Vortex
Vortex – это базовая модель, имеющая специальное напускное устройство. В случае появления загрязнений на входном фланце, он может быть легко заменен менее чем за пять минут.
Особенности и преимущества:
- Конический эдуктор. Позволяет поддерживать небольшое разряжение на выхлопе (на уровне 1”-2” водяного столба)
- Набивная колонка. Конечная обработка. Не требует технического обслуживания или замены
- Напуск свежей воды. Стратегическая ступень, повышающая эффективность, уменьшающая потребление воды и уменьшающая образование пены
- Отходная часть. Уникальный всасывающий насос, дренажная система и система напуска воды, предотвращают образование пены, застой жидкости и минимизирует потребление воды
- Система впуска газа. Специальная система впуска газа минимизирует степень сужения, а автоматический плунжер напускного фланца позволяет удалять загрязнения без прерывания процесса
- Вторая очистная камера. Пять струй мелкодисперсного аэрозоля, создаваемых высокоскоростными соплами, обеспечивают эффективное удаление загрязнений
- Первая очистная камера. Мелкодисперсный аэрозоль, подаваемый под напором покрывает камеру и удаляет основное загрязнение
- Насос. Коррозионностойкий, высокопроизводительный, имеет высокий ресурс. Прокачивает 160 л/м.
- Небольшая площадь основания: 24 ½” X 32 ½”
Epi
Vortex – это базовая модель, имеющая специальное напускное устройство. В случае появления загрязнений на входном фланце, он может быть легко заменен менее чем за пять минут. Частота проведения ручного обслуживания входного фланца зависит от условий конкретного применения (таких как наличие источника кремния, плотность потока, тип реактора). Частота замены входного фланца составляет от 7 до 30 дней в случае применения в самых требовательных процессах эпитаксии. Скруббер Vortex поставляется с односкоростным насосом с простым выключателем питания и подсоединением к водопроводной воде с ручным включением. Улучшенная комплектация возможна опционально.
Poly Etch/CVD
Модель Vortex для процессов травления и химического осаждения из газовой фазы имеет все функции модели Epi Vortex. Из-за низкого потока газов в данных процессах, данная модель имеет до 4 напускных фланцев на каждом скруббере.
 |
 |
| Epi | Poly Etch/CVD |