Термостатированные мембранно-емкостные датчики вакуума серии 700
Для газов, совместимых с Inconel® и Monel®
Термостатированные мембранно-емкостные датчики серии 700 компании Setra представляют собой высокоточные вакуумные преобразователи на основе емкостного сенсора со стабилизированной температурой. Технология предотвращает конденсацию газов на сенсоре и его загрязнение при использовании во многих важных областях.
Серия 700 включает в себя следующие модели: Модель 764 (поддерживаемая температура до 45 °С), Модель 769 (поддерживаемая температура до 100 "С) и модель 774 (поддерживаемая температура до 123 °С). Все три модели емкостных датчиков обеспечивают погрешность измерения ±0.15% величины в диапазоне давлений от 1 до 1000 Торр с разрешением более 0,005% полной шкалы. Для Модели 764 также доступны диапазоны полной шкалы 50 и 100 мТорр, для модели 769-100 мТорр.
Датчики вакуума серии 700 работают от постоянного напряжения ±15В и обеспечивают выходной сигнал, линейно пропорциональный давлению 0-10В и независящий от рода газовой смеси. Модели снабжены электрическим 15-ти контактным соединителем «D», обеспечивается возможность выбора фитинга.
Все контактирующие с измеряемой средой части изготовлены из коррозионно-стойких сплавов Inconel® (Monel® - для механического экрана), что делает датчики вакуума серии 700 практически нечувствительным к загрязненным и агрессивным средам.
Принцип действия термостатированного емкостного датчика :
Вакуумные датчики серии 700 основаны на использовании высокоточной технологии измерения емкости. Датчик состоит из двух емкостных электродов и гибкой мембраны, заключенных в герметизируемой камере для устранения барометрических эффектов и температурных флуктуаций.
При приложении давления мембрана прогибается, вызывая изменение расстояний между мембраной и электродами, что, в конечном итоге, изменяет емкость. Изменение величины емкости преобразуется в линейный сигнал постоянного тока с помощью измерительного моста переменного тока. Затем сигнал усиливается и на выход подается линейный постоянный сигнал высокого уровня.
Температура внутри корпуса преобразователя, вмещающего в себя камеру с электродами, измерительный мост и выпрямляющий колебательный контур, контролируется для улучшения стабильности нуля и коэффициента усиления (стабильности диапазона).
Перед герметизацией из камеры с электродами откачивается воздух до достижения высокого вакуума и камера прогревается. В процессе герметизации активируется химическая система газопоглощения для сохранения чистоты опорного высокого вакуума.
Области применения вакуумных датчиков серии 700:
- Плазменное осаждение
- Сухое травление
- Технологии нанесения покрытий
- Технологии химического осаждения
- Выращивание кристаллов
- Сушка замораживанием
Каталог высокоточных мембранно-емкостных датчиков вакуума Setra (США)
Преимущества термостатированного мембранно-емкостного датчика:
- Возможность выбора термостатированного датчика на 45°, 100° или 123°С
- Верхняя граница диапазона измерений от 50 мТорр до 1000 Торр
- Предотвращает конденсацию и загрязнение газов
- Сплавы Inconel® контактирующих с измеряемой средой деталей обеспечивают стойкость к коррозии
- Выбор фитингов и электрических соединителей
- Имеет СЕ-сертификат
Термостатированный мембранно-емкостный датчик вакуума серии датчик 700
|
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Heated 700 |
|
Рабочие характеристики |
|
|
Точность |
±0,15% значения, |
|
Воспроизводимость |
±0,01% полной шкалы |
|
Скомпенсированный диапазон °С |
от+15 до+40/p> |
|
Дрейф нуля °С |
>1торр=0,002% полн. шкалы |
|
Дрейф диапазона |
<0,02% значения |
|
Разрешение |
0,005% полн. шкалы |
|
Время разогрева |
Обычно 2 часа > 1 Торр |
|
Испытательное давление |
45 фунт/дм2 (3,1 бар абсолютное) |
|
Температура нагревателя |
|
|
Электрические характеристики |
|
|
Схема |
5-ти проводная |
|
Напр. питания |
±15 В п.т. ±5%. |
|
Потребляемый ток |
|
|
Выходное напряжение |
от 0 до 10В п.т. |
|
Выходное сопротивление |
<0,1 Ом |
|
Уровень выходного шума [действующее значение] |
<0,002% полн. шкалы |
|
Физические характеристики |
|
|
Электрический соединитель |
15-ти контактный «О» |
|
Фитинг |
См. порядок оформления заказа |
|
Объем датчика |
<8,3 см3, включая 1/2" трубку 0D Т |
|
Вес |
0,55кг |
|
Условия окружающей среды |
|
|
Температура эксплуатации °С |
|
|
Температура хранения °С |
от -45 до +80 |
|
Чувствительность °С |
<0,02% значения |
|
Барометрический эффект |
0,005% полн. шкалы/760Торр |
|
Рабочая среда |
Газы совместимые с Inconel9, Monel9 |
Технические характеристики могут быть изменены без уведомления пользователя. Применение некоторых доступных опций может повлиять на стандартные технические условия.
Доступны модели:
1. 764 ДАТЧИК 1 ТОРР ISO NW16 10В .DSUB 15%
2. 764 ДАТЧИК 10 ТОРР ISO NW16 10В .DSUB 0,15%
3. 764 ДАТЧИК 2 ТОРР ISO NW16 10В DSUB .15%
4. 769 ДАТЧИК 1 МБАР ISO NW16 10В DSUB .15%