Установка для испытаний микросхем на чувствительность к разряду статического электричества 1200E-256
Производитель Tokyo Electronics Trading Co Ltd (Япония), серия 1200.
Общее описание:
Модель 1200/1200 ELC – это первая коммерчески доступная установка для испытаний на чувствительность к разряду статического электричества, которая объединяет несколько тестов в одной системе (испытания на чувствительность к разряду статического электричества (ESD-тест), испытания на тиристорный эффект (Latch-Up -тест) и испытания по модели заряженного устройства (CDM -тест)). Данная система предполагает испытания устройств с количеством контактов до 128 и до 256 и отвечает требованиям стандартов JEDEC, ESDA или JEITA.
С помощью теста на разряд статического электричества (ESD-тест), может быть измерена взаимосвязь между разрядом и выходом устройства из строя. Тест на разряд статического электричества включает в себя модели человеческого тела (HBM) и машинную модель (MM). Модель установки 1200E включает в себя не только HBM-модель и MM-модель, но и возможность использовать другие модели на разряд статического электричества в качестве опции. Любая установка, рассчитанная на 128 или на 256 контактов может быть запрограммирована на тест любых контактов. Таким образом, при испытаниях выполняются требования большинства ESD-стандартов.
Тест на запирание или другими словами тест на тиристорный эффект (Latch-Up -тест) измеряет чувствительность тиристора в КМОП приборах, обнаруживая ток запирания. Импульс тока, импульс напряжения и импульс перенапряжения включены в основную систему в качестве триггерного источника. Кроме того, импульс в моделях HBM и ММ может быть использован для переключения тиристорного эффекта, если это необходимо. Другой триггерный источник может быть установлен как опция, поэтому может быть оценен тиристорный эффект в переходном режиме.
Для того чтобы получить стабильный результат при тесте на тиристорный эффект, очень важно стабилизировать условия испытания устройства, такие как ток питания,. Функции повышения и понижение напряжения для всех контактов обеспечивается базовой конфигурацией. Генерация испытательного сигнала предоставляется в качестве опции.
Базовая конфигурация CDM тестера, модель 1200ELC, в соответствии со стандартом JEDEC, будет включать CDM головку для воздушного разряда, которая вызывает индукционный CDM (FI-CDM или F-CDM). Дополнительно могут быть поставлены другие CDM головки DI-CDM (или D-CDM для JEITA стандарта), а также FI-CDM для ESDA или AEC стандарта. Все CDM модели имитируют быстрый воздушный разряд, вызванный зарядом металлических контактов устройства с внешним металлом.
Особенности
- 4 функции; испытания на основе различных моделей в одной системе: HBM (модель человеческого тела), MM (машинная модель), Latch-up (тиристорный эффект) и CDM (модель заряженного устройства)
- Максимальное количество контактов для тестирования – до 1500 штук
- Возможно тестирование корпусов и пластин
Применение
- Оценка уровня разработки прибора
- Проверка пригодности прибора и входной контроль
- Обеспечение качества
- Технологическая обработка прибора
ESD Тест
- Соответствует различным стандартам
- Возможно любое сочетание контактов при тестировании
- 2 режима разряда
- Возможность наблюдения процесса повреждения
- Более чем достаточные возможности для обнаружения повреждений
CDM Тест
- Соответствует различным стандартам
- Автоматические испытания
- Прямой заряд или FI-CDM
- Воспроизводимая и стабильная форма импульса разряда
Test на тиристорный эффект
- Соответствует различным стандартам
- Стабилизированный ток
- Высокоскоростной тест с помощью последовательной аппроксимации
- Высокотемпературные испытания до 125℃
Характеристики установки
Установка ESD (включая опции)
Объект испытаний, включая опции
- Измерение вольт-амперных характеристик (ВАХ)
- Моделирование разряда статического электричества (ESD)
- Испытания на ESD при различных параметрах тока и напряжения
- Отображение ВАХ на графическом дисплее
ESD испытания
- Напряжение разряда:
HBM-модель：от 5В до4500В/5В
MM-модель：от 5В до 1000В/5В
HBM-модель：до 8000В (Опция)
- Точность установки напряжения: ±5％+5В от программируемого значения
- Выбор контактов: 2-х осевой робот
- Режим разряда: 3 программных режима на выбор
- Стандарты：MIL, JEDEC, JEITA, ESDA, AEC
Измерительные приборы
- Вольтметр
от ±10мВ до±50В, 3-х разрядный, точность:2％±20мВ
- Амперметр
от ±10нА до±100мА, точность: 2％±20нА
Количество контактов
128 или 256 контактов
Испытания на тиристорный эффект (Latch-Up -тест)
Объект испытаний
- Испытания на импульс тока (тиристорный эффект)
- Испытания на импульс напряжения (тиристорный эффект)
- Испытания на электростатический разряд (тиристорный эффект)
- Испытания на бросок напряжения (тиристорный эффект)
Импульсный генератор тока
- Диапазон токов：от 1мА до 999мА/1мА шаг
- Напряжение смещения：от 1 до 50В/0,1В шаг
- Ширина импульса：от 0,1мсек до 5сек/ минимальный шаг 0.1мА
- Повторение：от 1 до 100
Вольтметр
- Напряжение：0 – 50В（Мин. шаг 0,1В）
- Сила тока
Постоянный 0 – 0,5A（Мин. шаг 100нА）
Импульсый 0 - 1A（Мин. шаг 1мА）
Генератор испытательных сигналов
- 4 временных канала: 1мксек～100мксек/1мксек шаг
- 16 временных каналов + синхронизация
- Верхний/нижний уровни：Верхний＝2 – 15В, Нижний=0В
Количество контактов
128 или 256 контактов
Испытания по модели заряженного устройства (CDM -тест)
- Модели：D-CDM и/или F-CDM
- Стандарты：JEITA, JEDEC, ESDA, AEC
- Количество выводов：Макс.1500/на прибор
- Точность позиционирования：±0.05мм
- Типы корпусов：DIP, QFP, SOP, TAB или другая
- Метод позиционирования：CCD камера, сенсор емкости, обнаружение максимума тока
Другие технические характеристики
- Температура окружающей среды：15℃- 40℃
- Влажность：менее чем 60％
- Переменное напряжение:100В±10％, 50/60Гц, 1фаза, 800ВА
Возможно другое напряжение (опция)
- Управление: ПК, Монитор, Принтер
- Безопасность: аварийное отключение питания, блокировка, предохранитель
- Размер основного блока установки: около 530Ш×800Д×550В（мм), 60кг
- Размер дополнительного блока установки: около 570Ш×870Д×830В（мм), 90кг
- Стол для ПК：около 800Ш×800Д×1400В（мм）*
*Стол для ПК следует приобрести на месте, чтобы стоимость транспортировки морским путем была минимальной