU с кабелем 30,5 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3

781-612-G15


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 4,6 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781-612-G30


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 9,1 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781-612-G50


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 15,3 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781 -612-G100


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 30,5 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781-613-G15


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 4,6 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781-613-G30


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 9,1 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781-613-G50


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 15,3 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

781 -613-G100


Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 30,5 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)


Только XIU для IC6, XTC/3M и XTC/3S (без кабелей)


781-600-G1


IC6, XTC/3 XIU (генератор) для кабелей длиной 15-183 см между XIU и головкой датчика

781-600-G2


IC6, XTC/3 XIU (генератор) для кабелей длиной 3-4 м между XIU и головкой датчика


Соединительные кабели для IC6, XTC/3M и XTC/3S


755-257-G6


Кабель 5,2 см для соединения XIU с вакуумным вводом

600-1261-P15


Кабель 4,6 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3

600-1261-P30


Кабель 9,1 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3

600-1261-P50


Кабель 15,3 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3

600-1261-P100


Кабель 30,5 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3