Вакуумметр Пеннинга PEG100
Вакуумметр Пеннинга PEG100 компании INFICON обеспечивает достоверное измерение высокого вакуума. В надёжном датчике Пеннинга с холодным катодом не используется нить накала, которая перегорает время от времени. Использование титановых пластин в качестве катода и снижение высокого напряжения после зажигания плазмы позволяет применять данный вакуумметр также в техпроцессах распыления. Дополнительный интерфейс промышленной сети и выходной аналоговый логарифмический сигнал позволяют легко интегрировать вакуумметр в вакуумные системы, используя передачу данных по протоколу Profibus DP или DeviceNet.
Преимущества вакуумметра Пеннинга
- Широкий диапазон измерения 1x10-9-1x10-2 мбар (7,5x10-10-7,5x10-3 торр)
- Полностью металлический датчик с холодным катодом (Пеннинга) с керамическим вакуумным вводом
- Инновационная геометрия электродов обеспечивает превосходные свойства процесса зажигания плазмы
- Понижение высокого напряжения после зажигания плазмы и катодные пластины из титана уменьшают вероятность загрязнения даже при использовании в техпроцессе распыления в среде аргона
- Анодное кольцо и титановый катод можно легко очистить или заменить
- Напряжённость магнитного поля вокруг вакуумметра сведена к минимуму
- СИД для индикации подачи электропитания и зажигания плазмы
- Выходной аналоговый логарифмический сигнал
- Интерфейс промышленной сети (Profibus DB, DeviceNet) для облегчения интеграции в вакуумные системы, используя передачу данных по сети
Области применения вакуумметра Пенинга
- Мониторинг высокого вакуума
- Системы распыления и напыления
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от среднего до высокого вакуума
Информация для заказа
|
Тип |
PEG100 |
PEG100-D с DeviceNetTM |
PEG100-P с Profibus DPTM |
|
DN 25 ISO-KF |
351-000 |
351-003 |
351-005 |
|
DN 40 CF-R |
351-002 |
351-004 |
- |
|
Сменные катодные пластины, титан Комплект (5 шт.) |
351-490 |
351-003 |
351-003 |
Технические характеристики
|
|
PEG100 |
|
Диапазон измерения мбар торр |
1 x 10-9 до 1 x 10-2 7.5 x 10-10 до 7.5 x 10-3 |
|
Точность, 10-8 до 10-4 мбар, % от показания |
±30 |
|
Давление, макс. (абс.), бар |
10 |
|
Допустимая температура |
|
|
Эксплуатация (окружающая среда), °C |
+10 … +50 |
|
Хранение, °C |
-20 … +75 |
|
Прогрев без электроники , °C |
350 |
|
Прогрев с электроникой, на фланце, °C |
70 |
|
Источник питания |
|
|
Напряжение, В, пост. ток |
14.5 to 36 |
|
Потребление, макс., Вт |
<2 |
|
Аналоговый выходной сигнал, В |
0 до 10.6 |
|
Диапазон измерения, В |
0.66 to 10 |
|
Зависимость напряжения от давления, В / декада |
1.333 |
|
Соединитель |
FCC 68, 8-контактный, розетка, экранированный |
|
Макс. длина кабеля (аналоговый сигнал), м (фут) |
100 (330) |
|
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
нержавеющая сталь, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti |
|
Внутренний объём, см3 (дюйм3) |
21 (1.28) |
|
Прибл. масса, г |
500 |
|
Степень защиты |
IP 40 |
Технические характеристики PEG100-D DeviceNet™
|
|
PEG100-D DeviceNet™ |
|
Тип прибора |
универсальный |
|
Явная передача данных между равноправными узлами |
нет |
|
Операции ввод-вывод между равноправными узлами |
нет |
|
Показатель согласованности конфигурации |
нет |
|
Восстановление узла после ошибки |
нет |
|
Скорости передачи, Кбод |
125 / 250 / 500 |
|
Ведущий/опрашивающее устройство |
нет |
|
Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод) |
|
|
Строб данных |
да |
|
Последовательный опрос |
да |
|
Циклический |
да |
|
Изменение состояния (COS) |
да |
|
Источник питания для DeviceNet™, В, пост. ток |
11 до 25 |
|
Электрический соединитель для DeviceNet™ |
Phoenix Combicon, 5-контактный |
Технические характеристики PEG100-P Profibus DP™
|
|
PEG100-P Profibus DP™ |
|
Поддерживаемые скорости передачи данных (автовыбор), Кбод |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 / 1500 |
|
Расширенные данные параметров пользователя, Байт |
5 |
|
Настройка Число данных ввода-вывода |
2 |
|
Режим синхронизации и режим приостановки |
Да |
|
Соединитель |
D-sub, 9-контактный |
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке