Мембранно-емкостные датчики вакуума серии 730


Для измерений в стандартных диапазонах (единицы измерения: Торр, кПа и мбар)


Мембранно-емкостный датчик вакуума серии 730 компании Setra это компактный и недорогой манометр, который предназначен для промышленного вакуума, в частности, для использования в процессах выращивания полупроводников, нефтехимии, фармацевтике и др. Новая высокочастотная электроника модели полностью удовлетворяет требованиям ROHS и имеет крайне низкий уровень шума. В то же время обеспечивается минимальное время отклика, что так важно в современных задачах управления технологическими процессами. Подавление внешних шумов, быстрый прогрев, стойкость к колебаниям внешних условий, быстрый возврат к нулю превосходят характеристики аналогичных устройств, стоящих как минимум в два раза дороже.

В датчиках вакуума серии 730 детали, соприкасающиеся с измеряемой средой, изготовлены из сплавов Inconel®, что обеспечивает возможность применения манометра в практически любых химических процессах. Следствием этого также является прочность монтажа и возможность использования одноэлектродного датчика в условиях высокой перегрузки давлением с сохранением исключительной стабильности измерений в течение длительного времени. Рабочая мембрана обеспечивает малый гистерезис, высокое разрешение и воспроизводимость результатов измерения.

Мембранно-емкостный датчик вакуума серии 730 выдает линейный выходной сигнал, пропорциональный давлению 0-5В или 0-10В независимо от рода газовой смеси. Широкий динамический диапазон обеспечивается высокой точностью измерений (± 0,5% в стандартном исполнении и ±0,25% - в опциональном) и пренебрежимо малыми температурными коэффициентами в компенсированном диапазоне от 0 до 50°С. Стандартные величины температурных коэффициентов составляют ±0,25% полной шкалы/50°С для дрейфа нуля, и ±1,35% измеряемого значения/50°С для дрейфа диапазона.

Датчик вакуума серии 730 запитывается напряжением от 12 до ЗОВ пост. тока. Доступны различные значения полной шкалы датчика: от 10 до 1000 Торр. Электрический соединитель может быть выполнен в виде 9 или 15-ти контактного D-Sub или 5-ти контактной колодки, поддерживающих промышленный стандарт «plug and play». Также доступен широкий набор фитингов.


Области применения датчика вакуума серии 730:


Емкостный манометр этой модели применяется:

- Оборудование для полупроводниковых технологий
- Технологические камеры
- Запорные системы Системы водоподготовки
- Газопромыватели
- Нефтехимия
- Фармакология
- Абсорбционные кристаллизаторы
- Лазеры
- Автоклавы
- Вакуумная упаковка
- Сушка вымораживанием
- Вакуумная дистилляция

Преимущества датчика вакуума серии 730:


- Широкий компенсированный температурный диапазон
- Минимальный уровень шума
- Нечувствительность к изменениям внешних условий
- Имеет СЕ-сертификат
- Соответствует стандартам EU RoHS


Каталог высокоточных мембранно-емкостных датчиков вакуума Setra (США)


Мембранно-емкостный датчик вакуума серии 730


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Модель 730 Absolute

Рабочие характеристики


Точность*

±0.5% значения
±0.25% значения(опционально)

Разрешение

Ограничено только уровнем выходного шума (< 0.005% полной шкалы)

Температурные эффекты**

от 0 до +50°С

Скомпенсированный диапазон °С (°F)

±0.25% полн. шкалы/°С

Дрейф нуля

±1.35%значения/°С

Дрейф диапазона

±0.5% полн. шкалы/год

Стабильность

не учитывая внешние условия

Время отклика

< 20мс

Испытательное давление

45 фунт/дм2

Электрические характеристики


Схема

3-х проводная

Напр. питания/ выход***

от 12 до ЗОВ для 0-1ОВ п.т.

Выходная нагрузка

от 9 до ЗОВ для 0-5В п.т.

Потребляемый ток

> 10 к0м

Выходное сопротивление

< 10 мА макс.

Потребляемая мощность

< 10 м < 0.5Вт(<15мА)

СЕ-совместимость

Удовлетворяет директиве по электромагнитной совместимости Electro Magnetic Compatibility Directive 2006/108 EC EURoHS- совместимость

Физические характеристики


Корпус

Нержавеющая сталь

Электрический соединитель

5-ти контактная колодка на винтах 9-ти или 15-ти контактный D-sub на 6" гибком кабеле.

Фитинг

См. порядок оформления заказа

Материал контактирующих с измеряемой средой частей

Inconel9

Объем датчика

< 6см

Вес (приблизительно)

< 250г

Условия окружающей среды


Температура эксплуатации

от 0 до +80 °С

Температура хранения °С

от -20 до +85 °С

Стойкость к удару

50 g

Рабочая среда

Газы совместимые с Incone Inconel/Stainless Steel Материал контактирующих с измеряемой средой частей Inconel11 предназначен только для трубок 0.5". Материал для других фитингов - нержавеющая сталь (Stainless Steel)

*Включая нелинейность, невоспроизводимость, и гистерезис.
**Откалиброван при номинальной температуре 66°F. Максимальная температурная погрешность вычислена при данной температуре.
***Откалиброван на нагрузку БОкОм, может работать при нагрузке 5000 Ом или выше.



Технические характеристики могут быть изменены без уведомления пользователя.