• Промышленное вакуумное оборудование
  • Вакуумные насосы и откачные системы
  • Откачные системы для промышленности и медицины
  • Системы управления вакуумными установками
  • Системы вакуумного прессования
  • Мембранно-вакуумные прессы
  • Стрелочные вакуумметры и реле вакуума
  • Уравнительные вакуумные баллоны (вакуумные ресиверы)
  • Вакуумные шланги
  • Аксессуары для вакуумных насосов
• Вакуумная техника для исследований и высокотехнологичных производств
  • Вакуумные насосы и откачные системы
  • Вакуумметры и датчики вакуума
  • Течеискатели
  • Фитинги, клапаны, вводы и другие комплектующие для высоковакуумных систем
  • Установки имитации космоса
  • Напылительные установки
  • Вакуумные установки по техническим заданиям заказчиков
  • Установки плазменной очистки, травления, активации и снятия фоторезиста
  • Вакуумные камеры
  • Квадрупольные масс-спектрометры
  • Компоненты для вакуумных напылительных установок
  • Вакуумные системы для химических и биологических лабораторий
• Полупроводниковое оборудование
  • Установки осаждения тонких пленок
  • Установки очистки пластин и снятия резиста
  • Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов
  • Испытательные центрифуги
  • Компоненты для вакуумных напылительных установок
  • Оборудование для производства солнечных батарей
  • Озонаторы
  • Регуляторы расхода газов
  • Солнечные батареи
  • Течеискатели и приборы для проверки на герметичность микросхем и установок
  • Установки для испытаний микросхем на разряд статического электричества
  • Установки для нанесения и сушки/задубливания фоторезиста
  • Установки термического отжига
  • Инспекционные установки и микроскопы
  • Оборудование для полировки/шлифовки пластин
  • Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
  • Установки контактной и бесконтактной литографии
• Термическое оборудование
  • Вакуумные печи
  • Нестандартное термическое оборудование
  • Атмосферные печи
• Криогенное оборудование
  • Криогенные машины
  • Криостаты
  • Гелиевые компрессоры
  • Вакуумные крионасосы
  • Сверхпроводящие магниты
  • Криогенные емкости и сосуды
  • Криогенная арматура
  • Датчики криогенных температур
  • Лабораторные азотные и гелиевые ожижители
• Аналитическое и испытательное оборудование
  • Приборы детектирования и идентификации химических веществ (GC-MS)
  • Приборы химического мониторинга (GC)
  • Приборы обнаружения химических веществ (GC/PID/FID)
  • Квадрупольные масс-спектрометры
  • Установки имитации космоса
  • Системы высокотемпературных прочностных испытаний
  • Камеры для динамических вибрационных испытаний
  • Электронная и ионная оптика
  • Течеискатели
  • Испытательные центрифуги для микроэлектронных приборов
  • Климатические камеры
  • Камеры для испытаний температурным ударом
  • Инспекционные установки и микроскопы
  • Компоненты для вакуумных напылительных установок
  • Регуляторы и измерители расхода газов
  • Рефлектометр для астрономической оптики CT7
  • Системы активной виброизоляции
  • Лабораторные вакуумные системы
• Общепромышленное оборудование
  • Центробежные жидкостные насосы
  • Металлообрабатывающие станки
  • Оборудование для медицинского газоснабжения
  • Солнечные батареи
  • Иструменты для сервиса холодильной техники
  • Установка для термовакуумной обработки баллонов ТВОБ-2/40
  • Системы вакуумной инфузии
  • Пластинчато-роторные вакуумные насосы
  • Турбомолекулярные насосы и откачные посты
  • Вакуумные крионасосы
  • Сухие форвакуумные насосы
  • Вакуумные водокольцевые насосы
  • Когтевые вакуумные насосы и компрессоры
  • Паромасляные диффузионные насосы
  • Плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы
  • Промышленные винтовые насосы
  • Спиральные вакуумные насосы
  • Мембранные вакуумные насосы
  • Ионно-геттерные (магниторазрядные) насосы
  • Мембранно-поршневые насосы
  • Вихревые вакуумные насосы
  • Двухроторные (типа Рут)

S.DOC

Установка динамического окисления силана с механическим фильтром.

Используется для работы с пирофорными газами.

Особенности и преимущества:

- Производительность до 100 ст. л/ мин.
- Нейтрализация силана >99%
- Очистка от твердых частиц >99%
- Низкий расход воздуха на уплотнения
- выходной патрубок адаптирован для подключения
следующей ступени очистки
- не требуется охлаждающая вода или топливо
- очень компактные размеры

Обрабатываемые вещества:

- Силан
- Тетраэтоксисилан (ТЭОС)
- Дихлорсилан
- Алкилфосфин (фосфин, фосфористый водород)
- Аммиак
- Вольфрам