Инверсно-магнетронный вакуумметр с датчиком Пирани

Инверсно-магнетронные вакуумметры с датчиком Пирани MPG400 и MPG401 компании INFICON измеряют давление в диапазоне от 5x10^-9 мбар до атмосферного давления (3,8x10^-9 торр до атмосферного давления). Комбинация технологий в одном компактном модуле с одним выходным аналоговым логарифмическим сигналом существенно упрощает установку, настройку и интеграцию.

Преимущества инверсно-магнетронных вакуумметров

- Комбинированный вакуумметр: инверсно-магнетронный датчик и датчик Пирани
- Широкий диапазон измерения от 5x10^-9 мбар до атмосферного давления
- Отсутствует перегораемая нить накала
- Превосходные свойства процесса зажигания плазмы
- Легкая очистка
- Вакуумный ввод с металлическим уплотнением или уплотнением из фторкаучука (FPM)
- СИД для индикации подачи высокого напряжения
- Выходной аналоговый логарифмический сигнал

Области применения инверсно-магнетронных вакуумметров

- Мониторинг высокого вакуума
- Базовое давление в системах распыления и напыления
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от среднего до высокого вакуума

Информация для заказа

Тип	MPG400 Уплотнение из фторкаучука (FPM)	MPG401 Металлическое уплотнение
DN 25 ISO-KF	351-010	351-020
DN 40 ISO-KF	351-011	351-021
DN 40 CF-F	351-010	351-022
Принадлежности
Магнитный экран	351-023	351-023

Технические характеристики

	MPG400 Уплотнение из фторкаучука (FPM)	MPG401 Металлическое уплотнение
Диапазон измерения (воздух, N2) мбар (торр)	5 x 10^-9 … 1000 (3.8 x 10-9 … 760)
Точность(N2), 1 x 10^-8 … 100 мбар, % от показания	≈±30%
Повторяемость 1×10^-8 … 100 мбар, % от показания	≈±5%≈
Положение установки	любое
Допустимое давление, бар (абс.)	≤10 ( в среде инертных газов)
Допустимая температура
Эксплуатация (окружающая среда), °C	+5 … +55
Хранение, °C	–40 … +65
Обезгаживание прогревом(1), °C	150
Температура катода (Пирани), °C	120
Напряжение питания
Вакуумметр В, пост. ток	+15 … +30
Блок питания с кабелем максимальной длины, В, пост. ток	+16 … +30
Пульсации, Vpp	≤1
Потребляемая мощность, Вт	≤2
Требуемый предохранитель, AT	≤1
Выходной сигнал (результат измерения)
Диапазон напряжения, В	0 … +10.5
Диапазон измерения, В	+1.82 … +8.6
Зависимость напряжения от давления	логарифмический 0,6 В/декаду
Сигнал ошибки, В	<0.5 (нет электропитания)
	>9,5 датчик Пирани, разрушение катода
Выходное полное сопротивление, Ом	2 x 10
Мин. полное входное сопротивление при нормальной нагрузке, кОм	10, защита от короткого замыкания
Время отклика p > 10-6 мбар, мс	<10
Время отклика p = 10-8 мбар, мс	≈1000
Идентификация вакуумметра, кОм	85, по отношению к общему выводу источника питания
Состояние
Режим: только датчик Пирани, В	0 (низкий)
Комбинированный режим: датчик Пирани/с холодным катодом, В	15 … 30 (высокий)
СИД, зеленый СИД	подано высокое напряжение
Электрическое подключение	эл. соединитель FCC 68, 8-контактный, розетка
Кабель датчика	экранированный 8-жильный
Длина кабеля, м	≤50 (8 x 0.14 мм2)
Рабочее напряжение, кВ	≤3,3
Рабочий ток, мкА	≤500
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума	нержавеющая сталь, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W	нержавеющая сталь, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
Внутренний объём, см³	≈20
Вес DN 25 ISO-KF, г	≈700	≈730
Вес DN 40 ISO-KF, г	≈720	≈750
Вес DN 40 CF-F, г	≈980	≈1010
Степень защиты	IP 40
Стандарты	EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) Без электроники и магнитного экрана
2) Мин. напряжение блока питания должно быть увеличено пропорционально длине кабеля датчика

Запасные части

Тип	MPG400 Уплотнение из фторкаучука (FPM)	MPG401 Металлическое уплотнение
Состав комплекта для техобслуживания опорное/центрирующее кольцо уплотнения стимулятор зажигания	351-999	351-997
Состав ремкомплекта элемент Пирани анод удлинитель анода(1) медное уплотнение(1) резьбовой фиттинг(1) опорное/центрирующее кольцо уплотнения стимулятор зажигания	351-998	351-996
Состав комплекта стимулятора зажигания: стимулятор зажигания	351-995	351-995
Монтажное приспособление для стимулятора зажигания	351-994	351-994

только MPG401

Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке