Ионизационный вакуумметр с горячим катодом и датчиком Пирани высокого давления HPG400
Комбинированный ионизационный вакуумметр с горячим катодом и датчиком Пирани высокого давления компании INFICON, HPG400, реализует функции двух вакуумметров в одном компактном экономичном модуле с диапазоном измерения от 2x10-6 мбар до атмосферного давления (1,5x10-6 торр до атмосферного давления). Вакуумметр HPG400 обеспечивает высокую воспроизводимость результатов измерения давления для точного контроля давления в техпроцессах распыления.
Преимущества ионизационного вакуумметра
- Вакуумметр HPG400 позволяет сократить расходы и экономно использовать свободное пространство оборудования, а также упрощает установку и настройку вакуумной системы
- Ионизационный датчик с горячим катодом высокого давления обеспечивает точное надёжное измерение давления в диапазоне 1x10-5-1 мбар для оптимального управления техпроцессом
- Выбираемый пользователем уровень давления 5x10-2-1 мбар для включения эмиссии электронов горячим катодом для ионизации
- Блокировка Пирани защищает горячий катод от преждевременного перегорания
- Дополнительно: графический дисплей и интерфейс промышленной сети
- Автоматическая регулировка Пирани для высокого вакуума уменьшает вмешательство оператора
- Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ
Области применения ионизационного вакуумметра HPG400
- Техпроцессы распыления при производстве полупроводников, электроники, материалов
- Промышленные установки для напыления покрытий
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума
Информация для заказа
|
PG400 без ЖКИ |
PG400 с ЖКИ |
HPG400-SP с Profibus DP1) |
HPG400-SD с DeviceNet(1) |
DN 25 ISO-KF |
353-520 |
353-521 |
353-525 |
353-527 |
DN 40 CF-F |
353-522 |
353-523 |
353-526 |
353-528 |
Replacement sensor 25 ISO-KF |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
Replacement sensor 40 CF-R |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
1) не изготавливается с ЖКИ
Принадлежности |
|
Блок питания 24 В пост. тока / линия RS232C |
353-511 |
Центрирующее кольцо с отражателем DN 25 ISO-KF |
211-113 |
Технические характеристики
HPG400 (стандартное исполнение), HPG400 (с индикатором) |
|
Диапазон измерения (воздух, N2),мбар (торр) |
2x10-6 … 1000 (1.5x10-6 … 750) |
Точность, 10-5 … 1 мбар, % от показания |
±15 (1) |
Повторяемость, 10-5 … 10-1 мбар, % от показания |
2 |
Повторяемость, 10-1 … 100 мбар, % от показания |
30 |
Выбор уровня давления для включения ионизации горячим катодом (выбор: высокий/низкий уровень давления, команда через интерфейс RS232 или промышленной сети), мбар |
1 5x10-1 2x10-1 1x10-1 5x10-2 |
Давление, макс., бар (абс.) |
2 |
Температура, ◦C |
|
Эксплуатация (окружающая среда), ◦C |
0 … +50 |
Хранение, ◦C |
-20 … +70 |
Прогрев, ◦C |
|
Фланец, ◦C |
80 |
Без электроники, ◦C |
150 |
Напряжение питания, В/А, пост. ток |
20 … 28 / 0.8 |
Аналоговый выходной сигнал, В |
0 … +10.2 |
Диапазон измерения |
|
Горячий катод, В |
1.5 … 7.5 |
Пирани, В |
8.5 … 9.75 |
Зависимость напряжения от давления |
|
Горячий катод, В / декада |
1 |
Пирани, В / декада |
0,25 |
Сигнал ошибки |
|
Горячий катод, В |
0,3 |
Пирани, В |
0,5 |
Мин. полное сопротивление нагрузки, кОм |
10 |
Интерфейс (цифровой) (2) |
RS232C |
Электрическое подключение |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Макс. длина кабеля, м |
100 |
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло |
Внутренний объём KF/CF, см3 (дюйм3) |
20 (1.2) / 30 (1.8) |
Масса KF/CF, г |
430 / 695 |
Степень защиты |
IP30 |
1) Точность при давлении в диапазоне от 10-5 мбар до значения давления, выбранного для включения ионизации горячим катодом
2) Одновременное использование RS232C или контроллеров серии VGC400 с передачей данных через промышленную сеть запрещено
3) Для передачи данных по стандарту RS232C менее 30 м
Технические характеристики (DeviceNet™)
|
HPG400-SD DeviceNet™ |
Протокол |
DeviceNet™, группирование только 2 ведомых |
Скорость передачи данных, Кбод |
125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу |
Длина кабеля, 125 Кбит/с, м |
500 |
Длина кабеля, 250 Кбит/с, м |
250 |
Длина кабеля, 500 Кбит/с, м |
100 |
MAC-адрес |
2 переключателя (адрес 00-63) или по сети, используя программу |
Число узлов в сети |
до 64 узлов в одном сегменте |
Цифровые функции |
считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па настройка предела показаний датчика Пирани мониторинг состояния вакуумметра безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки подробные сведения при предупреждении или тревоге |
Аналоговые функции |
аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления 2 настраиваемых реле А+В |
Технические характеристики |
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (Профиль вакуумметра) |
Тип прибора |
"CG" для комбинированного вакуумметра |
Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод) |
только последовательный опрос |
Настраиваемые реле |
2 |
Диапазон, мбар |
1x10-6… 100 |
Контакт реле |
замыкающий, сухой контакт |
Гистерезис, % от показания |
10 |
Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток |
60 / 0.5 |
Напряжение питания для DeviceNet™, В/А, пост. ток |
+11 … +25 / ≤0.5 |
Напряжение питания для вакуумметра, В/А, пост. ток |
+20 … +28 |
Электрический соединитель для DeviceNet™ |
Microstyle, 5-контактный |
Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Технические характеристики (Profibus DP)
|
HPG400-SP Profibus DP |
Скорость передачи, Кбод |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
Скорость передачи, Мбод |
1.5 / 12 |
Адрес |
2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу |
Цифровые функции |
считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па настройка предела показаний датчика Пирани мониторинг состояния вакуумметра безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки подробные сведения при предупреждении или тревоге |
Аналоговые функции |
аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления 2 настраиваемых реле А+В |
Настраиваемые реле |
2 |
Диапазон, мбар |
1x10-6 … 100 |
Контакт реле |
замыкающий, сухой контакт |
Гистерезис, % от показания |
10 |
Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток |
60 / 0.5 |
Электрический соединитель для Profibus DP |
D-sub, 9-контактный, розетка |
Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке