Мембранно-емкостные датчики вакуума серии 760
Мембранно-емкостный датчик вакуума серии 760 устойчив к агрессивным газам благодаря материалам Inconel ® или Inconel/Stainless Steel Абсолютные давления: О-10 до 0-1000 Торр, 0-10 до 0-1000 мБар/гектопаскаль, 0-2 до 0-20 фунт/дм, 0-2 до 0-100 кПа
Мембранно-емкостный датчик вакуума серии 760 фирмы Setra - преобразователь абсолютного давления предназначенный для проведения точных и повторяемых вакуумных измерений. Доступны различные верхние значения диапазона показаний: от 10 до 1000 Торр. Единицы измерения могут задаваться в Торрах, мБар/гектопаскаль, кПа или фунт/дм2.
Датчик вакуума серии 760 работает от постоянного напряжения +15В и выдает линейный выходной сигнал, пропорциональный давлению 0-10В или 0-5В независимо от рода газовой смеси. Электрический соединитель может быть исполнен как в виде промышленного стандарта 15-ти контактного D-sub, так и в виде 6-ти контактной колодки.
Помимо металлического корпуса манометра, великолепные характеристики помехо-устойчивости к радио и электромагнитному излучению обеспечивают компоненты подавления импульсов и электростатических разрядов, а также отфильтровывание радиопомех на входах и выходах. Датчик вакуума серии 760 снабжен сдвижной крышкой, которая позволяет легко добраться до многооборотных потенциометров и осуществить точную настройку нуля и диапазона. Детали прибора, соприкасающиеся с измеряемой средой, изготовлены из сплава Inconel8, что позволяет использовать Модель 760 для измерений давления окисляющих газов. Доступен широкий набор фитингов.
В мембранно-емкостном датчике вакуума серии 760 качестве чувствительного элемента использован высокоточный сенсор VactronTM, разработанный на основе запатентованного компанией Setra регулируемого емкостного датчика. Расположенный в центре проходник удерживает роликовый электрод вблизи задней поверхности мембраны. Вместе электрод и мембрана образуют переменный конденсатор внутри маленькой опорной вакуумной камеры, где поддерживается очень низкое давления. По мере нарастания давления мембрана прогибается. Расстояние между мембраной и электродом уменьшается, что приводит к увеличению емкости. Благодаря уникальной интегральной схеме, реализующей запатентованный компанией Setra принцип балансировки заряда, изменение величины емкости детектируется и конвертируется с высокой точностью в линейный сигнал постоянного тока.
Благодаря инновационной конструкции датчика вакуума достигаются отличные характеристики стабильности нуля и барометрической нечувствительности. Сенсор в Модели 760 не имеет хрупких или сложных частей, которые встречаются в подобных емкостных датчиках на основе керамики.
Области применения мембранно-емкостного датчика вакуума серии 760:
- Оборудование для полупроводниковых технологий
- Лаборатории и исследования
- Испытания и измерения
- Метрология
- Аналитическая химия
Преимущества датчика вакуума серии 760:
- Отличная температурная стабильность емкостного датчика вакуума
- Превосходная устойчивость к электромагнитному излучению
- Низкая стоимость
- Небольшой/компактный размер
- Устойчивость к коррозии за счет использования сплавов Inconel8 для контактирующих со средой деталей
- Разнообразие фитингов и видов электрических соединителей
- Соответствует стандартам СЕ Conformance Standards
Каталог высокоточных мембранно-емкостных датчиков вакуума Setra (США)
Мембранно-емкостный датчик вакуума серии 760
|
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Модель 760 Vactron Series |
|
Рабочие характеристики |
|
|
Точность |
|
|
Температурные эффекты |
|
|
Скомпенсированный диапазон °C(°F) |
от 0 до +50 (+32 до +122) |
|
Дрейф нуля |
±0.005% полн. шкалы/°С |
|
Дрейф диапазона |
±0.027% значения/°С |
|
Разрешение |
ограничено только уровнем выходного шума [0.01% полной шкалы] |
|
Испытательное давление |
45 фунт/дм2 |
|
Постоянная времени |
< 20мс |
|
Электрические характеристики |
|
|
Схема |
4-х проводная |
|
Напряжение питания |
±15 В п.т. регулируемое ±5% |
|
Выход* |
0-10 В п.т. или 0-5 В |
|
Потребляемая мощность |
0-10 В п.т. или 0-5 В п.т.<0.5Вт(<15мА) |
|
Физические характеристики |
|
|
Корпус |
Алюминиевый сплав |
|
Электрический соединитель |
15-ти контактный D-sub или 6-ти контактный разъем на винтах |
|
Фитинг |
См. порядок оформления заказа |
|
Объем датчика |
<6смЗ |
|
УНастройка нуля/диапазона |
Многооборотные потенциометры (под сдвижной крышкой) |
|
Вес |
260 грамм (9 унций) |
|
Условия окружающей среды |
|
|
Температура эксплуатации** °С (°F) |
от 0 до +50 (+32 ч +122) |
|
Температура хранения °С (°F) |
от -50 до +125 (-58 ч +257] |
|
Рабочая среда |
Совместим с газами благодаря материалам Inconel® или Inconel/Stainless Steel® |
*Откалиброван на нагрузку 60 кОм, может работать при нагрузке 10000 Ом или выше.
**Температура эксплуатации ограничена только характеристиками электроники. Температура рабочей среды может быть как значительно выше, так и ниже.
Технические характеристики могут быть изменены без уведомления пользователя. Применение некоторых доступныхопций может повлиять настандартныетехническиеусловия.