Генераторы газообразного озона. Озонаторы ультравысокой концентрации серии OZC.


Озонаторы работают по принципу коронарного разряда (кислород подается через электрическое поле высокого потенциала и задействует высокопроизводительное разрядное устройство), что отличает их от озонаторов, действующих по конвекционному методу. Разрядное устройство данных озонаторов имеет большую площадь и водяное охлаждение, что позволяет генерировать большую концентрацию озона к площади разрядного устройства.


Основные преимущества:Генераторы газообразного озона


- Генерация большого объема озона ультравысокой концентрации в непрерывном режиме
- Генерация ультрачистого озона благодаря применению электродов с керамическим напылением и сапфировых диэлектриков
- Занимает значительно меньшую площадь по сравнению с аналогами благодаря повышенной производительности
- Имеет встроенный датчик утечки озона в стандартной комплектации
- Отвечает требованиям стандарту S2-93, также доступны модели в соответствие с CE
- Принцип работы: кислород проходит через разрядное устройство (электрическое поле), тем самым ионизируются молекулы кислорода, вступают в реакцию и генерируется озонированный газ. Затем полученный озонированный газ может быть использован в соответствие с Вашим применением


Применения:


- Химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении - осаждение SiO2 на основе тетраэтилортосиликата
- Травление сухого фоторезиста
- Магнетронное напыление
- Сухая и влажная чистка
- Окисление поверхностей
- Отжиг оксидных плёнок
- Обеззараживание воды высшей степени очистки


Основные характеристики


Модели

Поток непереработанного газа, сл/мин

Концентрация озона, объем %

Концентрация озона, г/ м³

Давление газа на выходе кПа, PSI

OZC-1

2,5

9,3

200

150 (21,7)

OZC-4

10

9,3

200

150 (21,7)

OZC-10

25

9,3

200

150 (21,7)

OZC-16

40

9,3

200

150 (21,7)

OZC-20

50

9,3

200

150 (21,7)