Комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с датчиком Пирани BPG402-S с 2 катодами


Комбинированный вакуумметр Байярда-Альперта с датчиком Пирани компании INFICON, BPG402-S, реализует функции двух вакуумметров в одном компактном модуле с диапазоном измерения от 5x10-10 мбар до атмосферного давления (3,8x10-10 торр до атмосферного давления). Комбинирование двух технологий уменьшает сложность монтажа, настройки и интеграции. Высокорентабельный прибор BPG402-S с двумя иридиевыми катодами, покрытыми оксидом иттрия – это оптимальный выбор для выполнения регулярных измерений экономичным способом в диапазоне от давления в технологической среде до базового давления. Чувствительные элементы с хранящимися в устройстве данными калибровки гарантируют высокую воспроизводимость результатов измерений при замене датчиков.


Преимущества комбинированного вакуумметра


- Очень широкий диапазон измерения от 5x10-10 мбар до атмосферного давления (3,8x10-10 торр до атмосферного давления)
- Превосходная повторяемость показаний (отклонение 5%) в диапазоне давления технологической среды 10-8-10-2 мбар
- Блокировка Пирани защищает катод от преждевременного перегорания
- Два долговечных иридиевых катода, покрытых оксидом иттрия
- Дополнительно: графический дисплей и интерфейс промышленной сети
- Автоматическая регулировка Пирани для высокого вакуума уменьшает вмешательство оператора
- Легко заменяемый чувствительный элемент с хранящимися в устройстве данными калибровки гарантирует высокую воспроизводимость результатов измерений
- Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ


Области применения комбинированного вакуумметра


- Измерение давления в техпроцессах производства полупроводников и шлюзовых камерах
- Промышленные установки для напыления покрытий
- Измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума


Информация для заказа


Технические характеристики


BPG400 (стандартное исполнение), BPG400 (с индикатором)

Диапазон измерения (воздух, O2, CO, N2)

мбар (торр)

5x10-10

… 1000 (3.8x10-10

… 750)

Точность, 10-8 … 10-2 мбар

% от показания

±15

Повторяемость, 10-8 … 10-2 мбар

% от показания

5

Обезгаживание(1) p < 7.2 x 10-6

мбар

бомбардировка электронами, макс. 3 мин.

Давление, макс.

бар (абс.)

2

Температура



Эксплуатация (окружающая среда)

◦C

0 … +50

Хранение

◦C

-20 … +70

Прогрев на фланце с насадкой

◦C

150

Прогрев на фланце без насадки

◦C

80

Прогрев без электроники

◦C

150

Напряжение питания

В/А, пост. ток

+20 … +28 / ≤0.8

Аналоговый выходной сигнал

В

0 … +10

Диапазон измерения

В

+0.774 … +10

Зависимость напряжения от давления

В / декада

0,75

Сигнал ошибки

В

0,1/0,3 / 0,5

Мин. полное сопротивление нагрузки

кОм

10

Настраиваемое реле


1

Диапазон

мбар

1x10-9

… 100

Контакт реле


замыкающий, сухой контакт

Гистерезис

% от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта

В/А, пост. ток

≤30 / ≤0.5

Цифровые функции


обезгаживание

Интерфейс (цифровой)(2)


RS232C

Регулировка эмиссии


автоматическая / вручную, используя интерфейс

Катод


два иридиевых катода, покрытых оксидом иттрия (Yt2O2)

Состояние катода


СИД/цифровой вывод

Электрическое подключение


D-sub, 15-контактный, вилка

Макс. длина кабеля(3)

м (фут)

100 (330)

Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума


Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло

Внутренний объём KF/CF

см3 (дюйм3)

24 (1,46) / 34 (2,1)

Масса KF/CF

г

285 / 550

Степень защиты


IP30

1) Точность снижается при обезгаживании
2) Одновременное использование RS232C или контроллеров серии VGC400 с передачей данных через промышленную сеть запрещено
3) Для передачи данных по стандарту RS232C менее 30 м

Технические характеристики (Profibus DP)

BPG402-SP Profibus DP

Скорость передачи, Кбод

9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

Скорость передачи, Мбод

1.5 / 12

Адрес

2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

регулировка эмиссии, функция обезгаживания

мониторинг состояния вакуумметра, состояние катода

безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-9 … 100

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

≤30 / ≤0.5

Электрический соединитель для Profibus DP

D-sub, 9-контактный, розетка

Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка

Технические характеристики (DeviceNet™)

BPG402-SD DeviceNet™

Протокол

DeviceNet™, группирование только 2 ведомых

Скорость передачи данных, Кбод

125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу

Длина кабеля, 125 Кбит/с, м

500

Длина кабеля, 250 Кбит/с, м

250

Длина кабеля, 500 Кбит/с, м

100

MAC-адрес

2 переключателя (адрес 00-63) или по сети, используя программу

Цифровые функции

считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па

регулировка эмиссии, функция обезгаживания

мониторинг состояния вакуумметра, состояние катода

безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки

подробные сведения при предупреждении или тревоге

Аналоговые функции

аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления

2 настраиваемых реле А+В

Технические характеристики

DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (Профиль вакуумметра)

Тип прибора

"CG" для комбинированного вакуумметра

Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод)

только последовательный опрос

Настраиваемые реле

2

Диапазон, мбар

1x10-9… 100

Контакт реле

замыкающий, сухой контакт

Гистерезис, % от показания

10

Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток

≤30 / ≤0.5

Напряжение питания для DeviceNet™, В/А, пост. ток

+11 … +25 / ≤0.5

Напряжение питания для вакуумметра, В/А, пост. ток

+20 … +28 / ≤0.8

Электрический соединитель для DeviceNet™

Microstyle, 5-контактный

Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки)

D-sub, 15-контактный, вилка

Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке