Ионизационный вакуумметр с горячим катодом и датчиком Пирани высокого давления HPG400


HPG400_inficon.jpgКомбинированный ионизационный вакуумметр с горячим катодом и датчиком Пирани высокого давления компании INFICON, HPG400, реализует функции двух вакуумметров в одном компактном экономичном модуле с диапазоном измерения от 2x10-6 мбар до атмосферного давления (1,5x10-6 торр до атмосферного давления). Вакуумметр HPG400 обеспечивает высокую воспроизводимость результатов измерения давления для точного контроля давления в техпроцессах распыления.


Преимущества ионизационного вакуумметра


- Вакуумметр HPG400 позволяет сократить расходы и экономно использовать свободное пространство оборудования, а также упрощает установку и настройку вакуумной системы
- Ионизационный датчик с горячим катодом высокого давления обеспечивает точное надёжное измерение давления в диапазоне 1x10-5-1 мбар для оптимального управления техпроцессом
- Выбираемый пользователем уровень давления 5x10-2-1 мбар для включения эмиссии электронов горячим катодом для ионизации
- Блокировка Пирани защищает горячий катод от преждевременного перегорания
- Дополнительно: графический дисплей и интерфейс промышленной сети
- Автоматическая регулировка Пирани для высокого вакуума уменьшает вмешательство оператора
- Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ


Области применения ионизационного вакуумметра HPG400


- Техпроцессы распыления при производстве полупроводников, электроники, материалов
- Промышленные установки для напыления покрытий
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума


Информация для заказа



PG400

без ЖКИ

PG400

с ЖКИ

HPG400-SP

с Profibus DP1)

HPG400-SD

с DeviceNet(1)

DN 25 ISO-KF

353-520

353-521

353-525

353-527

DN 40 CF-F

353-522

353-523

353-526

353-528

Replacement sensor 25 ISO-KF

354-487

354-487

354-487

354-487

Replacement sensor 40 CF-R

354-488

354-488

354-488

354-488

1) не изготавливается с ЖКИ


Принадлежности

Блок питания 24 В пост. тока / линия RS232C

353-511

Центрирующее кольцо с отражателем DN 25 ISO-KF

211-113


Технические характеристики


HPG400 (стандартное исполнение), HPG400 (с индикатором)

Диапазон измерения (воздух, N2),мбар (торр)

2x10-6

… 1000 (1.5x10-6

… 750)

Точность, 10-5 … 1 мбар, % от показания

±15 (1)

Повторяемость, 10-5 … 10-1 мбар, % от показания

2

Повторяемость, 10-1 … 100 мбар, % от показания

30

Выбор уровня давления для включения ионизации горячим катодом (выбор: высокий/низкий уровень давления, команда через интерфейс RS232 или промышленной сети), мбар

1

5x10-1

2x10-1

1x10-1

5x10-2

Давление, макс., бар (абс.)

2

Температура, C

Эксплуатация (окружающая среда), C

0 … +50

Хранение, C

-20 … +70

Прогрев, C

Фланец, C

80

Без электроники, C

150

Напряжение питания, В/А, пост. ток

20 … 28 / 0.8

Аналоговый выходной сигнал, В

0 … +10.2

Диапазон измерения

Горячий катод, В

1.5 … 7.5

Пирани, В

8.5 … 9.75

Зависимость напряжения от давления

Горячий катод, В / декада

1

Пирани, В / декада

0,25

Сигнал ошибки

Горячий катод, В

0,3

Пирани, В

0,5

Мин. полное сопротивление нагрузки, кОм

10

Интерфейс (цифровой) (2)

RS232C

Электрическое подключение

D-sub, 15-контактный, вилка

Макс. длина кабеля, м

100

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума

Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло

Внутренний объём KF/CF, см3 (дюйм3)

20 (1.2) / 30 (1.8)

Масса KF/CF, г

430 / 695

Степень защиты

IP30


1) Точность при давлении в диапазоне от 10-5 мбар до значения давления, выбранного для включения ионизации горячим катодом
2) Одновременное использование RS232C или контроллеров серии VGC400 с передачей данных через промышленную сеть запрещено
3) Для передачи данных по стандарту RS232C менее 30 м


Технические характеристики (DeviceNet™)



HPG400-SD DeviceNet™

Протокол

DeviceNet™, группирование только 2 ведомых

Скорость передачи данных, Кбод

125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу

Длина кабеля, 125 Кбит/с, м

500

Длина кабеля, 250 Кбит/с, м

250

Длина кабеля, 500 Кбит/с, м

100

MAC-адрес

2 переключателя (адрес 00-63) или по сети, используя программу

Число узлов в сети

до 64 узлов в одном сегменте

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

настройка предела показаний датчика Пирани

мониторинг состояния вакуумметра

безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Технические характеристики

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (Профиль вакуумметра)

Тип прибора

"CG" для комбинированного вакуумметра

Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод)

только последовательный опрос

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-6… 100

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

60 / 0.5

Напряжение питания для DeviceNet™, В/А, пост. ток

+11 … +25 / ≤0.5

Напряжение питания для вакуумметра, В/А, пост. ток

+20 … +28

Электрический соединитель для DeviceNet™

Microstyle, 5-контактный

Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка


Технические характеристики (Profibus DP)



HPG400-SP Profibus DP

Скорость передачи, Кбод

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Скорость передачи, Мбод

1.5 / 12

Адрес

2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

настройка предела показаний датчика Пирани

мониторинг состояния вакуумметра

безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-6 … 100

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

60 / 0.5

Электрический соединитель для Profibus DP

D-sub, 9-контактный, розетка

Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка


Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке