FAQ – плазма низкого давления
Ответы на наиболее часто задаваемые вопросы:
- 1. Что необходимо подготовить для использования плазменной установки (подключения и т.д.)?
- 2. Что такое плазменная активация?
- 3. Что такое плазменное травление?
- 4. Что такое плазма?
- 5. Что такое плазменный реактор травления?
- 6. Что такое плазменный очиститель?
- 7. Что такое плазменный испепелитель?
- 8. Какие газы могут использоваться?
- 9. Может ли обрабатываться только один фрагмент изделия?
- 10. Можно ли применять плазму при работе с комбинированными материалами?
- 11. Возможна ли обработка плёнки?
- 12. В какой мере могут измениться или улучшиться свойства поверхности при плазменной обработке?
- 13. В каком диапазоне давлений проводятся работы?
- 14. Какие материалы могут подвергаться плазменной обработке?
- 15. Сопровождается ли процесс выделением ядовитых и легковоспламеняющихся газов?
- 16. Сопровождается ли плазменная обработка вредным для человека излучением?
- 17. До какой толщины слоя может производиться травление?
- 18. Каковы возможности применения?
1. Что необходимо подготовить для использования плазменной установки (подключения и т. д.)?
Для небольших установок необходимо напряжение 230 вольт и вытяжка для отработанных газов, выходящих из вакуумного насоса. Для больших установок нужно напряжение в 400 В, также нужна подача сжатого воздуха с давлением 5-6 бар и вытяжка.
наверх
2. Что такое плазменная активация?
Плазменная активация – это образование радикалов на обрабатываемой поверхности. Клеящие вещества и лаки лучше удерживаются на активированной поверхности. Время обработки от 1 до 5 минут.
наверх
3. Что такое плазменное травление?
При длительном времени обработки (более 5 мин.) удаляется поверхностный слой. Такое травление приводит к структурированию и увеличению поверхности, что, в свою очередь, дает возможность для более надежного закрепления клеящих веществ и лаковых покрытий. Применяется, главным образом, для обработки синтетических материалов, эластомеров и полупроводников.
наверх
4. Что такое плазма?
Плазма – это ионизированный газ, в котором нейтральные атомы расщеплены на ионы и электроны. Плазма образуется из газа, проходящего через электрический разряд, который передает свою энергию молекулам этого газа. Для возбуждения плазмы могут использоваться как источники переменного, так и постоянного тока. Плазма, образующаяся в области давления ниже 10 мбар, называется плазмой низкого давления.
наверх
5. Что такое плазменный реактор травления?
Плазменные установки зачастую называют плазменными реакторами травления. С помощью таких установок можно выполнять травление разных поверхностей.
наверх
6. Что такое плазменный очиститель?
Плазменные установки называют также "плазменными очистителями". С помощью таких установок действительно можно очищать различные поверхности от загрязнений.
наверх
7. Что такое плазменный испепелитель?
Плазменные установки называют иногда "плазменными испепелителями", поскольку с их помощью "испепеляют", т. е. удаляют фотолаки.
наверх
8. Какие газы могут использоваться?
Главным образом используются следующие газы:
- кислород
- водород
- аргон
- азот
- фторсодержащие газы и их смеси
наверх
9. Может ли обрабатываться только один фрагмент изделия?
С помощью специального трафарета можно защитить поверхность (отдельный фрагмент поверхности) от плазменного воздействия (например, при сварке пластмасс необходимо защитить от плазменного воздействия место сварки, чтобы получить качественный сварочный шов).
наверх
10. Можно ли применять плазму при работе с комбинированными материалами?
Комбинированные материалы могут обрабатываться плазмой.
наверх
11. Возможна ли обработка плёнки?
В общей сложности плазменная обработка плёнок возможна. Однако для этого необходимы специальные установки. Плёнка во время обработки перематывается с одного рулона на другой.
наверх
12. В какой мере могут измениться или улучшиться свойства поверхности при плазменной обработке?
Плазменная обработка, как правило, повышает поверхностное натяжение, что приводит к улучшению "смачиваемости" этой поверхности.
наверх
13. В каком диапазоне давлений проводятся работы?
Диапазон рабочего давления составляет от 0,1 до 1 мбар.
наверх
14. Какие материалы могут подвергаться плазменной обработке?
В принципе никаких ограничений нет. Главное, чтобы обрабатываемые материалы не выделяли газ или выделяли его в очень малом количестве (материалы должны быть приспособлены к вакууму).
наверх
15. Сопровождается ли процесс выделением ядовитых и легковоспламеняющихся газов?
Поскольку работы проводятся в вакууме, расход газа очень незначительный. Поэтому возможны только весьма незначительные эмиссии. Насосная система промывается в процессе эксплуатации. Воспламеняющиеся газы разбавляются до состояния ниже уровня воспламенения. При использовании ядовитых или фторсодержащих газов применяются дополнительные фильтры для очистки отработанного газа.
наверх
16. Сопровождается ли плазменная обработка вредным для человека излучением?
Излучение, возникающее внутри рабочей камеры плазменной установки, абсорбируется и не попадает в окружающую среду. Опасности не существует.
наверх
17. До какой толщины слоя может производиться травление?
Уровень травления зависит от заданной мощности и применяемого газа. Глубина травления может быть от 10 до 100 мкм в час.
наверх
18. Каковы возможности применения?
Плазменная обработка может применяться в самых различных областях. Главные области применения: очистка, активация, травление и нанесение покрытий на поверхность.
наверх